一种管线布局调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及管路布局减振技术领域，尤其涉及一种管线布局调整装置。所述管线布局调整装置包括第一管夹、第二管夹和第三管夹，第一管夹上设有多层第一导向夹道，第二管夹上设有多层第二导向夹道，第三管夹上设有多层第三导向夹道。以第二导向夹道延伸方向为X向，以每层第二导向夹道的排列方向为Y向，以多层第二导向夹道的排列方向为Z向；第一导向夹道和第二导向夹道均位于XZ平面内，每层第一导向夹道沿Y向排列；通过将第二导向夹道与第三导向夹道位于XY平面内，多层第三导向夹道沿Z向排列，管路仅受二维弯曲，不会受到三维扭转力，可降低管路牵拉力对减振器的影响，提高减振器性能从而保证光刻机的工作稳定性。从而保证光刻机的工作稳定性。从而保证光刻机的工作稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种管线布局调整装置


[0001]本技术涉及管路布局减振
，尤其涉及一种管线布局调整装置。

技术介绍

[0002]光刻设备是半导体产业中的关键设备，用于将形成在掩膜上的图案转移至晶圆上的机器，通常应用于集成电路制造。目前，光刻设备大多采用浸没式光刻机，即在曝光时将晶圆浸没在具有相对高的折射率的液体中，利用曝光光线在液体中的波长比在空气中时更短，以提高光刻的分辨率。
[0003]现有浸没式光刻机中，通常以减振器为界，将整机分为内部世界和外部世界，其中内部世界包括物镜、主基板、测量系统等较为重要的分系统。而浸没式光刻机因其设计需求，存在较多数量的管路，当多根管径较大的柔性管路在经外部世界进入内部世界时，因空间布局有限，管路容易受到较大的三维扭矩，且管路受到的扭矩容易传递至内部世界，持续牵拉主基板导致减振器电机出力增加，减振性能变差甚至使光刻机宕机。
[0004]因此，亟待需要一种管线布局调整装置以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供管线布局调整装置，能够将管路所受的三维扭矩转换为二维弯矩，减小管路对减振器的影响，保证减振性能及光刻机工作稳定性。
[0006]为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0007]一种管线布局调整装置，包括：
[0008]第一管夹，设于外部框架上，所述第一管夹上设有多层第一导向夹道；
[0009]第二管夹，设于内部框架上，所述第二管夹上设有多层第二导向夹道；
[0010]第三管夹，设于所述内部框架上，所述第三管夹上设有多层第三导向夹道；
[0011]以所述第二导向夹道延伸方向为X向，以每层所述第二导向夹道的排列方向为Y向；以多层所述第二导向夹道的排列方向为Z向，
[0012]所述第一管夹和所述第二管夹均位于XZ平面内，每层所述第一导向夹道沿Y向排列；
[0013]所述第二管夹与所述第三管夹位于XY平面内，多层所述第三导向夹道沿Z向排列。
[0014]作为所述管线布局调整装置的可选方案，所述第一导向夹道延伸方向与X向的夹角为α，多层所述第一导向夹道的排列方向与X向的夹角为β，且α+β＝90
°
。
[0015]作为所述管线布局调整装置的可选方案，所述α的取值范围为70
°
～90
°
。
[0016]作为所述管线布局调整装置的可选方案，所述α的取值范围为75.5
°
～84
°
。
[0017]作为所述管线布局调整装置的可选方案，所述第二管夹与所述第一管夹在X向的偏移范围为10mm～30mm。
[0018]作为所述管线布局调整装置的可选方案，所述第二管夹与所述第一管夹在X向的偏移为17mm。
[0019]作为所述管线布局调整装置的可选方案，所述第三导向夹道延伸方向与X向的夹角为γ，每层所述第三导向夹道的排列方向与X向的夹角为θ，且γ+θ＝90
°
。
[0020]作为所述管线布局调整装置的可选方案，所述γ的取值范围为70
°
～90
°
。
[0021]作为所述管线布局调整装置的可选方案，所述γ的取值范围为75.5
°
～84
°
。
[0022]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0023]本技术提供的管线布局调整装置，包括第一管夹、第二管夹和第三管夹，第一管夹设于外部框架上，第二管夹和第三管夹均设于内部框架上。当管路在经第一管夹、第二管夹和第三管夹后进入光刻机内部世界时，管路先穿过第一管夹的第一导向夹道后在XZ平面内折弯穿过第二管夹的第二导向夹道，保证管路仅受到XZ平面内的二维折弯力；然后管路穿过第二管夹的第二导向夹道后在XY平面内折弯穿过第三管夹的第三导向夹道，保证管路仅受到XY平面内的二维折弯力，在此过程中，管路仅受二维折弯力，不会受到三维扭转力，可降低管路100所受的牵引力减振器的影响，提高减振器性能，从而保证光刻机的工作稳定性，提高光刻精度。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本技术实施例提供的管线布局调整装置的结构示意图；
[0026]图2为本技术实施例提供的管线布局调整装置的正视示意图；
[0027]图3为本技术实施例提供的管线布局调整装置的俯视示意图；
[0028]图4为本技术实施例提供的管路简化悬臂梁受力分析示意图；
[0029]图5为本技术实施例提供的管路偏移示意图。
[0030]附图标记：
[0031]100、管路；200、外部框架；300、内部框架；
[0032]1、第一管夹；11、第一导向夹道；
[0033]2、第二管夹；21、第二导向夹道；
[0034]3、第三管夹；31、第三导向夹道。
具体实施方式
[0035]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0036]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0037]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之
“
下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0038]在本技术的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0039]光刻机用于将形成在掩膜上的图案转移至晶圆上的机器，通常应用于集成电路制造。目前本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管线布局调整装置，其特征在于，包括：第一管夹(1)，设于外部框架(200)上，所述第一管夹(1)上设有多层第一导向夹道(11)；第二管夹(2)，设于内部框架(300)上，所述第二管夹(2)上设有多层第二导向夹道(21)；第三管夹(3)，设于所述内部框架(300)上，所述第三管夹(3)上设有多层第三导向夹道(31)；以所述第二导向夹道(21)延伸方向为X向，以每层所述第二导向夹道(21)的排列方向为Y向；以多层所述第二导向夹道(21)的排列方向为Z向，所述第一导向夹道(11)和所述第二导向夹道(21)均位于XZ平面内，每层所述第一导向夹道(11)沿Y向排列；所述第二导向夹道(21)与所述第三导向夹道(31)位于XY平面内，多层所述第三导向夹道(31)沿Z向排列。2.根据权利要求1所述的管线布局调整装置，其特征在于，所述第一导向夹道(11)延伸方向与X向的夹角为α，多层所述第一导向夹道(11)的排列方向与X向的夹角为β，且α+β＝90
°
。3.根据权利要求2所述的管线布局调整装置，其特征在于，所述α的取值范围为70
°
...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲昱，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：