镀膜载板及镀膜设备制造技术

本申请涉及光伏生产设备技术领域，尤其是涉及一种镀膜载板及镀膜设备。镀膜载板包括载板本体，载板本体上形成有多个用于放置硅片的承载位；载板本体内设有多个第一加强件和/或第二加强件，多个第一加强件的长度方向均沿第一方向，且多个第一加强件沿第二方向并排间隔设置；多个第二加强件的长度方向沿第二方向，且多个第二加强件沿第一方向并排间隔设置。第一加强件以及第二加强件均具有低膨胀系数，以能够对载板本体受温度影响而发生的膨胀进行约束，从而使载板本体，尤其是大规格的具有高承载性能的载板本体在携带硅片通过镀膜设备时，载板本体不易受温度影响而发生的变形，进而保证硅片镀膜的均匀性。而保证硅片镀膜的均匀性。而保证硅片镀膜的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
镀膜载板及镀膜设备


[0001]本申请涉及光伏生产设备
，尤其是涉及一种镀膜载板及镀膜设备。

技术介绍

[0002]在PVD（Physical Vapor Deposition，物理气相沉积）镀膜设备中，通常利用载板装载硅片，并将硅片送入镀膜设备中进行镀膜；随着硅片尺寸的越来越大，硅片尺寸有157
㎜
、161
㎜
、180
㎜
、210
㎜
等，需要对应尺寸的载板满足硅片运输，因此对于载板的尺寸要求也越来越大，但目前的载板无法满足大尺寸硅片运输，且无法兼容各种尺寸的硅片，大尺寸的载板承载大尺寸硅片极易发生变形，在镀膜设备中，导致硅片镀膜不均匀。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种镀膜载板及镀膜设备，以在一定程度上解决现有技术中大尺寸载板容易变形的技术问题。
[0004]本专利技术提供了一种镀膜载板，包括载板本体；所述载板本体上形成有多个用于承载硅片的承载位，多个所述承载位沿相垂直的第一方向和第二方向呈多行多列的阵列排布；所述载板本体内穿设有多个具有低膨胀系数的第一加强件，多个所述第一加强件的长度方向均沿所述第一方向，且多个所述第一加强件沿所述第二方向并排间隔设置；和/或，所述载板本体内穿设有多个具有低膨胀系数的第二加强件，多个所述第二加强件的长度方向均沿所述第二方向，且多个所述第二加强件沿所述第一方向并排间隔设置。
[0005]进一步地，所述载板本体包括外框以及设于所述外框内的支撑架；所述支撑架呈格栅状，包括多个沿所述第一方向延伸的横向板条和多个沿所述第二方向延伸的纵向板条，多个所述横向板条沿所述第二方向并排间隔，多个所述纵向板条沿所述第一方向并排间隔设置；所述支撑架中的格栅孔形成所述承载位。
[0006]进一步地，当所述载板本体内穿设有所述第一加强件时，所述横向板条内沿所述第一方向开设有第一通孔，所述第一通孔用于穿设所述第一加强件；当所述载板本体内穿设有所述第二加强件时，所述纵向板条内沿所述第二方向开设有第二通孔，所述第二通孔用于穿设所述第二加强件；当所述载板本体内同时穿设有所述第一加强件和所述第二加强件时，所述第一通孔和所述第二通孔沿所述第三方向错位设置，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。
[0007]进一步地，所述外框和所述支撑架为分别一体加工成型的；或者，所述支撑架为一体加工成型的形成于所述外框内。
[0008]进一步地，所述外框内设有上下叠置的两层所述支撑架，两层所述支撑架分别为
上层支撑架和下层支撑架；当所述载板本体内穿设有第一加强件时，所述上层支撑架的横向板条的下表面沿所述第一方向开设有第一通槽，所述下层支撑架的横向板条的上表面沿所述第一方向开设有第三通槽，所述第一通槽与所述第三通槽相互扣合形成用于穿设所述第一加强件的第三通孔；当所述载板本体内穿设有第二加强件时，所述上层支撑架的纵向板条的下表面沿所述第二方向开设有第二通槽，所述下层支撑架的纵向板条的上表面沿所述第二方向开设有第四通槽，所述第二通槽与所述第四通槽相互扣合形成用于穿设所述第二加强件的第四通孔。
[0009]进一步地，所述上层支撑架、所述下层支撑架和所述外框为分别一体加工成型的。
