本发明专利技术公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括箱体，箱体内设有真空镀膜机腔体，箱体内壁底部设有底部冷却装置，箱体内壁顶部设有水流冷却装置以及气流冷却装置；底部冷却装置包括对称设于箱体内壁底部的多个支撑柱，设于多个支撑柱顶部的圆弧形支撑块，设于圆弧形支撑块顶部的圆弧形安装板，嵌设于圆弧形支撑块顶部的滑动部件，嵌设于圆弧形安装板顶部的降温部件，以及设于箱体内壁底部的储水箱；水流冷却装置包括水盒、喷水部件以及引流部件；气流冷却装置包括对称设于箱体内壁顶部的连接柱，以及设于连接柱底部的气流冷却部件。本发明专利技术是一种便于多种冷却方式共同进行冷却，便于提高冷却效率的真空镀膜机腔体冷却装置。提高冷却效率的真空镀膜机腔体冷却装置。提高冷却效率的真空镀膜机腔体冷却装置。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机腔体冷却装置
[0001]本专利技术主要涉及真空镀膜机的
，具体为一种真空镀膜机腔体冷却装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜机在操作过程中会产生大量热量，当腔体温度较高时，容易导致真空镀膜机的零部件的损坏，因此需要通过冷却装置对热量进行吸收，降低工作环境的热度，保障机器正常运行现有的冷却装置在使用时,冷却方式较为单一，不便对真空镀膜机进行快速冷却，需要冷却的时间较长，对真空镀膜机的冷却效率不佳。
[0003]根据申请号为CN201820766848.9的专利文献所提供的一种真空镀膜机腔体冷却装置可知，该装置包括真空镀膜机、镀膜机闭合门、底座和冷却腔，真空镀膜机的侧壁均匀向内安装有冷却筒，冷却筒内设置有空腔与冷却腔连通，真空镀膜机的侧壁固定设置有两组滑动槽，滑动槽内活动连接有隔热板，隔热板的顶部固定设置有拉动环，冷却腔的底壁设置有两组滑动限位板，两组滑动限位板之间活动配合有滑动支撑座，本技术通过外部带动拉动环，带动隔热板上升，冷却液在冷却棒内吸收内腔传递到冷却筒内腔上的热量，通过冷却筒和冷却棒石墨烯材料的设置，增加导热效果，吸收热量后的冷却液可以在冷却箱内流动，增强冷却效果。
[0004]上述专利中的装置便于对真空镀膜机腔体进行冷却，但不便于多种冷却方式共同进行冷却，不便于提高冷却效率。
技术实现思路
[0005]本专利技术主要提供了一种真空镀膜机腔体冷却装置，用以解决上述
技术介绍
中提出的技术问题。
[0006]本专利技术解决上述技术问题采用的技术方案为：一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括箱体，所述箱体一侧设有闭合门，所述箱体内设有真空镀膜机腔体，所述箱体内壁底部且位于所述真空镀膜机腔体下方设有底部冷却装置，所述箱体内壁顶部且位于所述真空镀膜机腔体上方设有水流冷却装置，所述箱体内壁顶部且位于所述真空镀膜机腔体侧壁对称设有气流冷却装置；所述底部冷却装置包括对称设于所述箱体内壁底部的多个支撑柱，设于多个所述支撑柱顶部的圆弧形支撑块，设于所述圆弧形支撑块顶部的圆弧形安装板，嵌设于所述圆弧形支撑块顶部且用于带动所述圆弧形安装板滑动的滑动部件，嵌设于所述圆弧形安装板顶部的降温部件，以及设于所述箱体内壁底部且位于多个所述支撑柱之间的储水箱；所述水流冷却装置包括设于所述箱体内壁顶部的水盒，设于所述水盒底部的喷水部件，以及设于所述水盒底部且位于所述喷水部件下方的引流部件；所述气流冷却装置包括对称设于箱体内壁顶部的连接柱，以及设于所述连接柱底部的气流冷却部件。
[0007]优选的，所述滑动部件包括嵌设于所述圆弧形支撑块顶部的滑槽，设于所述圆弧形支撑块侧壁的转动电机，一端转动连接所述滑槽一侧侧壁、另一端贯穿所述圆弧形支撑
块侧壁连接所述转动电机执行端的螺纹杆，以及套设于所述螺纹杆外壁的滑块。在本优选的实施例中，通过滑动部件便于带动圆弧形安装板滑动，以便于圆弧形安装板带动真空镀膜机腔体滑动。
[0008]优选的，所述降温部件包括嵌设于所述圆弧形安装板顶部的多个半导体制冷片。在本优选的实施例中，通过降温部件便于对真空镀膜机腔体底部进行降温冷却。
[0009]优选的，所述喷水部件包括穿设于所述水盒底部的喷水管，以及设于所述喷水管靠近所述水盒一端内壁的阀门。在本优选的实施例中，通过喷水部件便于对真空镀膜机腔体表面进行喷水，以便于水流带走真空镀膜机腔体表面的热量。
[0010]优选的，所述引流部件包括对称设于所述水盒底部的连接杆，以及设于两个所述连接杆底部且位于所述喷水管下方的圆锥形引流块。在本优选的实施例中，通过引流部件便于喷水部件喷出的水流引流至真空镀膜机腔体表面，以便于预防水流飞溅。
[0011]优选的，所述箱体内且位于所述真空镀膜机腔体远离所述闭合门一侧设有水循环部件，所述水循环部件包括设于所述箱体内壁顶部的抽水泵，一端连通所述储水箱一侧侧壁、另一端连接所述抽水泵抽水端的第一输水管，一端连通所述水盒一侧侧壁、另一端连接所述抽水泵排水端的第二输水管，以及设于所述储水箱内壁底部且与所述第一输水管位置相对应处的冷却器。在本优选的实施例中，通过水循环部件便于将储水箱内的水流循环至水盒内，以便于节水。
[0012]优选的，所述气流冷却部件包括设于所述连接柱底部的圆弧形集气盒，设于所述箱体内壁的定位板，设于所述定位板顶部的风机，一端连接所述风机执行端、另一端连通所述圆弧形集气盒的连通管，以及设于所述圆弧形集气盒远离所述连通管一侧侧壁且与所述圆弧形集气盒相连通的多个出风管。在本优选的实施例中，通过气流冷却部件便于向真空镀膜机腔体表面吹风，以便于加快空气流动，加快水流蒸发，以便于对真空镀膜机腔体进行降温。
