表面处理装置制造方法及图纸

表面处理装置具有：收纳处理液的处理槽(100A、100B)；配置在处理槽内的阳极(142、152)；将工件(W)垂下地保持并将工件设定为阴极的夹具(10)；配置在阳极与工件之间的液体喷出部件(200)；以及使液体喷出部件相对于工件移动的移动机构(270A、270B)。液体喷出部件包含至少一对板材(210、220、230)，该至少一对板材在阳极与工件之间沿着朝向工件的延伸方向形成，并且在与该延伸方向交叉的方向上分离地配置，在至少一对板材之间引导通过液体喷出部件的移动而流动的处理液，使该处理液朝向工件喷出。喷出。喷出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面处理装置


[0001]本专利技术涉及对工件实施镀敷等表面处理的表面处理装置。

技术介绍

[0002]在对电路基板等工件进行镀敷的装置中，如专利文献1所示，从在镀敷液中纵向设置的沿着喷嘴管的纵向排列的多个喷嘴，朝向垂下到镀敷液中的工件喷射镀敷液。
[0003]在对电路基板或半导体晶片等工件进行镀敷的装置中，如专利文献2及3所示，代替喷嘴管而使用了对处理液进行搅拌的桨叶。专利文献2的桨叶是搅拌棒，专利文献3的桨叶是贯通形成有多个纵长孔的矩形板，这些桨叶与工件的主面平行地往复移动。在专利文献4～6中公开了将专利文献1的喷嘴设置于专利文献2或3的桨叶上的方案。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2012
‑
046782号公报(图5)
[0007]专利文献2：日本特开2006
‑
04172号公报(图1
‑
5)
[0008]专利文献3：日本特开2014
‑
185375号公报(图1、3
‑
4、6)
[0009]专利文献4：日本特开2004
‑
16129号公报(图1
‑
4)
[0010]专利文献5：日本特开昭56
‑
42976号公报(图1
‑
3)
[0011]专利文献6：日本特开平10
‑
88397号公报(图1
‑
2)

