电浆蚀刻反应炉预热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为一种电浆蚀刻反应炉预热装置，在电浆蚀刻反应炉内设置有一层以上金属板及预热装置，在金属板下方设置有加热导管，其中预热装置的加热器内含有供热传导使用的可被加热的热传输流体，由连接于歧管的复数加热导管将热传导液体的热量传导和辐射至金属板，使金属板均匀且快速地加热。所提出的电浆蚀刻的预热装置能使被加热的金属板均匀加热，且易于制造和设置，同时该预热装置的加热导管与金属板结合容易，装卸方便。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术为有关于电浆蚀刻技术，特别地，涉及一种电浆蚀刻反应炉预 热装置。
技术介绍
电浆的蚀刻清洁设备广泛应用于液晶产业、光电产业等制程的清洁上，对 于提升产品良率有相当的重要性。 一般电浆的蚀刻清洁设备是用来清洁平板状 待清洁物，例如树脂/铜层基板等，因制程条件和环境影响，基板上会附着污染 物，而此污染物会导致后续制程中金线或树脂附着不良，严重降低产品良率， 故必须将基板上的污染物清除，而对待清洁物最佳的清洁处理即是电浆蚀刻清 洁。目前普遍使用的电浆清洁装置是利用 一预热系统，使电浆在一定的温度环 境中吸收能量，加速碰撞中气体分子的解离，在中性气体分子中形成电浆。在现有技术方面，美国专利技术专利U.S.PatentNo: 4,676,865—案，该案为一种 具有电浆蚀刻的预热装置，其是在每个盘子中有两条流动通道，加热源头控制 热量传输至盘子，待蚀刻的基板安置在一盘子表面上，利用设于盘子中的流动 通道使加热热传输流体将盘子加热；该案的热传导必须先对盘子加工，方可设 置流动通道以供对盘子加热热传输流体，由于该案的流动通道加工不易，且仅 对盘子两侧加热，盘子中间部位的加热緩慢，因此所达到的加热热传输效果有 限。
技术实现思路
因此，本技术专利技术人有感于上述先前技术的电浆蚀刻的预热装置仍可 改善，特潜心研究并辅以配合学理及实际状况，提出一种设计合理且可有效改 善上述缺点的技术。通过经搜寻及查阅国内外已发表及核准的专利案中， 亦未见有与本技术申请专利范围的内容实质相同或类似者。3本技术提供了一种电浆蚀刻反应炉预热装置，在电浆蚀刻反应炉内设 置有一层以上金属板及预热装置，所述金属板背面设有间距而设的复数个固定 扣件；所述预热装置包含有加热器、歧管及加热导管，其中加热器内含有供热 传导使用的可被加热的热传输流体，由连接于歧管的复数个加热导管将热传导 液体的热量传导和辐射至金属板，使金属板加温本技术的有益效果在于:所提出的电浆蚀刻的预热装置能使被加热的金 属板均匀加热，且易于制造和设置，同时该预热装置的加热导管与金属板结合 容易，装卸方便。附图说明图l是本技术的外观立体图2是显示电浆蚀刻反应炉内部设置预热装置的立体图； 图3是本技术的预热装置外观立体图； 图4是本技术的金属板设置加热导管的立体图； 图5是本技术的预热装置组成结构立体图； 图6是本技术的电浆蚀刻反应炉内部所设的预热装置示意图； 图7是本技术金属板结合有加热导管的另一实施例结构立体图。 附图标记说明l-电浆蚀刻反应炉；ll-腔门；12-腔体；13-控制系统；2、 2，-金属板；21、 21'-固定扣件；22-支撑杆；22'-固定框架；23'-孔；3-预热装置； 31-加热器；32-歧管；33-加热导管；4-泵浦；5-温度控制器。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式加以说明。参阅图l到图3，本技术的电浆蚀刻反应炉预热装置，主要是在一电浆 蚀刻反应炉1内设置有金属板2及预热装置3,其中电浆蚀刻反应炉l设有腔体 12,腔体12开口且具有腔门11,该电浆蚀刻反应炉l设有控制系统13，该控 制系统13处理电浆蚀刻反应炉1内的各项环境条件，其包含合适的开关和计量 器及数值、温度等显示与操作。上述电浆蚀刻反应炉1内设有数层金属板2，每层金属板2之间具有一定距 离，每层金属板2四隅处以支撑杆22撑立，在金属板2背面设有间距而设的复数个固定扣件21 (如图4所示)，各个固定扣件21平行等距排列于金属板2背 面，可便于预热装置3加热导管33的设置。复数是指两个或两个以上。