本发明专利技术申请公开了一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置及使用方法，涉及PVD镀膜装置技术领域；本申请包括:镀膜箱，所述镀膜箱上设置有镀膜组件和真空组件；轴杆，转动贯穿所述镀膜箱，所述轴杆上呈上下分布设置有两个承载板；若干个挂管，呈环形阵列分布，且转动卡接在两个所述承载板上；本申请通过在挂管内同轴转动设置挂杆，在圆盘壳上呈环形阵列设置若干个支杆，使得挂管的外周侧均可以环绕挂设若干个工件，使得工件的安置数量多，通过第一联动件与第二联动件的设置，使得挂管在随着承载板转动时还能自转，若干个支杆在随着圆盘壳转动时还能自转，使得挂设的若干个工件可以各自进行自转，使得对工件的镀膜效果好，镀膜均匀，以提高对工件的加工品质。高对工件的加工品质。高对工件的加工品质。
【技术实现步骤摘要】
一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置及使用方法
[0001]本申请涉及PVD镀膜
，具体涉及一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置及使用方法。
技术介绍
[0002]PVD是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术,PVD镀膜分为三种，蒸发镀、溅射镀和离子镀，所以当提及任何一种都可称之为PVD镀膜,PVD镀膜是广泛应用的工业超硬薄膜技术，以其高硬度、低磨损率、低摩擦系数、强抗腐蚀性、抗黏着性等优越的使用性能广泛应用于工业中。
[0003]目前的PVD镀膜装置的工件挂架仅有单一的公自转转轴，转轴上阵列设置若干个挂杆，在进行批量的工件镀膜时，将工件分别挂设在挂杆上，虽然公自转转轴在随着镀膜装置的主轴旋转时还能自转，但是由于其一周环绕挂设较多的工件，使得工件之间遮挡较多，使得背向靶源一侧（若干个工件环绕形成的圈内侧）的镀膜效果较差，影响镀膜效果，因此，本申请提出一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置及使用方法。
技术实现思路
[0004]本申请的目的之一是提出一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，避免在进行批量工件镀膜时，工件与工件之间遮挡面积较大，导致工件镀膜不均匀的现象。
[0005]本申请为了实现上述目的具体采用以下技术方案：一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，包括:镀膜箱，所述镀膜箱上设置有镀膜组件和真空组件；轴杆，转动贯穿所述镀膜箱，所述轴杆上呈上下分布设置有两个承载板；若干个挂管，呈环形阵列分布，且转动卡接在两个所述承载板上，所述挂管上沿其高度方向阵列连通有若干个圆盘壳，所述圆盘壳上转动贯穿有若干个支杆，所述支杆上设置有用于放置工件的放置架，所述挂管内同轴转动设置有挂杆；第一联动部，设置在所述镀膜箱内，当所述轴杆转动时，所述第一联动部带动所述挂管和所述挂杆同步转动；第二联动部，设置在所述圆盘壳内，当所述挂杆转动时，所述第二联动部带动若干个所述支杆同步转动。
[0006]进一步地，所述第一联动部包括环板、内齿环、第一齿轮以及第二齿轮，其中:所述环板设置在所述镀膜箱的内底壁，所述内齿环设置在所述环板的内壁，所述第一齿轮固设在所述挂管上，所述第二齿轮固设在所述挂杆上，所述第一齿轮与所述第二齿轮均与所述内齿环齿牙啮合。
[0007]进一步地，所述第二联动部包括齿盘和若干个第三齿轮，其中：所述齿盘固设在所述挂杆上且位于所述圆盘壳内，若干个所述第三齿轮分别固设在若干个所述支杆上且均与所述齿盘齿牙啮合。
[0008]进一步地，所述放置架包括矩形框、两个滑块、限位板以及底部为开口的套筒，其中：所述矩形框设置在所述支杆的端部，两个所述滑块水平滑动设置在所述矩形框上，两个所述滑块的顶部均构造有锥形块，两个所述滑块的底部均设置有夹块，所述夹块上构造有挂钩，所述限位板固设在所述支杆上，所述套筒滑动套设在所述支杆上，所述限位板与所述套筒之间安装有套设在所述支杆上的弹簧。
[0009]进一步地，两个所述承载板上均呈环形阵列开设有若干个卡接槽，所述挂管的两端均构造有卡块，两个所述卡块分别与两个所述承载板上相对应的两个所述卡接槽卡设配合。
[0010]进一步地，所述镀膜组件包括电压箱、以及靶材，其中：所述靶材设置在所述镀膜箱的内壁，所述电压箱设置在所述镀膜箱的外壁，所述电压箱连接有位于所述镀膜箱内且与所述靶材对应的电压发生器。
[0011]进一步地，所述镀膜箱的外壁设置有温控箱，所述温控箱连接有位于所述镀膜箱内的电加热丝。
[0012]进一步地，所述靶材和所述电加热丝的数量均为若干个且呈环形阵列交错设置。
[0013]进一步地，位于下方的所述承载板上呈环形阵列设置有若干个支撑杆，所述支撑杆的端部设置有与所述环板滚动搭接的滚珠。
[0014]本申请目的之二在于提出一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置的使用方法，包括以下步骤：S1：将批量的工件分别放置在若干个放置架上，再将挂管转动卡接在两个承载板上；S2：封闭镀膜箱，真空组件对镀膜箱进行抽真空处理；S3：调整电压箱，使得电压发生器产生电弧，电弧撞击靶材，使靶材蒸发，蒸发物质与气体都发生电离子作用，利用电场加速，使被蒸发的物质及其反应产生的物质沉积在工件上面，实现镀膜；S4：轴杆转动时，带动挂管和挂杆以轴杆为圆心转动，在第一联动部的联动下，挂管与挂杆在绕轴杆转动时其自身又自转，在第二联动部的联动下，若干个支杆又分别自转，从而使得工件在随着挂管转动时又能各自自转，减少工件之间相互的遮挡，使得工件周身均能镀膜均匀。
