一种镀膜坩埚取放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体加工领域，尤其涉及一种镀膜坩埚取放装置，包括两个连接杆、两个手柄、两个夹片和防尘盖，两个连接杆中部铰接，两个连接杆的第一端均设有夹片，夹片呈与坩埚外形一致的弧形结构；夹片与连接杆的下侧连接；防尘盖设于连接杆上侧，防尘盖与两个连接杆的铰接处固定连接；防尘盖覆盖坩埚开口；两个连接杆的第二端均设有手柄。使用时将夹片与坩埚两侧相对，而后握紧手柄，使得夹片夹紧坩埚侧面，而防尘盖则覆盖坩埚开口避免灰尘落入；而夹片位于连接杆下侧的设置使得操作人员只需在坩埚一侧将整个装置水平把持而后下移即可，无需将其移动至坩埚正上方进行夹取，避免松脱落入坩埚内。免松脱落入坩埚内。免松脱落入坩埚内。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜坩埚取放装置


[0001]本技术涉及半导体加工领域，尤其涉及一种镀膜坩埚取放装置。

技术介绍

[0002]真空蒸镀是指在真空环境中，将材料加热并镀到基片上，主要是用来蒸镀金属膜层。在LED金属蒸镀制程过程中将金属原材料装在坩埚里，再将坩埚放入蒸镀机台的坩埚座内，蒸镀完后需要添加金属原料时，将坩埚从坩埚座取出并重复上述过程。现有的坩埚取放没有专用的装置，采用长铁片插入坩埚与坩埚座的隔离缝中，稍勾起坩埚，最后用手拿出整个坩埚。这样夹取效率不高，操作时也会使坩埚不稳而倾倒，且存在灰尘污染的现象。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种方便夹取且能够实现防尘的镀膜坩埚取放装置。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种镀膜坩埚取放装置，包括两个连接杆、两个手柄、两个夹片和防尘盖，两个所述连接杆中部铰接，两个所述连接杆的第一端均设有夹片，所述夹片呈与坩埚外形一致的弧形结构；所述夹片与连接杆的下侧连接；所述防尘盖设于连接杆上侧，所述防尘盖与两个连接杆的铰接处固定连接；所述防尘盖覆盖坩埚开口；两个所述连接杆的第二端均设有手柄。
[0005]进一步地，所述防尘盖一侧朝向连接杆延伸有转动柱，所述转动柱与两个连接杆的铰接处固定连接；所述防尘盖下端面与连接杆之间具有间隔。
[0006]进一步地，所述防尘盖为透明材质。
[0007]进一步地，两个所述夹片的相对面均设有防滑沟槽。
[0008]进一步地，还包括弹簧，所述弹簧连接于两个手柄之间。
[0009]本技术的有益效果在于：使用时将夹片与坩埚两侧相对，而后握紧手柄，使得两个连接杆的第一端和第二端均互相靠近，进而使得夹片夹紧坩埚侧面，而防尘盖则覆盖坩埚开口避免灰尘落入；而夹片位于连接杆下侧的设置使得操作人员只需在坩埚一侧将整个装置水平把持而后下移即可，无需将其移动至坩埚正上方进行夹取，避免松脱落入坩埚内。
附图说明
[0010]图1为
技术介绍
中的坩埚、坩埚座以及长铁片配合的结构示意图；
[0011]图2为本技术具体实施方式的镀膜坩埚取放装置的结构示意图；
[0012]图3为本技术具体实施方式的镀膜坩埚取放装置的剖视图。
[0013]标号说明：
[0014]1、连接杆；2、手柄；3、夹片；31、防滑沟槽；4、防尘盖；41、转动柱；5、弹簧。
具体实施方式
[0015]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0016]请参照图1至图3，一种镀膜坩埚取放装置，包括两个连接杆1、两个手柄2、两个夹片3和防尘盖4，两个所述连接杆1中部铰接，两个所述连接杆1的第一端均设有夹片3，所述夹片3呈与坩埚外形一致的弧形结构；所述夹片3与连接杆1的下侧连接；所述防尘盖4设于连接杆1上侧，所述防尘盖4与两个连接杆1的铰接处固定连接；所述防尘盖4覆盖坩埚开口；两个所述连接杆1的第二端均设有手柄2。
[0017]从上述描述可知，本技术的有益效果在于：使用时将夹片3与坩埚两侧相对，而后握紧手柄2，使得两个连接杆1的第一端和第二端均互相靠近，进而使得夹片3夹紧坩埚侧面，而防尘盖4则覆盖坩埚开口避免灰尘落入；而夹片3位于连接杆1下侧的设置使得操作人员只需在坩埚一侧将整个装置水平把持而后下移即可，无需将其移动至坩埚正上方进行夹取，避免松脱落入坩埚内。
