抽真空装置、镀膜设备及电池生产系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及电池生产技术领域，提供一种抽真空装置、镀膜设备及电池生产系统，其中，抽真空装置包括真空泵、主抽管路和辅抽管路，主抽管路的第一端与真空泵相连接，第二端能够与气相沉积设备的工作腔室相连接，主抽管路上设有用于控制主抽管路的通断状态的第一控制阀；辅抽管路的两端均与主抽管路相连接，且辅抽管路的两端分别位于第一控制阀的两侧，辅抽管路包括第二控制阀和至少两条并联设置的支管路，任意两条支管路的内直径相异，且各条支管路的内直径均小于主抽管路的内直径，第二控制阀设置为能够可选择地控制至少一条支管路与主抽管路相连通。如此设置，解决了现有技术中无法调节慢抽阶段的抽真空速度的问题。中无法调节慢抽阶段的抽真空速度的问题。中无法调节慢抽阶段的抽真空速度的问题。

【技术实现步骤摘要】
抽真空装置、镀膜设备及电池生产系统


[0001]本技术涉及电池生产
，尤其涉及一种抽真空装置、镀膜设备及电池生产系统。

技术介绍

[0002]太阳能电池是一种利用太阳光直接发电的半导体器件，在太阳能电池的生产过程中，一般利用管式PECVD沉积设备或者管式HWCVD沉积设备等气相沉积设备在硅片上沉积薄膜。在气相沉积设备工作过程中，气相沉积设备的工作腔室呈真空状态。故在气相沉积开始之前，需要对工作腔室进行抽真空处理。在对工作腔室进行抽真空时，需要控制抽真空的速度，避免因工作腔室的真空度变化太快导致的工作腔室的内部产生应力集中而破裂的问题。
[0003]为保证气相沉积设备的工作腔室的使用寿命，并且降低完成抽真空处理所需要的时间，提高生产效率，现有技术中一般对气相沉积设备同时配置主抽真空系统和辅助抽真空系统，在抽真空时，先利用辅助抽真空系统进行慢抽至工作腔室内达到一定的真空度，然后再利用主抽真空系统进行快抽，直至达到工艺要求的真空度。
[0004]但现有技术中的辅助抽真空系统包括真空罐、真空管道、泵以及阀门等零部件，结构复杂，利用泵对真空罐进行抽真空，至真空罐内的真空度达到一定值时，再利用真空罐对工作腔室进行抽真空处理，操作复杂，且无法调节辅助抽真空系统的抽真空速度，对于不同容积的工作腔室进行抽真空时，无法将慢抽阶段的时间控制在工艺要求范围内。
[0005]因此，如何解决现有技术中无法调节慢抽阶段的抽真空速度的问题，成为本领域技术人员所要解决的重要技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种抽真空装置、镀膜设备及电池生产系统，用以解决现有技术中无法调节慢抽阶段的抽真空速度的缺陷。
[0007]本技术提供一种抽真空装置，包括：
[0008]真空泵；
[0009]主抽管路，第一端与所述真空泵相连接，第二端能够与气相沉积设备的工作腔室相连接，所述主抽管路上设置有用于控制所述主抽管路的通断状态的第一控制阀；
[0010]辅抽管路，两端均与所述主抽管路相连接，且所述辅抽管路的两端分别位于所述第一控制阀的两侧，所述辅抽管路包括第二控制阀和至少两条并联设置的支管路，任意两条所述支管路的内直径相异，且各条所述支管路的内直径均小于所述主抽管路的内直径，所述第二控制阀设置为能够可选择地控制至少一条所述支管路与所述主抽管路相连通。
[0011]根据本技术提供的一种抽真空装置，各条所述支管路的流通截面积之和小于所述主抽管路的流通截面积；
[0012]和/或，各条所述支管路中，内直径最大的所述支管路的内直径小于或者等于50毫
米。
[0013]根据本技术提供的一种抽真空装置，还包括第一接头和第二接头，所述第一接头设置于所述第一控制阀的进口侧，所述第二接头设置于所述第一控制阀的出口侧；
[0014]各条所述支管路中，内直径最小的所述支管路为第一支管路，其余所述支管路为第二支管路；
[0015]所述第一接头和所述第二接头均具有第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口与所述主抽管路相连接，所述第一支管路的两端分别连接于所述第一接头的所述第二接口和所述第二接头的所述第二接口，所述第三接口与所述第二支管路一一对应，所述第二支管路的两端分别连接于所述第一接头的所述第三接口和所述第二接头的所述第三接口。
[0016]根据本技术提供的一种抽真空装置，各条所述支管路中，内直径最小的所述支管路为第一支管路，其余所述支管路为第二支管路；
[0017]所述第一接头和所述第二接头均包括接头本体，所述接头本体包括：
[0018]主通管，第一端形成有所述第一接口，所述主通管的第二端形成有所述第二接口；
[0019]分支管，与所述第二支管路一一对应，所述分支管的第一端与所述主通管相连接，所述分支管的第二端形成有所述第三接口。
[0020]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述主通管为等径管，所述主通管的内直径与所述第一支管路的内直径相等；
