本实用新型专利技术提供一种高温熔盐电沉积装置，属于电沉积技术领域，包括：反应釜体、电源负极、阴极基体与阴极杆；阴极杆位于反应釜体内，反应釜体、阴极杆的上部与电源负极连接，阴极杆的下部与阴极基体连接；反应釜体包括：顶部操作平台，阴极杆与顶部操作平台绝缘动密封连接；中部冷却部，与顶部操作平台连接；下部高温工作区，与中部冷却部连接；石墨坩埚，放置于下部高温工作区内；熔盐，放置于石墨坩埚中；阳极涂层材料源，放置于石墨坩埚中。本实用新型专利技术提供的装置对电极涂层均匀性好，利用水平放置的阴极基体，消除重力不同导致基体表面各部位晶粒生长速度不同，与阴阳极距离固定，导致电沉积效率过低；致使涂层厚度分布不均的影响。致使涂层厚度分布不均的影响。致使涂层厚度分布不均的影响。
【技术实现步骤摘要】
一种高温熔盐电沉积装置
[0001]本技术涉及电沉积
，特别是指一种高温熔盐电沉积装置。
技术介绍
[0002]目前，熔盐电沉积涂层制备通常采用双电极挂镀模式，即将阴、阳两极竖直浸入到熔盐中，电沉积面和阳极均与水平面垂直进行电沉积。然而，采用这种模式所得到沉积层厚度由于重力影响和双电极距离不同，电极不同部位沉积效率不同，导致涂层各处厚度不均、结合力差、电沉积效率低，因此很难制备高质量、大尺寸厚涂层；且挂镀阳极会挤占阴极基体2空间，基体电沉积尺寸受限，双电极水平挂镀一般用金属丝连接，金属丝受高温工作环境影响极易断裂，且金属丝强度较小，不能承重大质量基体。
[0003]为提高沉积层的厚度、均匀性和提高电沉积尺寸，有必要提出一种新的电沉积装置，通过上下放置阴阳极，电沉积面水平放置，可消除重力对涂层均匀性的影响和增加电沉积式样尺寸和涂层厚度。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种高温熔盐电沉积装置，可以解决现有的沉积层厚度不均匀、厚度较小，大尺寸电沉积等问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种高温熔盐电沉积装置，所述装置包括：
[0007]反应釜体、电源负极、阴极基体与阴极杆；所述阴极杆位于所述反应釜体内，所述反应釜体、所述阴极杆的上部与所述电源负极连接，所述阴极杆的下部与所述阴极基体连接；
[0008]所述反应釜体包括：
[0009]顶部操作平台，所述阴极杆与所述顶部操作平台绝缘动密封连接；r/>[0010]中部冷却部，与所述顶部操作平台连接；
[0011]下部高温工作区，与所述中部冷却部连接；
[0012]石墨坩埚，放置于所述下部高温工作区内；
[0013]熔盐，放置于所述石墨坩埚中；
[0014]阳极涂层材料源，放置于所述石墨坩埚中。
[0015]在一种可选的实施例中，所述顶部操作平台包括：
[0016]平台盖板，盖合在所述中部冷却部上，
[0017]氟胶圈，用于对所述平台盖板与所述中部冷却部进行密封。
[0018]在一种可选的实施例中，所述反应釜体的材料为型号为310s的不锈钢，所述反应釜体的运行温度不大于1200℃。
[0019]在一种可选的实施例中，所述操作平台还包括：可视窗口，所述可视窗口位于所述平台盖板上。
[0020]在一种可选的实施例中，所述操作平台还包括：卡扣，所述卡扣扣合所述平台盖板与所述中部冷却部。
[0021]在一种可选的实施例中，所述装置还包括冷却部，所述冷却部设置在所述反应釜体外部。
[0022]在一种可选的实施例中，所述中部冷却部第一侧设置有进气口，第二侧设置有出气口，所述第一侧与所述第二侧相对。
[0023]在一种可选的实施例中，所述进气口的管道上设置有进气阀，所述出气口的管道上设置有出气阀与压力表。
[0024]在一种可选的实施例中，所述反应釜体工作时真空度范围为0.1MPa～10
‑2Mpa。
[0025]在一种可选的实施例中，所述阴极基体与所述阳极涂层材料源上下正对放置。
[0026]在一种可选的实施例中，所述石墨坩埚外底与所述下部高温工作区完全贴合，所述石墨坩埚不高于下部高温工作区。
[0027]本技术的上述技术方案的有益效果如下：
[0028]本技术实施例提供的装置对电极涂层均匀性好，利用水平放置的阴极基体，消除重力导致基体表面各部位晶粒生长速度不同，致使涂层厚度分布不均的影响；与阴阳极距离固定，导致电沉积效率过低；在真空气氛环境下制备的涂层致密，无裂纹，气孔率低，杂质含量低，氧含量低，制备的涂层厚，制备效率高，在中部冷却部降温可控制阴极基体的降温速率，避免冷却速率过快，基体与涂层因材质不同导致两者间产生应力导致的涂层开裂剥离等情况，涂层与基体结合力高，无氧环境消除对装置的氧化腐蚀，使真空石墨坩埚不氧化，提高装置寿命；且可电沉积不同形状和尺寸部件，阴极杆可承重大尺寸基体，高温抗腐蚀性强，可长时间连续工作制备厚涂层。