[0018]进一步地，所述防尘盖4一侧朝向连接杆1延伸有转动柱41，所述转动柱41与两个连接杆1的铰接处固定连接；所述防尘盖4下端面与连接杆1之间具有间隔。
[0019]由上述描述可知，通过防尘盖4上的转动柱41与两个连接杆1的铰接处的固定连接设置，使得连接杆1转动时，防尘盖4保持不动以确保对坩埚开口的遮挡；而防尘盖4下端面与连接杆1之间的间隔设置避免连接杆1转动时剐蹭防尘盖4。
[0020]进一步地，所述防尘盖4为透明材质。
[0021]由上述描述可知，透明材质的防尘盖4设置方便操作人员对坩埚内部的观察。
[0022]进一步地，两个所述夹片3的相对面均设有防滑沟槽31。
[0023]由上述描述可知，通过夹片3上的防滑沟槽31设置，提高夹片3与坩埚侧面接触时的摩擦力，避免搬运时滑脱。
[0024]进一步地，还包括弹簧5，所述弹簧5连接于两个手柄2之间。
[0025]由上述描述可知，通过手柄2之间的弹簧5设置来对两个夹片3之间的最大间距进行限制。具体地，通过该弹簧5的限制使两个夹片3之间间距保持，此时的夹片3之间的间距比坩埚外径略大0.5
‑
1mm，在夹取坩埚时能够更快地进行定位，减少夹紧行程，提高效率。
[0026]参照图1至图3，本技术的实施例一为：
[0027]本技术的应用场景：现有的坩埚取放没有专用的装置，采用长铁片插入坩埚与坩埚座的隔离缝中，稍勾起坩埚，最后用手拿出整个坩埚。这样夹取效率不高，操作时也会使坩埚不稳而倾倒，且存在灰尘及污染的现象。
[0028]如图1至图3所示，本实施例的一种镀膜坩埚取放装置，包括两个连接杆1、两个手柄2、两个夹片3、防尘盖4和弹簧5。
[0029]两个所述连接杆1中部铰接，两个所述连接杆1的第一端均设有夹片3，所述夹片3呈与坩埚外形一致的弧形结构，两个所述夹片3的相对面均设有防滑沟槽31；所述夹片3与连接杆1的下侧连接；所述防尘盖4为透明材质，所述防尘盖4设于连接杆1上侧，所述防尘盖4与两个连接杆1的铰接处固定连接；所述防尘盖4覆盖坩埚开口；两个所述连接杆1的第二端均设有手柄2；所述弹簧5连接于两个手柄2之间。
[0030]所述防尘盖4一侧朝向连接杆1延伸有转动柱41，所述转动柱41与两个连接杆1的
铰接处固定连接；所述防尘盖4下端面与连接杆1之间具有间隔。
[0031]具体地，在本实施例中，坩埚外径为46mm；夹片3高度为10mm；防尘盖4高度为7mm，直径为65mm；两个手柄2的间距为50mm。
[0032]本技术的工作原理：首先坩埚置于坩埚座内并且在坩埚与坩埚座之间具有隔离缝；在需要夹取坩埚时，水平把持手柄2并将夹片3移动至对应坩埚侧面，而后将装置下移，使得夹片3落入坩埚座与坩埚之间的隔离缝内；而后握紧手柄2，在连接杆1作用下，两个夹片3互相靠近以夹紧坩埚；而防尘盖4则在下移后将坩埚开口覆盖；而后将装置上移以取走坩埚。
[0033]综上所述，本技术提供的一种镀膜坩埚取放装置，使用时将夹片与坩埚两侧相对，而后握紧手柄，使得两个连接杆的第一端和第二端均互相靠近，进而使得夹片夹紧坩埚侧面，而防尘盖则覆盖坩埚开口避免灰尘落入；而夹片位于连接杆下侧的设置使得操作人员只需在坩埚一侧将整个装置水平把持而后下移即可，无需将其移动至坩埚正上方进行夹取，避免松脱落入坩埚内。
[0034]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜坩埚取放装置，其特征在于，包括两个连接杆、两个手柄、两个夹片和防尘盖，两个所述连接杆中部铰接，两个所述连接杆的第一端均设有夹片，所述夹片呈与坩埚外形一致的弧形结构；所述夹片与连接杆的下侧连接；所述防尘盖设于连接杆上侧，所述防尘盖与两个连接杆的铰接处固定连接；所述防尘盖覆盖坩埚开口；两个所述连接杆的第二端均设有手柄。2.根据权利要求1所述的镀膜坩埚取放装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪加添，陈威，潘锴，黄家柳，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：