一种复合低频隔振台及光学平台制造技术

本发明专利技术提供一种复合低频隔振台及光学平台，属于机械结构减振技术领域。复合低频隔振台包括支撑座、余弦梁、负刚度元件和传动件；余弦梁具有第一连接部、第二连接部和至少两个余弦件；每一个余弦件的一端与第一连接部连接，每一个余弦件的另一端与第二连接部连接；余弦件具有第一曲面；负刚度元件的两端分别设有支撑座；负刚度元件具有第二曲面，第二曲面的顶部设有固定件，传动件的一端与固定件连接，传动件的另一端与第一连接部连接。本发明专利技术将余弦梁和负刚度元件通过传动件连接，以使余弦梁受到外界载体振动的作用力时，通过固定件将振动传递到负刚度元件上，余弦件和负刚度元件产生形变，产生阻尼作用，降低振动，从而使有效抑振频带更宽。频带更宽。频带更宽。

【技术实现步骤摘要】
一种复合低频隔振台及光学平台


[0001]本专利技术涉及机械结构减振
，尤其涉及一种复合低频隔振台及光学平台。

技术介绍

[0002]随着科学技术的不断进步和发展，精密仪器在精密测量系统、光纤元件制造、精密加工及制造、微电子制造等各种领域广泛应用，由于精密仪器设备在使用过程中会受到各种振动的干扰，如来自地面的环境振动，及建筑内部环境各类有源设备产生的振动，因此需要对精密仪器采用光学平台进行隔振。传统光学平台受到自身刚度的限制，固有频率较大，对低频的隔离能力弱，甚至没有效果，不具有较高水平的低频隔振能力。
[0003]传统调谐质量阻尼器有效抑振频带窄，所以，研究并设计一种用于光学平台的低频负刚度调谐质量阻尼器具有较大的实际意义。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种复合低频隔振台及光学平台。
[0005]本专利技术提供如下技术方案：一种复合低频隔振台，包括支撑座、余弦梁、负刚度元件和传动件；
[0006]所述余弦梁具有第一连接部、第二连接部和至少两个余弦件；
[0007]每一个所述余弦件的一端与所述第一连接部连接，每一个所述余弦件的另一端与所述第二连接部连接；
[0008]所述余弦件具有第一曲面，所述第一曲面向所述余弦梁的外侧凸起；
[0009]所述负刚度元件的两端分别设有所述支撑座；
[0010]所述负刚度元件具有第二曲面，所述第二曲面朝向所述余弦梁凸起，所述第二曲面的顶部设有固定件，所述传动件的一端与所述固定件连接，所述传动件的另一端与所述第一连接部连接。
[0011]在本申请的一些实施例中，所述余弦件为两个，两个所述余弦件相对设置，且两个所述余弦件以所述余弦梁的轴线呈中心对称。
[0012]进一步地，所述传动件包括安装座、质量块和盖板；
[0013]所述质量块设置在所述安装座中，所述盖板设置在所述安装座的开口端，以对所述质量块形成限位。
[0014]进一步地，所述负刚度元件的两端分别具有连接件，所述连接件与所述支撑座滑动连接。
[0015]进一步地，所述支撑座包括支撑板和设置在所述支撑板上的支撑台；
[0016]所述支撑台的一侧设有开口。
[0017]进一步地，所述支撑台靠近所述负刚度元件的一侧设有滑轨；
[0018]所述连接件的两相对侧分别设有滑槽，所述负刚度元件通过所述滑轨与所述滑槽
滑动连接。
[0019]进一步地，所述支撑座上设有限位结构，所述限位结构与所述连接件连接。
[0020]进一步地，所述限位结构包括第一安装杆和第二安装杆；
[0021]所述第一安装杆穿设于所述支撑台，所述第二安装杆的一端穿过所述开口与所述第一安装杆连接，所述第二安装杆的另一端设有相间隔的第一限位螺母和第二限位螺母；
[0022]所述第一限位螺母和所述第二限位螺母分别位于所述连接件的两相对侧，且分别与所述连接件相抵触。
[0023]本专利技术的一些实施例提供一种光学平台，包括光学台和至少一个所述的复合低频隔振台；
[0024]所述光学台厚度方向的一侧与所述第二连接部连接。
[0025]进一步地，所述光学平台还包括四个支撑柱；
[0026]四个所述支撑柱和所述复合低频隔振台分别位于所述光学台的同侧，且四个所述支撑柱分别设置在所述光学平台的四个顶角。
