本实用新型专利技术公开了集成电路清洗工艺技术领域的一种用于集成电路清洗石英花蓝的开槽装置，包括底板，底板上端面左侧中部固定连接有进料斗，底板上端面中部固定连接有研磨腔，研磨腔上端面前侧中部固定连接有滑套杆，滑套杆后侧滑动连接有升降杆，底板上端面中部固定连接有第三滑杆，第三滑杆滑动连接有刀片柱，底板上端面前侧中部固定连接有L型杆，L型杆上侧滑动连接有挤压箱，挤压箱前后两端中部均滑动连接有第一滑杆，第一滑杆相互靠近的端面固定连接有挤压板，挤压板相互靠近的端面均匀设有凸刺，本实用新型专利技术实现了对石英花蓝的多级研磨，对石英花蓝的研磨效果较好；石英花蓝粉末排出时，可对堵塞的石英花蓝粉末起到一个疏通效果。效果。效果。
【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路清洗石英花蓝的开槽装置
[0001]本技术涉及集成电路清洗工艺
，具体为一种用于集成电路清洗石英花蓝的开槽装置。
技术介绍
[0002]在集成电路清洗工艺中，需要用石英清洗花蓝作为晶圆的载体，而石英清洗花篮的槽宽；间距；总间距；相对的平面度与平行度精度对晶圆的成品率尤其重要。
[0003]现有的集成电路清洗工艺是由开槽机先加工槽棒的槽型在通过人工火焰组立焊接，退火，研磨，抛光加工而成，因为是先加工槽型再火焰加工，所以在加工过程中会存在多次变形而影响最终产品的尺寸精度，而在研磨这一步骤时，对石英花蓝的研磨方式较为单一，导致对石英花蓝的研磨效果较差，并且，研磨后，需要对石英花蓝粉末进行排出，可能会出现石英花蓝粉末堵塞在出料管的情况，不便对堵塞的石英花蓝粉末起到一个疏通效果，影响下料效率。
[0004]基于此，本技术设计了一种用于集成电路清洗石英花蓝的开槽装置，以解决上述问题。
技术实现思路
[0005]为解决上述问题，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种用于集成电路清洗石英花蓝的开槽装置，包括底板，所述底板上端面左侧中部固定连接有进料斗，所述底板上端面中部固定连接有研磨腔，所述研磨腔上端面前侧中部固定连接有滑套杆，所述滑套杆后侧滑动连接有升降杆，所述升降杆下端面固定连接有研磨块，所述底板上端面中部固定连接有第三滑杆，所述第三滑杆滑动连接有刀片柱，所述底板上端面前侧中部固定连接有L型杆，所述L型杆上侧滑动连接有挤压箱，所述挤压箱前后两端中部均滑动连接有第一滑杆，所述第一滑杆相互靠近的端面固定连接有挤压板，所述挤压板相互靠近的端面均匀设有凸刺。
[0007]更进一步地，所述进料斗上端面右侧中部固定连接有L型板，所述L型板左右两侧均通过销轴转动连接有链轮，左侧所述链轮中部通过销轴固定连接有第二转动块和第三连杆，所述链轮啮合连接有链条。
[0008]更进一步地，所述第二转动块前端面上侧通过销轴滑动连接有第二T型杆，所述第二T型杆左端面固定连接有所述挤压箱，所述第三连杆下端通过销轴转动连接有第四连杆，所述第四连杆下端通过销轴转动连接有所述升降杆，所述L型板后端面左侧固定连接有电机，所述电机输出端通过销轴固定连接有第一锥齿轮。
[0009]更进一步地，所述第一锥齿轮啮合连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮中部通过销轴与第三连杆固定相连，所述挤压箱下端设有滤网，所述挤压箱左端转动连接有蜗杆，所述蜗杆啮合连接有蜗轮，所述蜗轮中部通过销轴固定连接有第一连杆，所述第一连杆通过销轴转动连接于所述挤压箱。
[0010]更进一步地，所述第一连杆靠近挤压箱的一端通过销轴转动连接有第二连杆，所述第二连杆远离所述第一连杆的一端通过销轴转动连接有所述第一滑杆，所述蜗杆前端面固定连接有齿轮，所述齿轮啮合连接有齿条，所述齿条下端面固定连接有所述底板。
[0011]更进一步地，右侧所述链轮中部通过销轴固定连接有第一转动块，所述第一转动块后端面下侧通过销轴滑动连接有第一T型杆，所述第一T型杆滑动连接有第二滑杆，所述第二滑杆下端面固定连接有所述底板。
[0012]更进一步地，所述底板上端面右侧中部固定连接有支撑板，所述支撑板上端中部通过销轴转动连接有第一滑槽杆，所述第一滑槽杆右侧通过销轴滑动连接有所述第一T型杆，所述第一滑槽杆左侧通过销轴滑动连接有所述刀片柱，所述研磨腔下端中部连通有出料管，所述出料管上端设有滤网。
[0013]有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]1.通过将待研磨的石英花蓝放置在挤压箱内部，然后启动电机，电机带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮通过第二锥齿轮带动第三连杆和第二转动块转动，第二转动块通过销轴带动第二T型杆左右往复移动，使挤压箱在L型杆上滑动，使挤压箱产生左右振动，同时，齿条带动齿轮转动，使蜗杆带动蜗轮转动，即可使第一连杆带动第二连杆转动，使两个挤压板形成往复运动，对处于挤压箱中部的石英花蓝进行挤压粉碎，并在振动下，使石英花蓝通过挤压箱下侧的滤网落入至进料斗，并从研磨块与研磨腔的缝隙进入至研磨腔内部下端，同时，第三连杆与第四连杆带动升降杆上下往复运动，使研磨块对石英花蓝进行挤压研磨，从而可对石英花蓝起到一个预粉碎的效果，然后再进行研磨，进而实现了多级研磨，提高了对石英花蓝的研磨效率。