[0021]所述分支管为变径管，所述分支管包括第一等径段、变径段和第二等径段，所述第一等径段与所述主通管相连接，所述第二等径段与所述第二支管路相连接，所述第一等径段的内直径小于所述第二等径段的内直径，所述变径段位于所述第一等径段与所述第二等径段之间，且所述变径段的两端分别与所述第一等径段和所述第二等径段平滑连接。
[0022]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述第二控制阀包括：
[0023]第一阀门，设置于所述第一接头的所述第一接口与所述主抽管路之间，所述第一阀门设置为能够控制所述第一接口与所述主抽管路之间的通断状态；
[0024]第二阀门，与所述第一接头的所述分支管一一对应，所述第二阀门设置于所述第一接头的所述分支管与所述第二支管路之间，所述第二阀门设置为能够控制所述第一接头的所述分支管与所述第二支管路之间的通断状态。
[0025]根据本技术提供的一种抽真空装置，所述主抽管路的第二端设置有能够发生弯曲变形的柔性管道。
[0026]根据本技术提供的一种抽真空装置，还包括：
[0027]过滤装置，设置于所述主抽管路，所述过滤装置设置为能够对气体进行过滤。
[0028]本技术还提供一种镀膜设备，包括气相沉积设备和用于对所述气相沉积设备的工作腔室进行抽真空处理的抽真空装置，所述抽真空装置为上述的抽真空装置。
[0029]本技术还提供一种电池生产系统，包括上述的镀膜设备。
[0030]本技术提供的抽真空装置，包括真空泵、主抽管路和辅抽管路，主抽管路的第一端与真空泵相连接，第二端与气相沉积设备的工作腔室相连接，在主抽管路上设置有第一控制阀，通过第一控制阀可以控制主抽管路的通断状态。通过第一控制阀控制主抽管路处于连通状态时，利用真空泵可以通过主抽管路对气相沉积设备的工作腔室进行抽真空处
理。辅抽管路的两端均与主抽管路相连接，且辅抽管路的两端分别位于第一控制阀的两侧。辅抽管路包括第二控制阀和支管路，支管路设置有至少两条，且各条支管路相并联设置，第二控制阀用于可选择地控制至少一条支管路与主抽管路相连通。通过第一控制阀控制主抽管路处于截止状态，且通过第二控制阀控制至少一条支管路与主抽管路相连通，利用真空泵可以通过辅抽管路对气相沉积设备的工作腔室进行抽真空处理。上述各条支管路的内直径均小于主抽管路的内直径，利用辅抽管路进行抽真空处理的速度低于利用主抽管路进行抽真空处理的速度，主抽管路适用于快抽阶段，辅抽管路适用于慢抽阶段。上述各个支管路中，任意两个支管路的内直径相异，利用不同的支管路进行抽真空时具有不同的抽真空速度。利用本技术提供的抽真空装置对不同容积的工作腔室抽真空时，可以根据工作腔室的容积大小以及对慢抽阶段的工艺时间的要求，通过第二控制阀切换与主抽管路相连通的支管路即可调整抽真空速度，解决了现有技术中无法调节慢抽阶段的抽真空速度的问题。
[0031]进一步，在本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抽真空装置，其特征在于，包括：真空泵；主抽管路，第一端与所述真空泵相连接，第二端能够与气相沉积设备的工作腔室相连接，所述主抽管路上设置有用于控制所述主抽管路的通断状态的第一控制阀；辅抽管路，两端均与所述主抽管路相连接，且所述辅抽管路的两端分别位于所述第一控制阀的两侧，所述辅抽管路包括第二控制阀和至少两条并联设置的支管路，任意两条所述支管路的内直径相异，且各条所述支管路的内直径均小于所述主抽管路的内直径，所述第二控制阀设置为能够可选择地控制至少一条所述支管路与所述主抽管路相连通。2.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，各条所述支管路的流通截面积之和小于所述主抽管路的流通截面积；和/或，各条所述支管路中，内直径最大的所述支管路的内直径小于或者等于50毫米。3.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，还包括第一接头和第二接头，所述第一接头设置于所述第一控制阀的进口侧，所述第二接头设置于所述第一控制阀的出口侧；各条所述支管路中，内直径最小的所述支管路为第一支管路，其余所述支管路为第二支管路；所述第一接头和所述第二接头均具有第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口与所述主抽管路相连接，所述第一支管路的两端分别连接于所述第一接头的所述第二接口和所述第二接头的所述第二接口，所述第三接口与所述第二支管路一一对应，所述第二支管路的两端分别连接于所述第一接头的所述第三接口和所述第二接头的所述第三接口。4.根据权利要求3所述的抽真空装置，其特征在于，所述第一接头和所述第二接头均包括接头本体，所述接头本体包括：主通管，第一端形成有所述第一接口，所述主通管的第二端形成有所述第二接口；...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤芳，左忆康，廖惠东，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：