[0027]本专利技术的实施例具有如下优点：通过将余弦件的第一曲面朝向余弦梁的外侧，以使余弦梁在受到外界振动的作用力时，位于第一连接部和第二连接部之间的余弦件在振动的作用下产生弹性形变，吸收能量，从而降低的振动幅度，达到减振的效果。同时，通过固定件将作用于余弦梁上的振动传递到负刚度元件上，负刚度元件产生形变，同时产生阻尼作用，从而将设备振动产生的机械能通过余弦梁和负刚度元件在形变的过程中吸收，以达到减振的效果，进一步降低设备的振动，从而使有效抑振频带更宽。
[0028]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显和易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，做详细说明如下。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0030]图1示出了本专利技术的一些实施例提供的一种复合低频隔振台的一视角的结构示意图；
[0031]图2示出了本专利技术的一些实施例提供的一种复合低频隔振台中支撑座的一视角的结构示意图；
[0032]图3示出了本专利技术的一些实施例提供的一种复合低频隔振台中质量块的一视角的结构示意图；
[0033]图4示出了本专利技术的一些实施例提供的一种复合低频隔振台中负刚度元件的一视角的结构示意图；
[0034]图5示出了本专利技术的一些实施例提供的一种光学平台的一视角的结构示意图；
[0035]图6示出了本专利技术的一些实施例提供的一种光学平台中振幅效果对比图。
[0036]主要元件符号说明：
[0037]100
‑
支撑座；200
‑
余弦梁；300
‑
负刚度元件；400
‑
传动件；210
‑
第一连接部；220
‑
第
二连接部；230
‑
余弦件；500
‑
固定件；410
‑
安装座；420
‑
质量块；430
‑
盖板；310
‑
连接件；110
‑
支撑板；120
‑
支撑台；121
‑
开口；600
‑
限位结构；610
‑
第一安装杆；620
‑
第二安装杆；630
‑
第一限位螺母；640
‑
第二限位螺母；122
‑
滑轨；311
‑
滑槽；700
‑
光学台；800
‑
支撑柱。
具体实施方式
[0038]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0039]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合低频隔振台，其特征在于，包括支撑座、余弦梁、负刚度元件和传动件；所述余弦梁具有第一连接部、第二连接部和至少两个余弦件；每一个所述余弦件的一端与所述第一连接部连接，每一个所述余弦件的另一端与所述第二连接部连接；所述余弦件具有第一曲面，所述第一曲面向所述余弦梁的外侧凸起；所述负刚度元件的两端分别设有所述支撑座；所述负刚度元件具有第二曲面，所述第二曲面朝向所述余弦梁凸起，所述第二曲面的顶部设有固定件，所述传动件的一端与所述固定件连接，所述传动件的另一端与所述第一连接部连接。2.根据权利要求1所述的复合低频隔振台，其特征在于，所述余弦件为两个，两个所述余弦件相对设置，且两个所述余弦件以所述余弦梁的轴线呈中心对称。3.根据权利要求1所述的复合低频隔振台，其特征在于，所述传动件包括安装座、质量块和盖板；所述质量块设置在所述安装座中，所述盖板设置在所述安装座的开口端，以对所述质量块形成限位。4.根据权利要求1所述的复合低频隔振台，其特征在于，所述负刚度元件的两端分别具有连接件，所述连接件与所述支撑座滑动连接。5.根据权利要求4所述的复合低频隔振台，其特征在于，所述支撑座包括支撑板和设置在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志锋，徐中民，高天宇，
申请(专利权)人：深圳综合粒子设施研究院，
类型：发明
国别省市：