正型感光性树脂组合物及有机EL元件间隔壁制造技术

提供可以形成高分辨率的图案的、含有黑色的着色剂的高灵敏度的感光性树脂组合物。一实施方案的正型感光性树脂组合物包含：具有多个酚性羟基，且上述多个酚性羟基的至少一部分被酸分解性基团保护了的丙烯酸系树脂(A)；选自黑色染料和黑色颜料中的至少1种的黑色着色剂(B)；以及作为光产酸剂的醌重氮化合物(C)。以及作为光产酸剂的醌重氮化合物(C)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】正型感光性树脂组合物及有机EL元件间隔壁


[0001]本专利技术涉及正型感光性树脂组合物、以及使用了该组合物的有机EL元件间隔壁、有机EL元件绝缘膜、和有机EL元件。更详细而言，本专利技术涉及含有黑色的着色剂的正型感光性树脂组合物、以及使用了该组合物的有机EL元件间隔壁、有机EL元件绝缘膜、和有机EL元件。

技术介绍

[0002]在有机EL显示器(OLED)等显示装置中，为了提高显示特性，在显示区域内的着色图案的间隔部或显示区域周边部分的边缘等使用了间隔壁材。在有机EL显示装置的制造中，为了使有机物质的像素彼此不接触，首先形成间隔壁，在该间隔壁之间形成有机物质的像素。该间隔壁一般通过使用感光性树脂组合物的光刻而形成，具有绝缘性。详细而言，使用涂布装置将感光性树脂组合物涂布在基板上，将挥发成分用加热等手段除去后，经由掩模进行曝光，接着在负型的情况下将未曝光部分用碱性水溶液等显影液除去，在正型的情况下将曝光部分用碱性水溶液等显影液除去，从而进行显影，将所得的图案进行加热处理，形成间隔壁(绝缘膜)。接着通过喷墨法等，使发出红、绿、蓝3色光的有机物质在间隔壁之间成膜，形成有机EL显示装置的像素。
[0003]在该领域中，近年来，由于显示装置的小型化、和进行显示的内容多样化，因此要求像素的高性能化和高精细化。出于提高显示装置中的对比度、提高辨识性的目的，进行了使用着色剂使间隔壁材具有遮光性的尝试。然而，在使间隔壁材具有遮光性的情况下，具有感光性树脂组合物变为低灵敏度的倾向，其结果，可能曝光时间变长、生产性降低。因此，包含着色剂的间隔壁材的形成所使用的感光性树脂组合物要求更高灵敏度。
[0004]专利文献1(日本特开2001
‑
281440号公报)中，作为通过曝光后的加热处理而显示高遮光性的放射线敏感性树脂组合物，记载了在包含碱溶性树脂和醌重氮化合物的正型放射线敏感性树脂组合物中添加了钛黑的组合物。
[0005]专利文献2(日本特开2002
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116536号公报)记载了在含有[A]碱溶性树脂、[B]1,2
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醌重氮化合物、和[C]着色剂的放射线敏感性树脂组合物中，使用炭黑将间隔壁材黑色化的方法。
[0006]专利文献3(日本特开2010
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237310号公报)中，作为通过曝光后的加热处理而显示遮光性的放射线敏感性树脂组合物，记载了在包含碱溶性树脂和醌重氮化合物的正型放射线敏感性树脂组合物中添加了热敏色素的组合物。
[0007]专利文献4(国际公开第2017/069172号)记载了含有(A)粘合剂树脂、(B)醌重氮化合物、和(C)选自溶剂黑27～47的颜色指数(color index)所规定的黑色染料中的至少1种黑色染料的正型感光性树脂组合物。
[0008]现有技术文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1：日本特开2001
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281440号公报
[0011]专利文献2：日本特开2002
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116536号公报
[0012]专利文献3：日本特开2010
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237310号公报
[0013]专利文献4：国际公开第2017/069172号

