一种靶材用的打磨工具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶材用的打磨工具，包括配合设于操作台上的打磨部、夹持部，打磨部包括安装架、打磨头，安装架上活动设有连接件，连接件的另一端设有支架，支架上设有电机，打磨头设于电机底端；夹持部包括设于操作台上的底板，底板上对称设有第一夹持组、第二夹持组，第一夹持组包括第一连接杆、第二连接杆及第三连接杆，第一连接杆与底板连接的一端固设有扇形齿，第一夹持组、第二夹持组中的两个扇形齿啮合设置；第三连接杆的一端水平转动设于底板上，第三连接杆的另一端转动设于第二连接杆的弯折处。本实用新型专利技术能够将靶材固定，不需要人工靠近打磨机，保证人工安全，同时提高打磨效率。磨效率。磨效率。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材用的打磨工具


[0001]本技术涉及一种打磨工具，更具体地说，本技术涉及一种靶材用的打磨工具。

技术介绍

[0002]靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
[0003]例如二硫化钼等靶材加工时，为了表面的光滑程度达到使用要求，人们通常需要对其表面进行打磨处理，市场上的打磨装置大多需要人工手持靶材，使靶材靠近打磨机进行打磨，打磨机的高速旋转容易伤到人工。

技术实现思路

[0004]本技术目的是提供一种靶材用的打磨工具，其能够将靶材固定，不需要人工靠近打磨机，保证人工安全，同时提高打磨效率。
[0005]为达到上述目的，本技术采取的技术手段为：
[0006]一种靶材用的打磨工具，包括配合设于操作台上的打磨部、夹持部，所述打磨部包括安装架、打磨头，所述安装架上活动设有连接件，所述连接件的另一端设有支架，所述支架上设有电机，所述打磨头设于所述电机底端；
[0007]所述夹持部包括设于所述操作台上的底板，所述底板上设有对称设置的第一夹持组、第二夹持组，所述第一夹持组、所述第二夹持组结构相同，所述第一夹持组包括第一连接杆、弯折型的第二连接杆及第三连接杆，所述第一连接杆的一端水平转动设于所述底板上，所述第一连接杆的另一端与所述第二连接杆的一端转动连接，所述第二连接杆的另一端内侧设有夹持板；
[0008]所述第一连接杆与所述底板连接的一端固设有扇形齿，所述扇形齿水平设置，所述第一夹持组、所述第二夹持组中的两个所述扇形齿相互啮合；
[0009]所述第三连接杆的一端水平转动设于所述底板上，所述第三连接杆的另一端转动设于所述第二连接杆的弯折处。
[0010]优选的是，其中，所述安装架包括两个侧板、升降杆及丝杆，两个所述侧板竖直设于所述操作台上，所述丝杆竖直转动设于所述操作台上，所述丝杆设于两个所述侧板之间，所述升降杆螺接于所述丝杆上，所述升降杆的两端滑动设于两个所述侧板上；
[0011]所述连接件与所述升降杆连接。
[0012]优选的是，其中，所述操作台上还竖直设有导向柱，导向柱设于两个所述侧板之间，所述导向柱穿设于所述升降杆上。
[0013]优选的是，其中，所述两个所述侧板的内侧均竖直设有滑槽，所述升降杆的两端分别设有滑块，两个滑块分别滑动设于相对应的所述滑槽内。
[0014]优选的是，其中，所述连接件为可伸缩的连接件。
[0015]优选的是，其中，夹持板的内侧为弧形。
[0016]优选的是，其中，第二连接杆的弯折角度为钝角。
[0017]本技术至少包括以下有益效果：
[0018]本技术通过打磨部与夹持部的配合设置，夹持部将靶材夹持、固定后，打磨部能够自动对靶材打磨，提高打磨效率。
[0019]夹持部能够将靶材固定，然后使打磨部对靶材进行打磨，免去人工手持靶材，使人工远离打磨部，从而保护人工安全。
[0020]其中，夹持部中的两个夹持组能够夹持、固定不同型号的靶材，应用范围广。
[0021]本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明
[0022]图1是本技术实施例的结构示意图；
[0023]图2是本技术实施例的夹持部示意图；
[0024]图3是本技术实施例的夹持部使用状态示意图。
[0025]附图标记说明
[0026]图中，1、操作台；2、夹持部；201、底板；202、扇形齿；203、第一连接杆；204、第二连接杆；205、第三连接杆；206、夹持板；3、侧板；4、升降杆；5、导向柱；6、丝杆；7、滑槽；8、连接件；9、打磨头；10、靶材；11、支架；12、电机。
具体实施方式
