一种溅射炉用防绕射夹具制造技术

本申请公开了一种溅射炉用防绕射夹具，包括固定底板以及设置在固定底板一侧的升降调节机构、固定座、安装板、安装壳、螺纹滑杆和防绕射板，所述固定底板顶部固定连接固定座，所述升降调节机构包括第一螺纹杆当需要调节溅射镀膜时基板的高度时，第一电机的输出端带动与其固接的第二锥齿轮转动，第二锥齿轮带动一侧啮合的第一锥齿轮转动，第一锥齿轮带动顶部固接的第一螺纹杆转动，第一螺纹杆带动表面螺纹连接的调节杆上下移动，调节杆同时带动左侧固接的限位块在限位杆上下滑动，限位杆对调节杆进行限位，调节杆同时带动顶部固接的安装板上下移动，进而实现了带动基板上下移动的功能，进而实现了便于调节的功能。进而实现了便于调节的功能。进而实现了便于调节的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射炉用防绕射夹具


[0001]本申请涉及溅射炉领域，尤其是一种溅射炉用防绕射夹具。

技术介绍

[0002]溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射，溅射产生的原子沉积在基板表面成膜称为溅射镀膜，溅射夹具是用来固定基板的装置，将基板进行限位，保证在溅射的过程中基板不会跑偏移位，所以经常需要一种溅射炉用防绕射夹具。
[0003]但是现有的防绕射夹具结构比较简单，导致部分溅射炉在溅射镀膜时不便于调节，溅射镀膜时存在有一定的局限性；另外部分夹具不便于对不同大小的基板进行夹持固定。因此，针对上述问题提出一种溅射炉用防绕射夹具。

技术实现思路

[0004]在本实施例中提供了一种溅射炉用防绕射夹具用于解决现有技术中的部分溅射炉在溅射镀膜时不便于调节的问题。
[0005]根据本申请的一个方面，提供了一种溅射炉用防绕射夹具，包括固定底板以及设置在固定底板一侧的升降调节机构、固定座、安装板、安装壳、螺纹滑杆和防绕射板，所述固定底板顶部固定连接固定座，所述升降调节机构包括第一螺纹杆，所述固定座顶部转动连接第一螺纹杆，所述第一螺纹杆表面螺纹连接调节杆，所述调节杆顶部固定连接安装板，所述安装板顶部固定连接安装壳，所述安装壳内部转动连接第二螺纹杆，所述第二螺纹杆左侧固定连接第二电机的输出端，所述第二电机固定连接在安装壳左侧，所述第二螺纹杆表面对称螺纹连接螺纹滑杆，所述螺纹滑杆底部与防绕射板固定连接。
[0006]进一步地，所述第一螺纹杆底部固定连接第一锥齿轮，所述第一锥齿轮一侧啮合连接第二锥齿轮，所述第二锥齿轮左侧固定连接第一电机的输出端，所述第一电机一侧固定连接固定座。
[0007]进一步地，所述固定座顶部固定连接限位杆，所述限位杆表面滑动连接限位块，所述限位块右侧固定连接调节杆。
[0008]进一步地，所述螺纹滑杆贯穿且滑动连接安装板，所述安装板内部开设有与螺纹滑杆相适配的限位槽。
[0009]进一步地，每个所述防绕射板顶部对称固定连接L型固定块，所述防绕射板顶部搭接有基板，所述L型固定块顶部螺纹连接第二固定螺栓，所述第二固定螺栓底部与基板顶部相抵接。
[0010]进一步地，所述固定底板内部螺纹连接第一固定螺栓，所述第一固定螺栓的数量为四个，且所述第一固定螺栓均匀的分布在固定底板内部四端。
[0011]通过本申请上述实施例，采用了升降调节机构，解决了部分溅射炉在溅射镀膜时不便于调节的问题，同时保证了装置的便于调节性。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0013]图1为本申请一种实施例的整体立体结构示意图；
[0014]图2为本申请一种实施例的整体内部结构示意图；
[0015]图3为本申请一种实施例的图2中A处结构放大示意图。
[0016]图中：1、固定底板；2、第一固定螺栓；3、固定座；4、第一螺纹杆；5、第一锥齿轮；6、第二锥齿轮；7、第一电机；8、限位杆；9、限位块；10、调节杆；11、安装板；12、安装壳；13、第二电机；14、第二螺纹杆；15、螺纹滑杆；16、限位槽；17、防绕射板；18、L型固定块；19、基板；20、第二固定螺栓。
具体实施方式
[0017]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0018]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0019]在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
[0020]并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
[0021]此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0023]请参阅图1
‑
3所示，一种溅射炉用防绕射夹具，包括固定底板1以及设置在固定底
板1一侧的升降调节机构、固定座3、安装板11、安装壳12、螺纹滑杆15和防绕射板17，所述固定底板1顶部固定连接固定座3，所述升降调节机构包括第一螺纹杆4，所述固定座3顶部转动连接第一螺纹杆4，所述第一螺纹杆4表面螺纹连接调节杆10，所述调节杆10顶部固定连接安装板11，所述安装板11顶部固定连接安装壳12，所述安装壳12内部转动连接第二螺纹杆14，所述第二螺纹杆14左侧固定连接第二电机13的输出端，所述第二电机13固定连接在安装壳12左侧，所述第二螺纹杆14表面对称螺纹连接螺纹滑杆15，所述螺纹滑杆15底部与防绕射板17固定连接。
[0024]所述第一螺纹杆4底部固定连接第一锥齿轮5，所述第一锥齿轮5一侧啮合连接第二锥齿轮6，所述第二锥齿轮6左侧固定连接第一电机7的输出端，所述第一电机7一侧固定连接固定座3；所述固定座3顶部固定连接限位杆8，所述限位杆8表面滑动连接限位块9，所述限位块9右侧固定连接调节杆10；所述螺纹滑杆15贯穿且滑动连接安装板11，所述安装板11内部开设有与螺纹滑杆15相适配的限位槽16；每个所述防绕本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射炉用防绕射夹具，其特征在于：包括固定底板(1)以及设置在固定底板(1)一侧的升降调节机构、固定座(3)、安装板(11)、安装壳(12)、螺纹滑杆(15)和防绕射板(17)，所述固定底板(1)顶部固定连接固定座(3)，所述升降调节机构包括第一螺纹杆(4)，所述固定座(3)顶部转动连接第一螺纹杆(4)，所述第一螺纹杆(4)表面螺纹连接调节杆(10)，所述调节杆(10)顶部固定连接安装板(11)，所述安装板(11)顶部固定连接安装壳(12)，所述安装壳(12)内部转动连接第二螺纹杆(14)，所述第二螺纹杆(14)左侧固定连接第二电机(13)的输出端，所述第二电机(13)固定连接在安装壳(12)左侧，所述第二螺纹杆(14)表面对称螺纹连接螺纹滑杆(15)，所述螺纹滑杆(15)底部与防绕射板(17)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种溅射炉用防绕射夹具，其特征在于：所述第一螺纹杆(4)底部固定连接第一锥齿轮(5)，所述第一锥齿轮(5)一侧啮合连接第二锥齿轮(6)，所述第二锥齿轮(6)左侧固定连接第一电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭海，
申请(专利权)人：无锡元核芯微电子有限责任公司，
类型：新型
国别省市：