技术实现思路

[0014]专利技术所要解决的课题
[0015]对于被着色了的间隔壁材的形成所使用的感光性树脂组合物，为了充分提高固化了的膜的遮光性，需要使用相当量的着色剂。在这样使用了大量着色剂的情况下，被照射到感光性树脂组合物的被膜的光等放射线被着色剂吸收，因此被膜中的放射线的有效强度降低，感光性树脂组合物未被充分曝光，作为结果，图案形成性降低。
[0016]作为一般的包含粘合剂树脂的正型感光性树脂组合物的放射线敏感化合物，广泛使用了醌重氮化合物。醌重氮化合物如果照射可见光、紫外光、γ射线、电子射线等放射线，则经过下述反应式1所示的反应而生成羧基。通过生成羧基，从而被曝光了的部分(被膜)可以在碱溶液中溶解，表现碱显影性。如果使包含着色剂的正型感光性树脂组合物为厚膜，则在被膜底部中醌重氮化合物不充分反应，因此有时被膜底部的碱溶解性不足，在显影时发生树脂残渣的产生和图案分辨率的降低。
[0017][0018]在大量包含着色剂的正型感光性树脂组合物中要求进一步提高固化被膜的光密度(OD值)，但不期望发生作为抵换(trade
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off)的图案分辨率的降低。
[0019]本专利技术的目的是提供可以形成高分辨率的图案的、含有黑色的着色剂的高灵敏度的感光性树脂组合物。
[0020]用于解决课题的方法
[0021]本专利技术人发现了：在使正型感光性树脂组合物为组合包含具有多个酚性羟基且多个酚性羟基的至少一部分被酸分解性基团保护了的丙烯酸系树脂、和作为光产酸剂的醌重氮化合物的化学放大体系时，在向醌重氮化合物照射了放射线时生成的羧酸化合物能够将酸分解性基团脱保护。基于这样的认识，本专利技术人实现了即使含有黑色的着色剂，也可以形成高分辨率的图案的正型感光性组合物。
[0022]即，本专利技术包含以下方案。
[0023][1][0024]一种正型感光性树脂组合物，其包含：
[0025]丙烯酸系树脂(A)，其具有多个酚性羟基，且上述多个酚性羟基的至少一部分被酸分解性基团保护了；
[0026]黑色着色剂(B)，其选自黑色染料和黑色颜料中的至少1种；以及
[0027]作为光产酸剂的醌重氮化合物(C)。
[0028][2][0029]根据[1]所述的正型感光性树脂组合物，上述丙烯酸系树脂(A)具有式(3)所示的
结构单元，
[0030][0031]在式(3)中，R1为碳原子数1～5的烷基，R5为上述酸分解性基团，r为0～5的整数，s为0～5的整数，其中r+s为1～5的整数，上述丙烯酸系树脂(A)具有至少1个s为1以上的整数的上述结构单元。
[0032][3][0033]根据[2]所述的正型感光性树脂组合物，上述丙烯酸系树脂(A)为进一步具有式(2)所示的结构单元的共聚物，
[0034][0035]在式(2)中，R2和R3各自独立地为氢原子、碳原子数1～3的烷基、完全或部分地被氟化了的碳原子数1～3的烷基、或卤原子，R4为氢原子、碳原子数1～6的直链或碳原子数4～12的环状烷基、或可以被选自羟基、碳原子数1～6的烷基和碳原子数1～6的烷氧基中的至少1种取代的苯基。
[0036][4][0037]根据[2]或[3]所述的正型感光性树脂组合物，上述丙烯酸系树脂(A)包含式(3)所示的上述结构单元60摩尔％～100摩尔％。
[0038][5][0039]根据[1]～[4]中任一项所述的正型感光性树脂组合物，以树脂成分的合计100质量份作为基准，其包含20质量份～50质量份的上述醌重氮化合物(C)。
[0040][6][0041]根据[1]～[5]中任一项所述的正型感光性树脂组合物，以树脂成分的合计1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种正型感光性树脂组合物，其包含：丙烯酸系树脂(A)，其具有多个酚性羟基，且所述多个酚性羟基的至少一部分被酸分解性基团保护了；黑色着色剂(B)，其为选自黑色染料和黑色颜料中的至少1种；以及作为光产酸剂的醌重氮化合物(C)。2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，所述丙烯酸系树脂(A)具有式(3)所示的结构单元，在式(3)中，R1为碳原子数1～5的烷基，R5为所述酸分解性基团，r为0～5的整数，s为0～5的整数，其中r+s为1～5的整数，所述丙烯酸系树脂(A)具有至少1个s为1以上的整数的所述结构单元。3.根据权利要求2所述的正型感光性树脂组合物，所述丙烯酸系树脂(A)为进一步具有式(2)所示的结构单元的共聚物，在式(2)中，R2和R3各自独立地为氢原子、碳原子数1～3的烷基、完全或部分地被氟化了的碳原子数1～3的烷基、或卤原子，R4为氢原子、碳原子数1～6的直链或碳原子数4～12的环状烷基、或可以被选自羟基、碳原子数1～6的烷基和碳原子数1～6的烷氧基中的至少1种取代的苯基。4.根据权利要求2或3所述的正型感光性树脂组合物，所述丙烯酸系树脂(A)包含式(3)所示的所述结构单元60摩尔％～100摩尔％。5.根据权利要求1～4中任一项所述的正型感光性树脂组合物，以树脂成分的合计100质量份作为基准，其包含20质量份～50质量份的所述醌重氮化合物(C)。6.根据权利要求1～5中任一项所述的正型感光性树脂组合物，以树脂成分的合计100质量份作为基准，所述醌重氮化合物(C)以外的光产酸剂的含量为0.5质量份以下。7.根据权利要求1～6中任一项所述的正型感光性树脂组合物，所述丙烯酸系树脂(A)的所述酸分解性基团为式(6)所示的基团，
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CR6R7‑
O
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R8ꢀꢀꢀꢀ
(6)在式(6)中，R6和R7各自独立地为氢原子、或碳原子数1～4的直链状或支链状的烷基，R8为碳原子数1～12的直链状、支...

【专利技术属性】
技术研发人员：古江健太郎，新井良和，
申请(专利权)人：昭和电工株式会社，
类型：发明
国别省市：