感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法及印刷电路板技术

技术编号:3744278 阅读:147 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种通过激光曝光进行图案形成的适合作为阻焊剂材料的感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法及印刷电路板,它们可以在维持显影性的同时提高绝缘可靠性。本发明专利技术的感光性组合物含有粘合剂、聚合性化合物、填料和光聚合引发剂,该聚合性化合物的I/O值的重量平均为0.52以下。本发明专利技术还提供一种永久图案形成方法,其至少包括对感光性组合物形成的感光层进行曝光的步骤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种通过激光曝光进行图案形成的适合作为阻焊剂材料 的感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法及印刷 电路板。
技术介绍
一直以来,在形成阻焊剂(solder resist)等的等永久图案时,使 用的是通过在支撑体上涂布、干燥感光性树脂组合物而形成感光层的感光 性薄膜。作为所述永久图案的制造方法,例如在形成所述永久图案的镀铜 层叠板等的基材上,层叠感光性薄膜而形成层叠体,对该层叠体中的感光 层进行曝光,在该曝光后,显影所述感光层进而形成图案,然后通过进行 固化处理等形成永久图案。一直以来,在上述阻焊剂形成用的感光性组合物中,使用二季戊四醇 六丙烯酸酯(以下简称为"DPHA")作为聚合性化合物(参考特开平5—9244号公报)。另外,对于以含有多官能单体为特征的DFR,记载了作为光聚合引发 剂市售的肟化合物(参考特开2006—220865号公报)。此外,为了提高进行数字成像(DI)时的生产率,提出了一种以作为 光聚合引发剂的酰基肟化合物和在分子中含有硫原子的二苯甲酮化合物 为必须成分,使用聚合性化合物和含有两个以上环氧基的环氧化合物时, 适合于405nm激光下的图案形成性、膜固化性的固化性树脂组合物(参考 特开2005 — 182004号公报)。但是,在特开平5 — 9244号公报、特开2006 — 220865号公报、以及 特开2005 — 182004号公报中,对于在数字成像(DI)曝光时获得充分的 灵敏度,同时获得新鲜保存性优异的感光性组合物,而且对于在作为绝缘可靠性的加速评价的、高速加速寿命试验(二HAST试验)中获得的良好的 结果,既没有公开也没有暗示,目前的情况是希望进一步的改善、开发。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该情况而提出的,课题是解决以往的上述各种问题,实 现下面的目的。即,本专利技术的目的是提供一种在维持显影性的同时提高绝 缘可靠性的感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方 法及印刷电路板。作为用于解决上述课题的手段,如下所示。即,〈1〉 一种感光性组合物,其特征在于,含有粘合剂、聚合性化合物、 填料和光聚合引发剂,该聚合性化合物的1/0值的重量平均为0. 52以下。〈2〉上述〈1〉中记载的感光性组合物,其中,聚合性化合物的1/0 值的重量平均为0. 43以下。〈3〉上述〈1〉 一 〈2〉任何一项中记载的感光性组合物,其中,聚 合性化合物具有两个以上的聚合性基。〈4〉上述〈1〉 一 〈3〉任何一项中记载的感光性组合物,其中,聚 合性化合物是二羟甲基三环癸垸二 (甲基)丙烯酸酯。〈5〉上述〈1〉 一 〈4〉任何一项中记载的感光性组合物,其中,光聚合引发剂是肟衍生物。〈6〉上述〈1〉 一 〈5〉任何一项中记载的感光性组合物,其还含有 热交联剂。〈7〉上述〈6〉中记载的感光性组合物,其中热交联剂是选自环氧化 合物、氧杂环丁垸化合物、聚异氰酸酯化合物、使聚异氰酸酯化合物与封 端剂反应得到的化合物、以及蜜胺衍生物的至少一种。〈8〉 一种感光性薄膜,其特征在于,通过在支撑体上具有由上述〈1〉 一 〈7〉任何一项中记载的感光性组合物组成的感光层形成。〈9〉 一种感光性层叠体,其特征在于,在基体上具有由上述〈1〉 _ 〈7〉任何一项中记载的感光性组合物组成的感光层。〈10〉 一种永久图案形成方法,其特征在于,至少包括对由上述U〉 一 〈7〉任何一项中记载的感光性组合物形成的感光层进行曝光的步骤。