[0016]2.通过研磨块对石英花蓝进行研磨后，经出料管的滤网排出，同时，第一转动块通过销轴带动第一T型杆上下往复移动，使第一滑槽杆摆动，第一滑槽杆通过销轴带动刀片柱在第三滑杆上滑动，使刀片柱对上下往复运动，即可对堵塞在出料管内腔壁的石英花蓝进行疏通，从而可对石英花蓝在出料时，起到一个防堵塞效果，进而加块了石英花蓝的下料的效率，便于人员进行收集。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术总体结构示意图；
[0019]图2为本技术图1中A区域放大结构示意图；
[0020]图3为本技术后视研磨腔半剖面局部立体结构示意图；
[0021]图4为本技术图1中B区域放大结构示意图；
[0022]图5为本技术图1中C区域放大结构示意图。
[0023]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0024]1、底板；2、齿条；3、齿轮；4、蜗轮；5、蜗杆；6、第一连杆；7、第二连杆；8、挤压板；9、
第一滑杆；10、进料斗；11、L型杆；12、研磨腔；13、出料管；14、第一滑槽杆；15、支撑板；16、第二滑杆；17、第三滑杆；18、第一T型杆；19、第一转动块；20、链条；21、L型板；22、研磨块；23、第一锥齿轮；24、第二锥齿轮；25、第三连杆；26、第四连杆；27、滑套杆；28、升降杆；29、第二转动块；30、第二T型杆；31、挤压箱；32、链轮；33、电机；34、刀片柱。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0026]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：
[0027]一种用于集成电路清洗石英花蓝的开槽装置，包括底板1，底板1上端面左侧中部固定连接有进料斗10，底板1上端面中部固定连接有研磨腔12，研磨腔12上端面前侧中部固定连接有滑套杆27，滑套杆27后侧滑动连接有升降杆28，升降杆28下端面固定连接有研磨块22，底板1上端面中部固定连接有第三滑杆17，第三滑杆17滑动连接有刀片柱34，底板1上端面前侧中部固定连接有L型杆11，L型杆11上侧滑动连接有挤压箱31，挤压箱31前后两端中部均滑动连接有第一滑杆9，第一滑杆9相互靠近本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路清洗石英花蓝的开槽装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上端面左侧中部固定连接有进料斗(10)，所述底板(1)上端面中部固定连接有研磨腔(12)，所述研磨腔(12)上端面前侧中部固定连接有滑套杆(27)，所述滑套杆(27)后侧滑动连接有升降杆(28)，所述升降杆(28)下端面固定连接有研磨块(22)，所述底板(1)上端面中部固定连接有第三滑杆(17)，所述第三滑杆(17)滑动连接有刀片柱(34)，所述底板(1)上端面前侧中部固定连接有L型杆(11)，所述L型杆(11)上侧滑动连接有挤压箱(31)，所述挤压箱(31)前后两端中部均滑动连接有第一滑杆(9)，所述第一滑杆(9)相互靠近的端面固定连接有挤压板(8)，所述挤压板(8)相互靠近的端面均匀设有凸刺。2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路清洗石英花蓝的开槽装置，其特征在于：所述进料斗(10)上端面右侧中部固定连接有L型板(21)，所述L型板(21)左右两侧均通过销轴转动连接有链轮(32)，左侧所述链轮(32)中部通过销轴固定连接有第二转动块(29)和第三连杆(25)，所述链轮(32)啮合连接有链条(20)。3.根据权利要求2所述的一种用于集成电路清洗石英花蓝的开槽装置，其特征在于：所述第二转动块(29)前端面上侧通过销轴滑动连接有第二T型杆(30)，所述第二T型杆(30)左端面固定连接有所述挤压箱(31)，所述第三连杆(25)下端通过销轴转动连接有第四连杆(26)，所述第四连杆(26)下端通过销轴转动连接有所述升降杆(28)，所述L型板(21)后端面左侧固定连接有电机(33)，所述电机(33)输出端通过销轴固定连接有第一锥齿轮(23)。4.根据权利要求3所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚禄辉，蓝呈，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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