炉帽及扩散炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种炉帽及扩散炉。炉帽包括帽体，帽体设有相互连通的容纳槽与出气孔，出气孔用于与外部抽风管道连通，帽体用于套设炉管的管口；帽体套设炉管的管口时，容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于炉管的外壁，以与炉管密封连接，以使炉管排出的气体经过容纳槽和出气孔排出，且炉管位于槽口边缘和管口边缘之间的至少部分区域，与容纳槽的槽壁之间具有间隙。帽体套设炉管的管口时，通过容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于炉管的外壁，从而与炉管密封连接，而炉管位于槽口边缘和管口边缘之间的至少部分区域与容纳槽的槽壁之间具有间隙的设置，减小了炉帽与炉管的接触面积，从而减小了两者之间的粘黏程度，便于炉帽取下，提高了炉帽的适应性。适应性。适应性。

【技术实现步骤摘要】
炉帽及扩散炉


[0001]本技术涉及半导体
，特别是涉及观察窗及炉帽及扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉管是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对硅片进行扩散、氧化、返火、合金及烧结等工艺的一种加工装置。主要反应装置一般分为水平式和直立式两种，半导体材料在高纯净的反应腔内进行高温反应，此过程一般需要通入不同种类的气体或对腔体进行抽真空处理。整个生产过程需要操作、生产设备需要纯净、轻便、耐高温。现有的炉帽为与炉管外壁适配的喇叭口形，从而提高炉帽与炉管的接触面积，提高密封性，然而，在生产过程中，扩散炉内反应后残留物有粘性，在高温时会顺着炉管流到炉帽与炉管的接触位置，残留物冷却后会使得炉帽与炉管粘连，从而使得取炉帽困难，且操作过程中炉帽易开裂损坏，甚至造成炉管损坏。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对现有的炉帽为与炉管外壁适配的喇叭口形，扩散炉内反应后残留物有粘性，残留物冷却后会使得炉帽与炉管粘连，从而使得取炉帽困难，且操作过程中炉帽易开裂损坏，甚至造成炉管损坏的技术问题，提供一种炉帽。
[0004]一种炉帽，包括帽体；
[0005]所述帽体设有相互连通的容纳槽与出气孔，所述出气孔用于与外部抽风管道连通，所述帽体用于套设炉管的管口；
[0006]所述帽体套设所述炉管的管口时，所述容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于所述炉管的外壁，以与所述炉管密封连接，以使所述炉管排出的气体经过所述容纳槽和所述出气孔排出，且所述炉管位于所述槽口边缘和所述管口边缘之间的至少部分区域，与所述容纳槽的槽壁之间具有间隙。
[0007]在其中一个实施例中，所述容纳槽为圆形凹槽。
[0008]在其中一个实施例中，所述容纳槽的槽侧壁上设有限位凸，所述限位凸用于抵接于所述炉管的外壁，以限制所述帽体相对所述炉管沿与所述帽体的套设方向平行的方向移动。
[0009]在其中一个实施例中，所述限位凸的数量为多个，多个所述限位凸绕所述容纳槽的周向间隔设置。
[0010]在其中一个实施例中，所述限位凸在所述容纳槽的中心指向槽侧壁的方向上的尺寸沿所述帽体的套设方向逐渐减小，以与所述炉管的外壁适配并贴合。
[0011]在其中一个实施例中，所述限位凸由所述槽口边缘向所述容纳槽的槽底壁延伸。
[0012]在其中一个实施例中，所述炉帽还包括排气管，所述出气孔设置于所述容纳槽的槽底壁上的中心位置，所述排气管的一端连通于所述出气孔，另一端用于与位于所述帽体侧方的所述抽风管道连通。
[0013]在其中一个实施例中，所述排气管上具有间隔设置第一弯折部和第二弯折部，所述第一弯折部位于所述排气管上靠近所述出气孔的区域，所述第二弯折部位于所述排气管上靠近所述抽风管道的区域。
[0014]在其中一个实施例中，所述排气管上还设有第三弯折部，所述第三弯折部位于所述第一弯折部和所述第二弯折部之间。
[0015]本技术还提供一种扩散炉，能够解决上述至少一个技术问题。
[0016]一种扩散炉，包括炉管及上述的炉帽，所述炉帽连接于所述炉管。
[0017]有益效果：
[0018]本技术实施例提供的的炉帽，包括帽体，帽体设有相互连通的容纳槽与出气孔，出气孔用于与外部抽风管道连通，帽体用于套设炉管的管口；帽体套设炉管的管口时，容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于炉管的外壁，以与炉管密封连接，以使炉管排出的气体经过容纳槽和出气孔排出，且炉管位于槽口边缘和管口边缘之间的至少部分区域，与容纳槽的槽壁之间具有间隙。本申请中帽体套设炉管的管口时，通过容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于炉管的外壁，从而与炉管密封连接，使得炉管排出的气体经过容纳槽和出气孔排出至抽风管道内，而炉管位于槽口边缘和管口边缘之间的至少部分区域与容纳槽的槽壁之间具有间隙的设置，减小了炉帽与炉管的接触面积，从而减小了两者之间的粘黏程度，进而解决了炉帽因粘黏严重而无法取下的问题，提高了炉帽的适应性。
[0019]本技术还提供一种扩散炉，包括炉管及上述的炉帽，炉帽连接于炉管，扩散炉能够实现上述至少一个技术效果。
附图说明
[0020]图1为本技术一实施例提供的炉帽与炉管配合的示意图；
[0021]图2为本技术一实施例提供的炉帽的示意图；
[0022]图3为图1中A处的放大图。
[0023]附图标号：
[0024]100
‑
帽体；110
‑
容纳槽；111
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槽口边缘；120
‑
出气孔；130
‑
限位凸；200
‑
排气管；210
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第一弯折部；220
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第二弯折部；230
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第三弯折部；300
‑
炉管；310
‑
管口。
具体实施方式
[0025]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术
的限制。
[0027]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0028]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种炉帽，其特征在于，所述炉帽包括帽体；所述帽体设有相互连通的容纳槽与出气孔，所述出气孔用于与外部抽风管道连通，所述帽体用于套设炉管的管口；所述帽体套设所述炉管的管口时，所述容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于所述炉管的外壁，以与所述炉管密封连接，以使所述炉管排出的气体经过所述容纳槽和所述出气孔排出，且所述炉管位于所述槽口边缘和所述管口边缘之间的至少部分区域，与所述容纳槽的槽壁之间具有间隙。2.根据权利要求1所述的炉帽，其特征在于，所述容纳槽为圆形凹槽。3.根据权利要求2所述的炉帽，其特征在于，所述容纳槽的槽侧壁上设有限位凸，所述限位凸用于抵接于所述炉管的外壁，以限制所述帽体相对所述炉管沿与所述帽体的套设方向平行的方向移动。4.根据权利要求3所述的炉帽，其特征在于，所述限位凸的数量为多个，多个所述限位凸绕所述容纳槽的周向间隔设置。5.根据权利要求3所述的炉帽，其特征在于，所述限位凸在所述容纳槽的中心指向槽侧壁的方向上的尺寸沿所述帽...

【专利技术属性】
技术研发人员：佘宇华，
申请(专利权)人：深圳深爱半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：