[0010]进一步地，所述第一加强件和所述第二加强件的材质均为因瓦合金；和/或，所述外框和所述支撑架的材质为石墨、碳纤维或者因瓦合金。
[0011]进一步地，每个所述格栅孔的周侧边框均形成有阶梯面，以供所述硅片的边缘搭载。
[0012]进一步地，每个所述格栅孔的至少一个顶角处均形成有圆弧豁口。
[0013]本专利技术还提供了一种镀膜设备，包括上述任一项所述的镀膜载板。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：本专利技术提供的镀膜载板包括载板本体，载板本体上形成有多个用于放置硅片的承载位，且多个承载位在载板本体上沿第一方向和第二方向呈多行多列的阵列排布。载板本体内设有多个第一加强件和/或第二加强件，多个第一加强件的长度方向均沿第一方向，且多个第一加强件沿第二方向并排间隔设置；多个第二加强件的长度方向沿第二方向，且多个第二加强件沿第一方向并排间隔设置。第一加强件以及第二加强件均具有低膨胀系数，以能够对载板本体受温度影响而发生的膨胀进行约束，从而使载板本体，尤其是大规格的具有高承载性能的载板本体在携带硅片通过镀膜设备时，载板本体不易受温度影响而发生的变形，进而保证硅片镀膜的均匀性。
[0015]本专利技术还提供了一种镀膜设备，包括所述的镀膜载板，因而所述镀膜设备也具有镀膜载板的有益效果。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本专利技术实施例提供的载板本体的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的支撑架的横向板条与纵向板条的结构示意图。
[0018]附图标记：1
‑
外框，2
‑
支撑架，21
‑
横向板条，22
‑
纵向板条，23
‑
第一通孔，24
‑
第二通孔，25
‑
圆弧豁口，26
‑
阶梯面，3
‑
第一加强件，4
‑
第二加强件；a
‑
第一方向，b
‑
第二方向。
具体实施方式
[0019]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]通常在此处附图中描述和显示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。
[0021]基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜载板，其特征在于，包括载板本体；所述载板本体上形成有多个用于承载硅片的承载位，多个所述承载位沿相垂直的第一方向和第二方向呈多行多列的阵列排布；所述载板本体内穿设有多个具有低膨胀系数的第一加强件，多个所述第一加强件的长度方向均沿所述第一方向，且多个所述第一加强件沿所述第二方向并排间隔设置；和/或，所述载板本体内穿设有多个具有低膨胀系数的第二加强件，多个所述第二加强件的长度方向均沿所述第二方向，且多个所述第二加强件沿所述第一方向并排间隔设置。2.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述载板本体包括外框以及设于所述外框内的支撑架；所述支撑架呈格栅状，包括多个沿所述第一方向延伸的横向板条和多个沿所述第二方向延伸的纵向板条，多个所述横向板条沿所述第二方向并排间隔，多个所述纵向板条沿所述第一方向并排间隔设置；所述支撑架中的格栅孔形成所述承载位。3.根据权利要求2所述的镀膜载板，其特征在于，当所述载板本体内穿设有所述第一加强件时，所述横向板条内沿所述第一方向开设有第一通孔，所述第一通孔用于穿设所述第一加强件；当所述载板本体内穿设有所述第二加强件时，所述纵向板条内沿所述第二方向开设有第二通孔，所述第二通孔用于穿设所述第二加强件；当所述载板本体内同时穿设有所述第一加强件和所述第二加强件时，所述第一通孔和所述第二通孔沿第三方向错位设置，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。4.根据权利要求3所述的镀膜载板，其特征在于，所述外...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：