[0027]下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0028]应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
[0029]请参阅图1
‑
图3，一种靶材用的打磨工具，包括配合设于操作台1上的打磨部、夹持部2，所述打磨部包括安装架，安装架包括两个侧板3、升降杆4、导向柱5及丝杆6，两个所述侧板3竖直设于所述操作台1上，所述丝杆6竖直转动设于所述操作台1上，导向柱5设于操作台1上，导向柱5、所述丝杆6设于两个所述侧板3之间，导向柱5、所述丝杆6穿设于所述升降杆4上。两个所述侧板3的内侧均竖直设有滑槽7，升降杆4水平设置，所述升降杆4的两端分别设有滑块，两个滑块分别滑动设于相对应的所述滑槽7内。这样升降杆4的两端能够在相应的侧板3的滑槽7内滑动。
[0030]导向柱5的设置使升降杆4的升降沿竖直方向，使升降杆4升降的更平稳。
[0031]升降杆4与丝杆6接触处设有与丝杆6配合的内螺纹，由于丝杆6的位置不能移动，这样丝杆6的转动能够带动升降杆4竖直上下移动，升降杆4的两端在滑槽7内上下移动，使升降杆4的移动更平稳。
[0032]所述连接件8与所述升降杆4连接。连接件8为可伸缩的连接件，例如气缸。所述连接件8的另一端设有支架11，所述支架11上设有电机12，所述打磨头9设于所述电机12底端。电机12驱动打磨头9转动。连接件8可以伸缩，这样能够调整连接件8的长度，进而能够调整
打磨头9的位置，从而调整打磨靶材10的位置。升降杆4的上下移动能够带动连接件8上下移动，连接件8带动支架11下方的打磨头9上下移动，当打磨头9移动至靶材10的表面时，使电机12启动，打磨头9开始转动，能够对靶材10表面进行打磨。
[0033]所述夹持部2包括设于所述操作台1上的底板201，所述底板201上设有对称设置的第一夹持组、第二夹持组，第一夹持组、所述第二夹持组结构相同，所述第一夹持组包括第一连接杆203、向内弯折的弯折型的第二连接杆204及第三连接杆205，所述第一连接杆203的一端水平转动设于所述底板201上，所述第一连接杆203的另一端与所述第二连接杆204的一端转动连接，所述第二连接杆204的另一端内侧设有夹持板206。夹持板206的内侧为弧形。靶材10的截面为圆形，弧形的夹持板206更有利于夹持靶材10。
[0034]所述第一连接杆203与所述底板201连接的一端固设有扇形齿202，所述扇形齿202水平设置，所述第一夹持组、所述第二夹持组中的两个所述扇形齿202啮合设置，通过两个扇形齿202的啮合能够带动两个夹持组运行，从而夹持、固定靶材10。两个扇形齿202为带阻尼的扇形齿，夹持住靶材10后，能够固定靶材10，不会松开。
[0035]所述第三连接杆205的一端水平转动设于所述底板201上，所述第三连接杆205的另一端转动设于所述第二连接杆204的弯折处。第三连接杆205能够带动第二连接杆204本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材用的打磨工具，其特征在于，包括配合设于操作台（1）上的打磨部、夹持部（2），所述打磨部包括安装架、打磨头（9），所述安装架上活动设有连接件（8），所述连接件（8）的另一端设有支架（11），所述支架（11）上设有电机（12），所述打磨头（9）设于所述电机（12）底端；所述夹持部（2）包括设于所述操作台（1）上的底板（201），所述底板（201）上设有对称设置的第一夹持组、第二夹持组，所述第一夹持组、所述第二夹持组结构相同，所述第一夹持组包括第一连接杆（203）、弯折型的第二连接杆（204）及第三连接杆（205），所述第一连接杆（203）的一端水平转动设于所述底板（201）上，所述第一连接杆（203）的另一端与所述第二连接杆（204）的一端转动连接，所述第二连接杆（204）的另一端内侧设有夹持板（206）；所述第一连接杆（203）与所述底板（201）连接的一端固设有扇形齿（202），所述扇形齿（202）水平设置，所述第一夹持组、所述第二夹持组中的两个所述扇形齿（202）相互啮合；所述第三连接杆（205）的一端水平转动设于所述底板（201）上，所述第三连接杆（205）的另一端转动设于所述第二连接杆（204）的弯折处。2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：康明生，
申请(专利权)人：河北东同光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：