〈11〉 上述〈10〉中记载的永久图案形成方法,其中,曝光是在用光调制机构调整光后,通过配置了微透镜的微透镜阵列来进行的,其中所 述微透镜具有可以校正因该光调制机构中描绘部的射出面变形而产生的 像差的非球面。〈12〉 上述〈10> — 〈11〉任何一项中记载的永久图案形成方法, 其中进行曝光后,对感光层进行显影。〈13〉 上述〈12〉中记载的永久图案形成方法,其中进行显影后, 对感光层进行固化处理。〈14〉 一种印刷电路板,其特征在于由上述〈10〉 一 〈13〉任何一 项中记载的永久图案形成方法形成永久图案。专利技术效果根据本专利技术,可以解决以往的各种问题,可以提供一种在维持显影性 的同时提高绝缘可靠性的感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、永 久图案形成方法及印刷电路板。具体实施方式(感光性组合物)本专利技术中,感光性组合物含有粘合剂、聚合性化合物、填料和光聚合 引发剂,还根据需要含有其他成分。 〈粘合剂〉作为所述粘合剂,优选使用在侧链含有酸性基和乙烯性不饱和键的高 分子化合物、环氧丙烯酸酯化合物,其中,特别优选使用在侧链含有酸性 基和乙烯性不饱和键的高分子化合物。一在侧链含有酸性基和乙烯性不饱和键的高分子化合物一作为所述酸性基,可以举出羧基、磷酸基、磺酸基等,而从获得原料 的点出发,优选羧基。另外,作为所述粘合剂,可以使用在分子内至少有一个可以聚合的双 键,例如(甲基)丙烯酸酯基或(甲基)丙烯酰胺基等丙烯酸基,羧酸的 乙烯酯、乙烯醚、烯丙醚等的各种聚合性双键。更具体而言,作为酸性基,可以举出向含有作为酸性基的羧基的丙烯酸树脂上,加成含环状醚基的聚 合性化合物例如縮水甘油基丙烯酸酯、縮水甘油基甲基丙烯酸酯、桂皮酸 等不饱和脂肪酸的縮水甘油酸酯或脂环式环氧基(例如在同一分子中具有 环己烯氧化物等的环氧基)和(甲基)丙烯酰基的化合物等含环氧基的聚 合性化合物得到的化合物等。另外,还可以举出向含有酸性基及羟基的丙 烯酸树脂加成异氰酸酯(甲基)丙烯酸乙酯等含异氰酸酯基的聚合性化合 物得到的化合物,向含有酸酐基的丙烯酸树脂加成(甲基)丙烯酸羟基烷 基酯等含有羟基的聚合性化合物得到的化合物等。另外,还可以举出共聚 合縮水甘油基甲基丙烯酸酯等含环状醚基的聚合物化合物和(甲基)丙烯 酰基烷基酯等乙烯系单体,向侧链的环氧基加成(甲基)丙烯酸得到的化 合物等。这些例子可以举出专利2763775号公报、特开平3 — 172301号公报、 特开2000 — 232264号公报等。其中,所述粘合剂更优选从向高分子化合物的酸性基的一部分加成含 环状醚基(例如部分结构具有环氧基、氧杂环丁烷基的基)聚合性化合物 得到的高分子化合物以及向高分子化合物的环状醚基的一部分或全部加 成含羧基聚合性化合物得到的高分子化合物的任意一种中选择的高分子 化合物。此时,酸性基与具有环状醚基的化合物的加成反应优选在催化剂 存在下实施,特别优选该催化剂为从酸性化合物及中性化合物中选择的催 化剂。其中,从感光性组合物的经时显影稳定性的点出发,粘合剂优选为在 侧链含有羧基、可含有杂环的芳香族基、且在侧链含有乙烯性不饱和键的 高分子化合物。一一可含有杂环的芳香族基一一作为所述可含有杂环的芳香族基(以下有时简称为"芳香族基"。), 例如可以举出苯环、由2 3个苯环形成稠环的基、苯环与5员不饱和环 形成稠环的基等。作为所述芳香族基的具体例,可以举出苯基、萘基、蒽基、菲基、茚 基、苊基、芴基、吲哚环基、苯并呋喃环基、苯并噻吩环基、吡唑环基、 异噁唑环基、异噻唑环基、喷唑环基、苯并异噁唑环基、苯并异噻唑环基、咪唑环基、噁唑环基、噻唑环基、苯并咪唑环基、苯并噁唑环基、苯并噻 唑环基、吡啶环基、喹啉环基、异喹啉环基、哒嗪环基、嘧啶环基、本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种感光性组合物,其特征在于,含有粘合剂、聚合性化合物、填料和光聚合引发剂,该聚合性化合物的I/O值的重量平均为0.52以下。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:池田贵美
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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