[0015]本申请的有益效果如下：1、通过在挂管内同轴转动设置挂杆，在圆盘壳上呈环形阵列设置若干个支杆，使得挂管的外周侧均可以环绕挂设若干个工件，使得工件的安置数量多，通过第一联动件与第二联动件的设置，使得挂管在随着承载板转动时还能自转，若干个支杆在随着圆盘壳转动时还能自转，使得挂设的若干个工件可以各自进行自转，使得对工件的镀膜效果好，镀膜均匀，以提高对工件的加工品质。
[0016]2、放置架整体的构造，既可以使工件进行挂设，同时对于不具备挂设条件的工件进行夹持固定，使得整体的通用性强，适用于多种类型的工件的安置需求。
[0017]3、通过电机热丝的设置，可以快速的将镀膜箱内部部件表面和工件表面的水分去除，以提高工件的镀膜效果。
附图说明
[0018]图1是本申请立体结构图；图2是本申请又一视觉立体结构图；图3是本申请立体结构剖视图；图4是本申请又一立体结构剖视图；图5是本申请部分立体结构剖视图；图6是本申请又一部分立体结构爆炸图；图7是本申请图3中A处放大图；图8是本申请图4中B处放大图；图9是本申请图4中C处放大图；附图标记：1、镀膜箱；2、镀膜组件；3、真空组件；4、轴杆；5、承载板；6、挂管；7、圆盘壳；8、支杆；9、放置架；10、挂杆；11、第一联动部；12、第二联动部；13、卡接槽；14、卡块；15、温控箱；16、电加热丝；17、支撑杆；18、滚珠；201、电压箱；202、靶材；203、电压发生器；901、矩形框；902、滑块；903、限位板；904、套筒；905、锥形块；906、挂钩；907、弹簧；908、夹块；1101、环板；1102、内齿环；1103、第一齿轮；1104、第二齿轮；1201、齿盘；1202、第三齿轮。
具体实施方式
[0019]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0020]如图1
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图9所示，本申请一个实施例提出一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，包括:镀膜箱1，镀膜箱1包括箱体，箱体的一侧设置有箱门，镀膜箱1上设置有镀膜组件2和真空组件3；真空组件3包括设置在镀膜箱1上的真空泵，真空泵与镀膜箱1连通有气管，轴杆4，转动贯穿镀膜箱1，轴杆4的一端连接有设置在镀膜箱1上的驱动电机，驱动电机做功，其输出轴带动轴杆4转动，轴杆4上呈上下分布设置有两个承载板5；若干个挂管6，呈环形阵列分布本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，其特征在于，包括:镀膜箱（1），所述镀膜箱（1）上设置有镀膜组件（2）和真空组件（3）；轴杆（4），转动贯穿所述镀膜箱（1），所述轴杆（4）上呈上下分布设置有两个承载板（5）；若干个挂管（6），呈环形阵列分布，且转动卡接在两个所述承载板（5）上，所述挂管（6）上沿其高度方向阵列连通有若干个圆盘壳（7），所述圆盘壳（7）上转动贯穿有若干个支杆（8），所述支杆（8）上设置有用于放置工件的放置架（9），所述挂管（6）内同轴转动设置有挂杆（10）；第一联动部（11），设置在所述镀膜箱（1）内，当所述轴杆（4）转动时，所述第一联动部（11）带动所述挂管（6）和所述挂杆（10）同步转动；第二联动部（12），设置在所述圆盘壳（7）内，当所述挂杆（10）转动时，所述第二联动部（12）带动若干个所述支杆（8）同步转动。2.根据权利要求1所述的一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，其特征在于，所述第一联动部（11）包括环板（1101）、内齿环（1102）、第一齿轮（1103）以及第二齿轮（1104），其中:所述环板（1101）设置在所述镀膜箱（1）的内底壁，所述内齿环（1102）设置在所述环板（1101）的内壁，所述第一齿轮（1103）固设在所述挂管（6）上，所述第二齿轮（1104）固设在所述挂杆（10）上，所述第一齿轮（1103）与所述第二齿轮（1104）均与所述内齿环（1102）齿牙啮合。3.根据权利要求2所述的一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，其特征在于，所述第二联动部（12）包括齿盘（1201）和若干个第三齿轮（1202），其中：所述齿盘（1201）固设在所述挂杆（10）上且位于所述圆盘壳（7）内，若干个所述第三齿轮（1202）分别固设在若干个所述支杆（8）上且均与所述齿盘（1201）齿牙啮合。4.根据权利要求1所述的一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，其特征在于，所述放置架（9）包括矩形框（901）、两个滑块（902）、限位板（903）以及底部为开口的套筒（904），其中：所述矩形框（901）设置在所述支杆（8）的端部，两个所述滑块（902）水平滑动设置在所述矩形框（901）上，两个所述滑块（902）的顶部均构造有锥形块（905），两个所述滑块（902）的底部均设置有夹块（908），所述夹块（908）上构造有挂钩（906），所述限位板（903）固设在所述支杆（8）上，所述套筒（904）滑动套设在所述支杆（8）上，所述限位板（903）与所述套筒...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋国新，浦东云，
申请(专利权)人：金源康惠州实业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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