附图说明
[0029]图1是本专利技术一种高温熔盐电沉积装置剖面图；
[0030]图2是上部操作台俯视图；
[0031]图3是中部冷却系统图；
[0032]图4是中部气体密封系统图；
[0033]图5是实施例1电沉积样品俯视图；
[0034]图6是实施例1电沉积样品涂层厚度扫描电镜图
[0035]图7是实施例1电沉积样品涂层表面扫描电镜图；
[0036]图8是实施例2电沉积样品俯视图；
[0037]图9是实施例2电沉积样品涂层厚度扫描电镜图；
[0038]图10是实施例2电沉积样品涂层表面扫描电镜图。
[0039][附图标记][0040]1、反应釜体；101、可视窗口；102、卡扣；11、顶部操作平台；12、中部冷却部；120、进气口；121、出气口；13、下部高温工作区；14、石墨坩埚；15、阳极涂层材料源；2、阴极基体；3、阴极杆；4、备用水冷套。
具体实施方式
[0041]为使本技术要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0042]下面结合附图和具体实施例对本技术提供的一种建筑施工用警示效果好的护栏进行详细描述。同时在这里做以说明的是，为了使实施例更加详尽，下面的实施例为最佳、优选实施例，对于一些公知技术本领域技术人员也可采用其他替代方式而进行实施；而且附图部分仅是为了更具体的描述实施例，而并不旨在对本技术进行具体的限定。
[0043]需要指出的是，在说明书中提到“一个实施例”、“实施例”、“示例性实施例”、“一些实施例”等指示所述的实施例可以包括特定特征、结构或特性，但未必每个实施例都包括该特定特征、结构或特性。另外，在结合实施例描述特定特征、结构或特性时，结合其它实施例(无论是否明确描述)实现这种特征、结构或特性应在相关领域技术人员的知识范围内。
[0044]通常，可以至少部分从上下文中的使用来理解术语。例如，至少部分取决于上下文，本文中使用的术语“一个或多个”可以用于描述单数意义的任何特征、结构或特性，或者可以用于描述复数意义的特征、结构或特性的组合。另外，术语“基于”可以被理解为不一定旨在传达一组排他性的因素，而是可以替代地，至少部分地取决于上下文，允许存在不一定明确描述的其他因素。
[0045]可以理解的是，本公开中的“在
……
上”、“在
……
之上”和“在
……
上方”的含义应当以最宽方式被解读，以使得“在
……
上”不仅表示“直接在”某物“上”而且还包括在某物“上”且其间有居间特征或层的含义，并且“在
……
之上”或“在
……
上方”不仅表示“在”某物“之上”或“上方”的含义，而且本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高温熔盐电沉积装置，其特征在于，所述装置包括：反应釜体、电源负极、阴极基体与阴极杆；所述阴极杆位于所述反应釜体内，所述反应釜体、所述阴极杆的上部与所述电源负极连接，所述阴极杆的下部与所述阴极基体连接；所述反应釜体包括：顶部操作平台，所述阴极杆与所述顶部操作平台绝缘动密封连接；中部冷却部，与所述顶部操作平台连接；下部高温工作区，与所述中部冷却部连接；石墨坩埚，放置于所述下部高温工作区内；熔盐，放置于所述石墨坩埚中；阳极涂层材料源，放置于所述石墨坩埚中。2.根据权利要求1所述的高温熔盐电沉积装置，其特征在于，所述顶部操作平台包括：平台盖板，盖合在所述中部冷却部上，氟胶圈，用于对所述平台盖板与所述中部冷却部进行密封；可视窗口，所述可视窗口位于所述平台盖板上。3.根据权利要求2所述的高温熔盐电沉积装置，其特征在于，所述操作平台还包括：卡扣，所述卡扣扣合所述平台盖板与所述中部冷却部。4.根据权利要求1所述的高温熔盐电沉积装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：张迎春，董晓旭，李光彬，李雨莎，顾宗兴，
申请(专利权)人：北京科技大学，
类型：新型
国别省市：
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