本发明专利技术公开一种沉积源及显示装置的制造装置。本发明专利技术的一实施例的沉积源包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，被设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。沉积材料的喷嘴。沉积材料的喷嘴。
【技术实现步骤摘要】
沉积源及显示装置的制造装置
[0001]本专利技术涉及一种装置，更详细而言，涉及一种沉积源及包括沉积源的显示装置的制造装置。
技术介绍
[0002]最近广泛使用电子设备。电子设备以如移动型电子设备和固定型电子设备那样的多种方式得到利用，这种电子设备为了支持多种功能而包括能够将如图像或视频的视觉信息提供给用户的显示装置。
[0003]显示装置是以视觉方式显示数据的装置，通过沉积有机层、金属层等的多种层来形成。为了形成显示装置的多个层，可使用沉积装置。沉积装置以沉积材料从沉积源喷射并经过掩模沉积在基板上的方式得到利用。
[0004]前述的
技术介绍
是专利技术人为了导出本专利技术而具有的或者在本专利技术的导出过程中掌握的技术信息，不能说必须是在本专利技术的申请之前向一般公众公开的公知技术。
技术实现思路
[0005]本专利技术的实施例的目的是提供一种能够高效地喷射沉积材料的沉积源及包括沉积源的显示装置的制造装置。
[0006]但是，这种课题是示意性的，本专利技术所要解决的课题并不限定于此。
[0007]本专利技术的一实施例公开一种沉积源，所述沉积源包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。
[0008]根据本实施例，所述肋可包括：第一块，从所述外壳的底面向所述第一板延伸；以及第二块，设置在所述第一块的一侧，并且以与所述第一块交叉的方式延伸。
[0009]根据本实施例，所述第二块可与所述第一板相隔。
[0010]根据本实施例，所述肋可通过辐射(radiation)向所述第一板进行传热。
[0011]根据本实施例，所述第一板可进一步包括：收容部，在所述第一板的俯视上与所述多个第一开口重叠；以及多个球形部件(spherical)，设置于所述收容部中。
[0012]根据本实施例，在所述第一板的俯视上，所述多个第一开口可以从所述收容部的周围向所述收容部的中心相隔设置。
[0013]根据本实施例，所述第一板可进一步包括能够开闭所述收容部的罩部。
[0014]根据本实施例，所述罩部可通过在所述收容部滑动移动来开闭所述收容部。
[0015]根据本实施例，所述第一开口的尺寸可小于所述球形部件的直径。
[0016]根据本实施例，在所述第二板中设置有所述多个第二开口的区域可大于在所述第一板中设置有所述多个第一开口的区域。
[0017]根据本实施例，所述第二开口可大于所述第一开口。
[0018]根据本实施例，可进一步包括包围所述外壳的整个外表面的加热部。
[0019]根据本实施例，可进一步包括包围所述加热部的外侧的隔热部。
[0020]根据本实施例，所述外壳的内部侧面可以以台阶式突出。
[0021]根据本实施例，所述外壳的以台阶式突出的内部侧面可支撑所述第一板、所述第二板及所述盖中的至少一个。
[0022]根据本实施例，所述沉积材料与所述第一板之间的第一压力可大于所述第一板与所述第二板之间的第二压力，所述第二压力可大于所述第二板与所述盖之间的第三压力，所述第三压力可大于所述喷嘴中的第四压力。
[0023]本专利技术的另一实施例公开一种显示装置的制造装置，所述显示装置的制造装置包括：掩模，与基板相对设置；以及沉积源，与所述掩模相对设置，所述沉积源包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。
[0024]根据本实施例，所述肋可包括：第一块，从所述外壳的底面向所述第一板延伸；以及第二块，设置在所述第一块的一侧，并且以与所述第一块交叉的方式延伸。
[0025]根据本实施例，所述第一板可包括：收容部，在所述第一板的俯视上与所述多个第一开口重叠；以及多个球形部件(spherical)，设置于所述收容部中。
[0026]根据本实施例，在所述第一板的俯视上，所述多个第一开口可以从所述收容部的周围向所述收容部的中心相隔设置。
[0027]从权利要求书、以下的具体实施方式以及说明书附图将会明确除了前述内容以外的其他方面、特征及优点。
[0028]根据本专利技术的实施例，可提供一种能够高效地喷射沉积材料的沉积源及显示装置的制造装置。
[0029]此外，可提供一种不会因沉积材料的再次凝固而妨碍沉积材料的喷射的沉积源及显示装置的制造装置。
[0030]本专利技术的效果并不限定于上面提到的效果，本领域技术人员根据权利要求书的记载应能清楚理解没有提到的其他效果。
附图说明
[0031]图1是示意性地图示本专利技术的一实施例的显示装置的俯视图。
[0032]图2是示意性地图示本专利技术的一实施例的显示装置的剖面图，是沿图1的II
–
II'线剖切的剖面图。
[0033]图3是表示本专利技术的一实施例的显示装置的制造装置的剖面图。
[0034]图4是表示本专利技术的一实施例的沉积源的剖面图。
[0035]图5是表示本专利技术的一实施例的第一板的俯视图。
[0036]图6a是放大表示图4中的肋的放大剖面图。
[0037]图6b是表示本专利技术的另一实施例的肋的与图6a相似的图。
[0038]图7是放大表示图4的VII部分的放大图。
[0039]图8是放大表示图4的VIII部分的放大图。
[0040]图9a至图9c是放大表示本专利技术的一实施例的第一板的放大图。
[0041]图10是表示沉积材料在本专利技术的一实施例的沉积源中流动的示意性剖面图。
[0042]图11是示意性地表示沉积材料的相平衡状态图(phase diagram)的图。
具体实施方式
[0043]本专利技术可进行多种变更，可具有多种实施例，在附图中示意地表示特定实施例，并在具体实施方式中进行详细的说明。参照附图及详细后述的实施例，应能清楚本专利技术的效果和特征以及实现这些效果和特征的方法。但是本专利技术并不限定于以下公开的实施例，而是可由多种形态实现。
[0044]下面，参照附图对本专利技术的实施例进行详细说明，当参照附图进行说明时，相同或对应的结构要素使用相同的附图标记，并省略对该结构要素的重复说明。
[0045]在以下实施例中，第一、第二等用语并不具有限定性的含义，而是出于将一个结构要素与其他结构要素区别的目的而使用。
[0046]在以下实施例中，关于单数形式的表述，如果在上下文中不是明显地表示不同的含义，则本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种沉积源，包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，被设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。2.根据权利要求1所述的沉积源，其中，所述肋包括：第一块，从所述外壳的底面向所述第一板延伸；以及第二块，设置在所述第一块的一侧，并且以与所述第一块交叉的方式延伸。3.根据权利要求2所述的沉积源，其中，所述第二块与所述第一板相隔。4.根据权利要求1所述的沉积源，其中，所述肋通过辐射向所述第一板进行传热。5.根据权利要求1所述的沉积源，其中，所述第一板进一步包括：收容部，在所述第一板的俯视上与所述多个第一开口重叠；以及多个球形部件，设置于所述收容部中。6.根据权利要求5所述的沉积源，其中，在所述第一板的俯视上，所述多个第一开口从所述收容部的周围向所述收容部的中心相隔设置。7.根据权利要求5所述的沉积源，其中，所述第一板进一步包括能够开闭所述收容部的罩部。8.根据权利要求7所述的沉积源，其中，...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹踊晧，洪锡俊，姜有珍，金东昱，郑和平，韩尚辰，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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