对准拍照机构及对准装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种对准拍照机构及对准装置，该对准拍照机构设置于基座的对准区域的上方，其包括底座，底座上设置有多个沿对准区域的径向延伸且沿对准区域的周向分布的滑轨，每个滑轨上均滑动地安装有用于安装相机的安装座；底座上还设置有与滑轨一一对应的定位机构，定位机构包括沿滑轨延伸方向依次设置的多个定位件，定位件使安装座定位在滑轨的相应位置。基于本发明专利技术的技术方案，基座上无需再设置运动结构，其整体可以简化为固定式结构；针对拍摄位置的调整直接在相应的相机处进行调节，位移量小、位移路径短，运动可能带来的误差也更小。此外利用定位件可以将相机锁定在预定位置，提高了相机移动调整位置后的准确性以及结构的稳定性。构的稳定性。构的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
对准拍照机构及对准装置


[0001]本专利技术涉及晶圆键合对准
，特别地涉及一种对准拍照机构及对准装置。

技术介绍

[0002]晶圆对准单元的对准工艺通过位于同一坐标系的晶圆轮廓三点拍照方式确定晶圆圆心并计算上下Wafer圆心偏差的方式以达到上下Wafer对准的目的。通常的对准单元拍照工艺是由单个相机配合X、Y、Z三个方向自由度的龙门结构组合完成。该结构通过龙门结构的直线电机控制相机在晶圆片的规定三点位置之间进行移动，同时Z轴通过电缸控制进行移动来满足补偿不同晶圆片厚度带来的图像像素偏差。
[0003]目前常规手段是通过X、Y轴直线电机驱动相机进行不同位置之间的移动，首先，在移动过程中由于多个轴的自由度的因素会导致移动中产生相机高度偏差从而带来软件标定误差最终导致对准结果的偏差并且误差无法简单修正；其次，使用一个相机移动拍照的移动路径较长，导致整个工艺消耗的时间较长。
[0004]而目前也有采用多个相机进行多点拍照的现有技术，但是其只是简单的设置多个相机，没有针对相机的位置调整结构以及定位结构进行优化设计，因此其功能不完善。