[0013]优选的，所述箱体内且位于所述真空镀膜机腔体与所述气流冷却部件之间设有余水擦拭部件，所述余水擦拭部件包括设于所述箱体内壁底部的直线导轨，设于所述直线导轨执行端的立柱，设于所述立柱顶部的圆弧形挡板，以及设于所述圆弧形挡板靠近所述真空镀膜机腔体一侧侧壁的吸水布。在本优选的实施例中，通过余水擦拭部件便于对取出真空镀膜机腔体前对真空镀膜机腔体表面残留的水分进行擦拭。
[0014]优选的，所述圆弧形安装板底部且与多个所述半导体制冷片位置相对应处开设有散热孔，所述圆弧形安装板两侧壁对称开设有漏水条。在本优选的实施例中，通过开设散热孔便于半导体制冷片进行散热，通过开设漏水条便于喷洒在真空镀膜机腔体表面的水流通过漏水条流回储水箱内。
[0015]优选的，所述圆弧形安装板两侧壁顶部且与所述真空镀膜机腔体之间对称设有密封条。在本优选的实施例中，通过密封条便于阻挡真空镀膜机腔体表面的水流流入圆弧形安装板凹面，以便于对半导体制冷片进行保护。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：本专利技术中的装置便于多种冷却方式共同进行冷却，便于提高冷却效率。
[0017]本专利技术中通过底部冷却装置实现真空镀膜机腔体底部冷却，底部冷却装置中通过滑动部件便于带动圆弧形安装板滑动，以便于圆弧形安装板带动真空镀膜机腔体滑动，通
以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0023]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同，本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术，本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0024]请着重参照附图1、2、5、6、7、8所示，在本专利技术一优选实施例中，一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括箱体10，所述箱体10一侧设有闭合门101，所述箱体10内设有真空镀膜机腔体11，所述箱体10内壁底部且位于所述真空镀膜机腔体11下方设有底部冷却装置20，所述箱体10内壁顶部且位于所述真空镀膜机腔体11上方设有水流冷却装置30，所述箱体10内壁顶部且位于所述真空镀膜机腔体11侧壁对称设有气流冷却装置40；所述底部冷却装置20包括对称设于所述箱体10内壁底部的多个支撑柱21，设于多个所述支撑柱21顶部的圆弧形本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括箱体（10），其特征在于,所述箱体（10）一侧设有闭合门（101），所述箱体（10）内设有真空镀膜机腔体（11），所述箱体（10）内壁底部且位于所述真空镀膜机腔体（11）下方设有底部冷却装置（20），所述箱体（10）内壁顶部且位于所述真空镀膜机腔体（11）上方设有水流冷却装置（30），所述箱体（10）内壁顶部且位于所述真空镀膜机腔体（11）侧壁对称设有气流冷却装置（40）；所述底部冷却装置（20）包括对称设于所述箱体（10）内壁底部的多个支撑柱（21），设于多个所述支撑柱（21）顶部的圆弧形支撑块（22），设于所述圆弧形支撑块（22）顶部的圆弧形安装板（23），嵌设于所述圆弧形支撑块（22）顶部且用于带动所述圆弧形安装板（23）滑动的滑动部件（24），嵌设于所述圆弧形安装板（23）顶部的降温部件（25），以及设于所述箱体（10）内壁底部且位于多个所述支撑柱（21）之间的储水箱（26）；所述水流冷却装置（30）包括设于所述箱体（10）内壁顶部的水盒（31），设于所述水盒（31）底部的喷水部件（32），以及设于所述水盒（31）底部且位于所述喷水部件（32）下方的引流部件（33）；所述气流冷却装置（40）包括对称设于箱体（10）内壁顶部的连接柱（41），以及设于所述连接柱（41）底部的气流冷却部件（42）。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述滑动部件（24）包括嵌设于所述圆弧形支撑块（22）顶部的滑槽（241），设于所述圆弧形支撑块（22）侧壁的转动电机（242），一端转动连接所述滑槽（241）一侧侧壁、另一端贯穿所述圆弧形支撑块（22）侧壁连接所述转动电机（242）执行端的螺纹杆（243），以及套设于所述螺纹杆（243）外壁的滑块（244）。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述降温部件（25）包括嵌设于所述圆弧形安装板（23）顶部的多个半导体制冷片（251）。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述喷水部件（32）包括穿设于所述水盒（31）底部的喷水管（321），以及设于所述喷水管（321）靠近所述水盒（31）一端内壁的阀门（322）。5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述引流部件（...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩大凯，谈琦，陈冬，
申请(专利权)人：青岛久越新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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