该预热装置3包含有加热器31、歧管32及加热导管33,其中加热器31内 含有供热传导使用的可被加热的热传输流体，加热器31内热传输流体可由泵浦 4加压打入歧管32内，再由连接于歧管32的复数加热导管33将热传导液体的 热量传导或辐射至金属板2，使金属板2加温。参阅图4到图6所示，该电浆蚀刻反应炉1腔体12内设置有复数层金属板 2,每一金属板2背面以固定扣件21结合有加热导管33，其中每两个固定扣件 21开槽位置是相对而设，可便于金属板2的抽取置换或清洗，该加热导管33为 沿着固定扣件21呈S型弯绕设置，通过将加热导管33呈均匀分布设置于金属 板2背面，可以达到较佳的导热效果，当金属板2的工作温度快速达到一定温 度值时，电浆蚀刻效果也相对提升；而预热装置3的加热器31内的加热热传输 流体可由泵浦4加压打入歧管32内，由歧管32所以分支的加热导管33将加热 的热传输流体的热量传导或辐射至金属板2,该加热器31的加热温度由温度控 制器5所控制。本技术金属板结合有加热导管的另一实施例结构立体图如图7所示， 该金属板2，是以两层方式设置，金属板2，设置有复数个孔23，，可提供电浆蚀刻 过程中产生的离子通过，提升电浆蚀刻的均匀加热效果。该两金属板2'间的边 缘以固定框架22，固定，同时使两金属板2，间形成间隙，用来设置预热装置3的 加热导管33，该加热导管33为埋设于两金属板2'之间，在金属板2'边缘适当 位置设有开槽朝外的固定扣件21',加热导管33为沿着固定扣件21，呈S型弯绕 设置，通过将加热导管33呈均匀分布设置于两层金属板2，之间，可以达到良好 的导热效果。从以上所述及附图所示的较佳实施例中可知，本案的设计是为 一种易于制 造、设置的预热装置3，其具有能使被加热的金属板达到均勻加热的效果；再者， 该预热装置3的加热导管33与金属板2、 2，结合容易。而本案与习知电浆蚀刻 预热方式相较确具有功效上的增进，且运用的技术手段及其构造确为本实用新 型专利技术人所研发而成，本技术符合新型专利的要件，申请人依法提出申请。以上具体实施方式对本技术而言是说明性的，而非限制性的。本领域 的技术人员可在不超出本技术精神和范围的情况下，对之进行变换、修改 甚至等效，这些变动均会落入本技术的权利要求保护范围。权利要求1、一种电浆蚀刻反应炉预热装置，在电浆蚀刻反应炉内设置有一层以上金属板及预热装置，其特征在于；所述金属板背面设有间距而设的复数个固定扣件；所述预热装置包含有加热器、歧管及加热导管，其中加热器内含有供热传导使用的可被加热的热传输流体，由连接于歧管的复数个加热导管将热传导液体的热量传导和辐射至金属板，使金属板加温。2、 如权利要求1所述的电浆蚀刻反应炉预热装置，其特征在于，所述加热 导管为沿着金属板背面固定扣件呈S型弯绕设置。3、 如权利要求1所述的电浆蚀刻反应炉预热装置，其特征在于，所述金属 -f反为一层或一层以上。4、 如权利要求1所述的电浆蚀刻反应炉预热装置，其特征在于，所述加热 导管为设于两层金属板之间，并呈S型弯绕设置其间。5、 如权利要求1所述的电浆蚀刻反应炉预热装置，其特征在于，所迷金属 板设置有复数个孔。6、 如权利要求1所述的电浆蚀刻反应炉预热装置，其特征在于，所述每两 个固定扣件开槽位置是相对而设。7、 如权利要求l所述的电浆蚀刻反应炉预热装置，其特征在于，所述固定 扣件为沿金属板边缘位置，且开槽朝外设置。专利摘要本技术为一种电浆蚀刻反应炉预热装置，在电浆蚀刻反应炉内设置有一层以上金属板及预热装置，在金属板下方设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电浆蚀刻反应炉预热装置，在电浆蚀刻反应炉内设置有一层以上金属板及预热装置，其特征在于；　　　　所述金属板背面设有间距而设的复数个固定扣件；　　　　所述预热装置包含有加热器、歧管及加热导管，其中加热器内含有供热传导使用的可被加热的热传输流体，由连接于歧管的复数个加热导管将热传导液体的热量传导和辐射至金属板，使金属板加温。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈雄泉，
申请(专利权)人：亚太电浆有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]