薄膜气相沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种薄膜气相沉积装置，包括：加热装置，加热装置内具有容纳原料的空腔，加热装置的底部设置有出口；过滤器，封堵于出口处，过滤器由多孔材料制成；传送装置，设置于出口的下方，传送装置具有支撑基板的支撑结构。应用本实用新型专利技术的技术方案能够有效地解决现有技术中薄膜质量和薄膜生产连续性不能兼顾的问题。顾的问题。顾的问题。

【技术实现步骤摘要】
薄膜气相沉积装置


[0001]本技术涉及电池领域，具体而言，涉及一种薄膜气相沉积装置。

技术介绍

[0002]近空间升华(CSS)广泛用于薄膜沉积，尤其是太阳能行业中的CdS/CdTe太阳能吸收体沉积。但CSS难控制均匀性，且不适合连续生产。气相传输沉积(VTD)是广泛使用的CdS/CdTe沉积方法，并已被First Solar成功用于量产。但通过VTD生产的薄膜质量较差，导致电池效率降低。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种薄膜气相沉积装置，以解决现有技术中薄膜质量和薄膜生产连续性不能兼顾的问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供了一种薄膜气相沉积装置，包括：加热装置，加热装置内具有容纳原料的空腔，加热装置的底部设置有出口；过滤器，封堵于出口处，过滤器由多孔材料制成；传送装置，设置于出口的下方，传送装置具有支撑基板的支撑结构。
[0005]在一个实施方式中，加热装置上设置有进料口，进料口处设置有阀门。
[0006]在一个实施方式中，进料口处设置有料仓。
[0007]在一个实施方式中，料仓呈漏斗状。
[0008]在一个实施方式中，薄膜气相沉积装置还包括：控制装置，阀门为与控制装置电连接的电控阀门。
[0009]在一个实施方式中，加热装置、过滤器以及阀门形成加热组件，薄膜气相沉积装置还包括：称重装置，称重装置具有支撑加热组件的支撑面，称重装置与控制装置电连接。
[0010]在一个实施方式中，进料口处设置有料仓，料仓的侧壁底部设置有激光传感器或者料仓的顶壁上设置有距离传感器，激光传感器或距离传感器与控制装置电连接。
[0011]在一个实施方式中，薄膜气相沉积装置还包括：报警装置，报警装置与控制装置电连接。
[0012]在一个实施方式中，加热装置的加热温度在150℃至900℃之间。
[0013]在一个实施方式中，过滤器的下表面与支撑结构的上表面之间的距离小于或等于a与基板的厚度之和，其中a在1mm至200mm之间。
[0014]应用本技术的技术方案，加热装置自身是一个加热器，加热装置自身的底部是打开的，但是被过滤器所封堵，基板在图中沿左右移动。当加热装置加热时，空腔内的原料蒸发，蒸发后的原料穿过过滤器，并且沉淀于温度较低的基板上，最终形成高质量的薄膜。在传送装置的作用下，基板能够沿预设方向移动，从而能够实现连续生产。因此，应用本技术的技术方案，既能满足产出高质量薄膜的要求，又能满足大规模量产薄膜的要求。
[0015]除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本技术还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本技术作进一步详细的说明。
附图说明
[0016]构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0017]图1示出了根据本技术的薄膜气相沉积装置的实施例的结构示意图。
[0018]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0019]1、空腔；2、基板；3、原料；10、加热装置；11、出口；12、进料口；20、过滤器；30、传送装置；40、阀门；50、料仓。
具体实施方式
[0020]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0021]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0022]需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0023]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0024]如图1所示，本实施例的薄膜气相沉积装置包括加热装置10、过滤器20以及传送装置30。其中，加热装置10内具有容纳原料3的空腔1，加热装置10的底部设置有出口11。过滤器20封堵于出口11处，过滤器20由多孔材料制成。传送装置30设置于出口11的下方，传送装置30具有支撑基板2的支撑结构。
[0025]应用本实施例的技术方案，加热装置10自身是一个加热器，加热装置10自身的底部是打开的，但是被过滤器20所封堵，基板2在图中沿左右移动。当加热装置10加热时，空腔1内的原料3蒸发，蒸发后的原料穿过过滤器20，并且沉淀于温度较低的基板2上，最终形成高质量的薄膜。在传送装置30的作用下，基板2能够沿预设方向移动，从而能够实现连续生产。因此，应用本实施例的技术方案，既能满足产出高质量薄膜的要求，又能满足大规模量产薄膜的要求。
[0026]需要说明的是，传送装置30可以是传送带也可以是多个传送辊轮。
[0027]由于加热过程中，原料3不断地被消耗，会导致空腔1内的原料3越来越少。一方面，
若加热装置10无法打开，那么一旦原料3耗尽则无法补充原料；另一方面，由于原料3的持续消耗，每个基板都对应着完全不同的沉积条件。为了解决上述两个问题，如图1所示，在本实施例中，加热装置10上设置有进料口12，进料口12处设置有阀门40。具体地，薄膜气相沉积装置正常工作时，阀门40关闭；当原料3被消耗掉一定量后，阀门40被打开，预定量的原料将通过阀门，由进料口12加入至空腔1内。这样一方面避免原料耗尽无法补充的问题出现，另一方面能够尽可能的保证基板对应的沉积条件相似。
[0028]更重要的是，在正常生产薄膜的过程中，就可以打开阀门40添加原料3，未被蒸发的原料在过滤器20的阻挡下并不会落至基板2上，因此上述薄膜气相沉积装置在生产生产过程中可以直接添加原料，不必断开生产，从而提升生产效率。
[0029]此外，还需要着重说明一点，在本实施例中，加热装置10类似于盒体，能够装承更多的原料，当检测到生成薄膜的厚度相对于之前变薄时，可以通过打开阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜气相沉积装置，其特征在于，包括：加热装置(10)，所述加热装置(10)内具有容纳原料(3)的空腔(1)，所述加热装置(10)的底部设置有出口(11)；过滤器(20)，封堵于所述出口(11)处，所述过滤器(20)由多孔材料制成；传送装置(30)，设置于所述出口(11)的下方，所述传送装置(30)具有支撑基板(2)的支撑结构。2.根据权利要求1所述的薄膜气相沉积装置，其特征在于，所述加热装置(10)上设置有进料口(12)，所述进料口(12)处设置有阀门(40)。3.根据权利要求2所述的薄膜气相沉积装置，其特征在于，所述进料口(12)处设置有料仓(50)。4.根据权利要求3所述的薄膜气相沉积装置，其特征在于，所述料仓(50)呈漏斗状。5.根据权利要求2所述的薄膜气相沉积装置，其特征在于，所述薄膜气相沉积装置还包括：控制装置，所述阀门(40)为与所述控制装置电连接的电控阀门。6.根据权利要求5所述的薄膜气相沉积装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐鹏飞，梅芳，陈金良，王大鹏，
申请(专利权)人：宸亚兰考县科技有限公司，
类型：新型
国别省市：