技术实现思路

[0005]为了解决现有技术的单相机方案存在的移动路径长、对准效率低以及多相机方案存在的移动定位不准确的问题，本专利技术提出了一种对准拍照机构及对准装置。
[0006]第一方面，本专利技术提出的一种对准拍照机构，设置于基座的对准区域的上方，包括底座，所述底座上设置有多个沿所述对准区域的径向延伸且沿所述对准区域的周向分布的滑轨，每个所述滑轨上均滑动地安装有用于安装相机的安装座；
[0007]所述底座上还设置有与所述滑轨一一对应的定位机构，所述定位机构包括沿所述滑轨延伸方向依次设置的多个定位件，所述定位件使所述安装座定位在所述滑轨的相应位置。
[0008]在一个实施方式中，过多个所述定位机构中的所述定位件形成有多个以所述对准区域的中心为圆心的同心圆，每个所述同心圆的圆周均依次经过每个所述定位机构中的一个所述定位件，多个所述同心圆的直径分别匹配晶圆的多种尺寸。
[0009]在一个实施方式中，所述底座上具有位于所述滑轨一侧的定位台，所述定位件包括贯穿所述定位台并与所述定位台滑动配合的定位销，所述定位销的一端为对应所述安装座的定位端、另一端为对应所述底座外部的操作端，所述安装座上具有能够配合所述定位端的销孔。
[0010]在一个实施方式中，所述定位端具有螺纹结构，所述销孔为能够与所述定位端螺纹配合的螺孔。
[0011]在一个实施方式中，所述定位件还包括定位座，所述定位座至少部分地嵌设在所述定位台上，所述定位座上具有穿孔，所述定位销穿设于所述穿孔中并经所述穿孔贯穿所
述定位台，所述穿孔内具有套在所述定位销上的复位弹簧。
[0012]在一个实施方式中，所述定位端为沿靠近末端的方向直径逐渐减小的锥形结构，和/或所述销孔的孔口为锥形的喇叭口结构。
[0013]在一个实施方式中，所述操作端设置有操作钮。
[0014]在一个实施方式中，所述安装座上还设置有竖向微调机构，所述相机通过所述竖向微调机构安装于所述安装座，所述竖向微调机构用于调节所述相机相对所述对准区域的高度。
[0015]在一个实施方式中，所述底座为一体式结构或所述底座为包括多个分座的分体式结构，每个所述分座上设置有至少一个所述滑轨。
[0016]第二方面，本专利技术提出的一种对准装置，包括上述的对准拍照机构；以及
[0017]基座，其上具有对准区域，所述基座上还设置有与所述对准区域对应的龙门横梁，所述龙门横梁为固定结构，所述对准拍照机构安装于所述龙门横梁上。
[0018]上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本专利技术的目的。
[0019]本专利技术提供的一种对准拍照机构及对准装置，与现有技术相比，至少具备有以下有益效果：
[0020]本专利技术的一种对准拍照机构及对准装置，基座上无需再设置运动结构，其整体可以简化为固定式结构；针对拍摄位置的调整直接在相应的相机处进行调节，位移量小、位移路径短，运动可能带来的误差也更小。此外利用定位件可以将相机锁定在预定位置，提高了相机移动调整位置后的准确性以及结构的稳定性。
附图说明
[0021]在下文中将基于实施例并参考附图来对本专利技术进行更详细的描述。其中：
[0022]图1显示了本专利技术的对准拍照机构及其所在的对准装置的整体结构示意图；
[0023]图2显示了本专利技术的对准拍照机构的结构示意图；
[0024]图3显示了图2中的定位件部分的局部放大图。
[0025]在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
[0026]附图标记：
[0027]1‑
基座，11
‑
对准区域，12
‑
龙门横梁，2
‑
拍照机构，21
‑
底座，211
‑
定位台，22
‑
滑轨，23
‑
安装座，231
‑
销孔，24
‑
定位件，241
‑
定位销，2411
‑
定位端，2412
‑
操作端，242
‑
定位座，2421
‑
穿孔，243
‑
弹簧，244
‑
操作钮，25
‑
竖向微调机构，26
‑
安装板，3
‑
相机。
具体实施方式
[0028]下面将结合附图对本专利技术作进一步说明。
[0029]本专利技术的实施例提供了一种对准拍照机构2，设置于基座1的对准区域11的上方，包括底座21，底座21上设置有多个沿对准区域11的径向延伸且沿对准区域11的周向分布的滑轨22，每个滑轨22上均滑动地安装有用于安装相机3的安装座23；
[0030]底座21上还设置有与滑轨22一一对应的定位机构，定位机构包括沿滑轨22延伸方向依次设置的多个定位件24，定位件24使安装座23定位在滑轨22的相应位置。
[0031]具体地，如附图图1所示，本专利技术的对准拍照机构2，采用多相机3(至少3台相机3)的布局结构，每台相机3分别通过安装座23安装在底座21的滑轨22上，这样相机3可以沿滑轨22在对准区域11的径向上滑动来调整位置。并且针对安装座23的滑动调整，在底座21上进一步设置定位机构，利用定位机构中的定位件24，可以将安装座23定位在导轨上的相应位置处，这样可以满足晶圆各个位置的拍照需求。
[0032]如附图图1所示，三相机3整体构造与现有的单相机3结构相比，基座1上无需再设置运动结构，基座1整体可以简化为固定式结构；针对拍摄位置的调整直接在相应的相机3处进行调节，位移量小、位移路径短，运动可能带来的误差也更小。此外，利用定位件24可以将相机3锁定在预定位置，提高了相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对准拍照机构，设置于基座的对准区域的上方，其特征在于，包括底座，所述底座上设置有多个沿所述对准区域的径向延伸且沿所述对准区域的周向分布的滑轨，每个所述滑轨上均滑动地安装有用于安装相机的安装座；所述底座上还设置有与所述滑轨一一对应的定位机构，所述定位机构包括沿所述滑轨延伸方向依次设置的多个定位件，所述定位件使所述安装座定位在所述滑轨的相应位置。2.根据权利要求1所述的对准拍照机构，其特征在于，过多个所述定位机构中的所述定位件形成有多个以所述对准区域的中心为圆心的同心圆，每个所述同心圆的圆周均依次经过每个所述定位机构中的一个所述定位件，多个所述同心圆的直径分别匹配晶圆的多种尺寸。3.根据权利要求1所述的对准拍照机构，其特征在于，所述底座上具有位于所述滑轨一侧的定位台，所述定位件包括贯穿所述定位台并与所述定位台滑动配合的定位销，所述定位销的一端为对应所述安装座的定位端、另一端为对应所述底座外部的操作端，所述安装座上具有能够配合所述定位端的销孔。4.根据权利要求3所述的对准拍照机构，其特征在于，所述定位端具有螺纹结构，所述销孔为能够与所述定位端螺纹配合的螺孔。5.根据权利要求3所述的对准...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈睿，姜保彧，张豹，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：