技术实现思路

[0012]专利技术所要解决的课题
[0013]但是，专利文献1的喷嘴管在工件的宽度方向上隔开间隔地配置，而且，在各喷嘴管上，在纵向上隔开间隔地配置有喷嘴，因此难以向工件均匀地喷出镀敷液。另一方面，专利文献2的桨叶仅是对镀敷液进行搅拌。在专利文献4～6中，由液体喷射泵压送的处理液从移动的桨叶朝向工件喷出，但处理的面内均匀性依赖于喷嘴的位置而未得到改善，这与专利文献1相同。而且，在专利文献4～6中，为了使桨叶移动，除了驱动源之外还需要液体喷射泵。
[0014]本专利技术的目的在于提供一种表面处理装置，其不需要液体喷射泵，能够降低向工件喷出的处理液的面内不均匀性，提高工件的表面处理的面内均匀性，而且能够提高生产率。
[0015]用于解决课题的手段
[0016](1)本专利技术的一个方式涉及一种表面处理装置，其中，
[0017]所述表面处理装置具有：
[0018]处理槽，其收纳处理液；
[0019]阳极，其配置于所述处理槽内；
[0020]夹具，其使浸渍于所述处理液的工件垂下地保持该工件，且将所述工件设定为阴
极；
[0021]液体喷出部件，其在所述阳极与所述工件之间配置于所述处理液中；以及
[0022]移动机构，其使所述液体喷出部件相对于所述工件移动，
[0023]所述液体喷出部件包含至少一对板材，所述至少一对板材在所述阳极与所述工件之间沿着朝向所述工件的延伸方向形成，并且在与所述延伸方向交叉的方向上分离地配置，在所述至少一对板材之间引导通过所述液体喷出部件的移动而流动的所述处理液并使所述处理液朝向所述工件喷出。
[0024]根据本专利技术的一个方式，通过使液体喷出部件相对于垂下到处理液中的工件移动，不使用喷嘴管就能够朝向工件喷射处理液。即，将通过液体喷出部件的移动而在处理槽内流动的处理液在至少一对板材之间引导并朝向所述工件喷出。由此，通过处理液与工件碰撞，能够将位于阳极附近的表面处理成分丰富的新鲜的处理液供给至工件，生产率得到提高。另外，由于能够通过移动的液体喷出部件的至少一对板材之间将处理液向工件喷出，因此，与从喷嘴管的多个喷嘴喷出处理液的情况相比，工件面内的处理的均匀性得到提高。
[0025](2)在本专利技术的一个方式(1)中，涉及一种表面处理装置，其中，
[0026]所述移动机构使所述液体喷出部件在与所述工件平行的往复方向上移动，
[0027]所述液体喷出部件包含：
[0028]第一引导体，其具有与所述往复方向交叉的两个面；以及
[0029]第二引导体和第三引导体，它们分别与所述第一引导体的所述两个面隔开间隙地配置，
[0030]所述至少一对板材包含：
[0031]第一一对板材，它们由所述第一引导体和所述第二引导体形成；和
[0032]第二一对板材，它们由所述第一引导体和所述第三引导体形成，
[0033]在所述液体喷出部件向所述往复方向中的前进移动方向移动时，将由所述第一引导体阻挡的处理液沿着所述第一一对板材之间引导而朝向所述工件喷出，
[0034]在所述液体喷出部件向所述往复方向中的返回移动方向移动时，将由所述第一引导体阻挡的处理液沿着所述第二一对板材之间引导而朝向所述工件喷出。
[0035]这样，在液体喷出部件例如前进移动时，沿着由第一、第二引导体形成的第一一对板材之间被引导的处理液被喷出到工件上，在液体喷出部件例如返回移动时，沿着由第一、第三引导体形成的第二一对板材之间被引导的处理液被喷出到工件上。
[0036](3)在本专利技术的一个方式(2)中，所述阳极能够包含配置于所述工件的两侧的第一阳极以及第二阳极，所述液体喷出部件能够包含配置于所述第一阳极与所述工件之间的第一液体喷出部件、以及配置于所述第二阳极与所述工件之间的第二液体喷出部件，所述移动机构能够包含使所述第一液体喷出部件移动的第一移动机构、以及使所述第二液体喷出部件移动的第二移动机构。这样，能够对工件的两面进行处理。
[0037](4)在本专利技术的一个方式(3)中，可以是，还具有对所述第一移动机构赋予驱动力的第一驱动源和对所述第二移动机构赋予驱动力的第二驱动源，所述第一液体喷出部件和所述第二液体喷出部件被不同步地驱动。当第一、第二液体喷出部件隔着工件正对时，会在工件的同一区域向其两面喷出处理液。在工件具有贯通两面的通孔的情况下，处理液难以穿过通孔。在第一、第二液体喷出部件的一次往复移动中，如果使第一、第二液体喷出部件
同步地移动，则第一、第二液体喷出部件正对的位置相对于工件来说总是相同，但通过使第一、第二液体喷出部件不同步地移动，能够使第一、第二液体喷出部件正对的位置相对于工件每次都不同。由此，处理液容易穿过通孔。
[0038](5)在本专利技术的一个方式(3)或(4)中，也可以是，通过将保持有所述工件的所述夹具从所述处理槽的上方降下并安装，由此，所述处理槽被划分为第一槽和第二槽。这样，第一液体喷出部件能够搅拌第一槽内的处理液，第二液体喷出部件能够搅拌第二槽内的处理液，而且，能够排除一方的槽中的搅拌给另一方的槽带来的不良影响。
[0039](6)在本专利技术的一个方式(5)中，所述处理槽能够在沿所述往复方向位于两端的2个侧壁部的外侧分别包含缓冲槽，该缓冲槽与所述第一槽和所述第二槽连通而收纳所述处理液。这样，能够使被第一液体喷出部件和第二液体喷出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种表面处理装置，其特征在于，所述表面处理装置具有：处理槽，其收纳处理液；阳极，其配置于所述处理槽内；夹具，其使浸渍于所述处理液的工件垂下地保持该工件，且将所述工件设定为阴极；液体喷出部件，其在所述阳极与所述工件之间配置于所述处理液中；以及移动机构，其使所述液体喷出部件相对于所述工件移动，所述液体喷出部件包含至少一对板材，所述至少一对板材在所述阳极与所述工件之间沿着朝向所述工件的延伸方向形成，并且在与所述延伸方向交叉的方向上分离地配置，在所述至少一对板材之间引导通过所述液体喷出部件的移动而流动的所述处理液并使所述处理液朝向所述工件喷出。2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，所述移动机构使所述液体喷出部件在与所述工件平行的往复方向上移动，所述液体喷出部件包含：第一引导体，其具有与所述往复方向交叉的两个面；以及第二引导体和第三引导体，它们分别与所述第一引导体的所述两个面隔开间隙地配置，所述至少一对板材包含：第一一对板材，它们由所述第一引导体和所述第二引导体形成；和第二一对板材，它们由所述第一引导体和所述第三引导体形成，在所述液体喷出部件向所述往复方向中的前进移动方向移动时，将由所述第一引导体阻挡的处理液沿着所述第一一对板材之间引导而朝向所述工件喷出，在所述液体喷出部件向所述往复方向中的返回移动方向移动时，将由所述第一引导体阻挡的处理液沿着所述第二一对板材之间引导而朝向所述工件喷出。3.根据权利要求2所述的表面处理装置，其特征在于，所述阳极包含配置于所述工件的两侧的第一阳极和第二阳极，所述液体喷出部件包含：第一液体喷出部件，其配置于所述第一阳极与所述工件之间；和第二液体喷出部件，其配置于所述第二阳极与所述工件...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井胜己，
申请(专利权)人：ALMEX科技株式会社，
类型：发明
国别省市：