一种半导体多端点通路测试设备制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体多端点通路测试设备，涉及半导体测试技术领域，包括放置机构，放置机构包括放置底座，放置底座上固定安装有转盘底座，转盘底座上转动安装有旋转盘，旋转盘上固定放置有多个半导体芯片，转盘底座上固定安装有转盘电机，转盘电机的输出轴上固定安装有槽轮杆，旋转盘上固定安装有槽轮，槽轮与槽轮杆形成配合，槽轮杆上固定安装有凸轮，转盘底座上转动安装有凸轮杆，凸轮杆与凸轮形成配合，凸轮杆上固定安装有传动杆，传动杆上固定安装有转动杆，转动杆上转动安装有转动座，转盘底座上转动安装有摆杆。本发明专利技术可以控制半导体芯片自动间歇定位移动的同时，控制半导体芯片固定排序逐个取出，方便进行测试。方便进行测试。方便进行测试。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体多端点通路测试设备


[0001]本专利技术涉及半导体测试
，特别涉及一种半导体多端点通路测试设备。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，芯片的功能愈加强大。各行各业离开芯片几乎不能运转，传统行业在集成电路的加持下焕发生机，工厂流水线、自动化车间等一些无需人工干预的新型工作场景层出不穷，芯片的内部是集成电路，集成电路由无数个晶体管组成。每个晶体管元器件的正常工作才能保障整个系统的正常运转，一旦器件工作可靠性方面出现了问题，轻则给个人的生活带来不便，为此测试半导体器件的可靠性变得至关重要，因此关于半导体器件的测试设备也成为本领域技术人员研究的重点之一。
[0003]公开号为CN115200818A的专利技术专利申请公开了一种半导体多端点通路测试设备，包括箱体，所述箱体侧壁上部铰接有箱盖，所述箱体内腔底部固定连接有驱动电机，所述驱动电机转动轴侧壁固定连接有第一转盘，所述驱动电机转动轴顶端固定连接有万向球。该专利技术虽然可以模拟测试环境，对半导体圆片上的焊接元件的抗震性能进行测试，但是该设备不能控制半导体芯片自动间歇定位移动，不能控制半导体芯片固定排序逐个取出，对半导体芯片的测试不便。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为：一种半导体多端点通路测试设备，包括放置机构。
[0005]放置机构包括放置底座，放置底座上固定安装有转盘底座，转盘底座上转动安装有旋转盘，旋转盘上固定放置有多个半导体芯片，转盘底座上固定安装有转盘电机，转盘电机的输出轴上固定安装有槽轮杆，旋转盘上固定安装有槽轮，槽轮与槽轮杆形成配合，槽轮杆上固定安装有凸轮，转盘底座上转动安装有凸轮杆，凸轮杆与凸轮形成配合，凸轮杆上固定安装有传动杆，传动杆上固定安装有转动杆，转动杆上转动安装有转动座，转盘底座上转动安装有摆杆，摆杆与转动座转动连接，转盘底座上滑动安装有滑槽座，滑槽座与摆杆的端点滑动连接，旋转盘上设置有多个插槽，半导体芯片放置于旋转盘的插槽内，插槽下方设有开口，滑槽座上固定安装有活动杆，活动杆与开口配合。
[0006]放置底座上固定安装有限位板座，限位板座上固定安装有放置电机，放置电机的输出轴上固定安装有第一转杆，第一转杆上转动安装有第二转杆，限位板座上固定安装有限位板，限位板上滑动安装有移动板，移动板与第二转杆转动连接，移动板上滑动安装有夹子座，夹子座与限位板滑动连接，夹子座上滑动安装有放置夹，放置夹用于抓取旋转盘上的半导体芯片。
[0007]测试设备还包括固定机构，固定机构包括固定底座，固定底座固定安装在放置底座上，固定底座上滑动安装有升降底座，半导体芯片放置在升降底座上，固定底座上滑动安装有两侧挡杆，两侧挡杆与固定底座之间设置有弹簧，升降底座与两侧挡杆的斜面形成配
合。
[0008]固定机构还包括固定架，固定架固定安装在限位板座上，固定架上固定安装有固定电机，固定电机的输出轴上固定安装有丝杆，固定架上滑动安装有丝杆滑块，丝杆滑块与丝杆形成螺纹配合，固定架上滑动安装有夹头滑块，丝杆滑块上转动安装有滑块连接杆，滑块连接杆与夹头滑块转动连接，夹头滑块上固定安装有调节杆。
[0009]调节杆上固定安装有夹头座，夹头座上滑动安装有齿条杆，齿条杆与夹头座之间安装有齿条弹簧，夹头座上转动安装有夹头齿轮，夹头齿轮与齿条杆形成齿轮齿条配合，夹头座上滑动安装有两端齿条，两端齿条与夹头齿轮形成齿轮齿条配合，两端齿条上固定安装有夹头。
[0010]测试设备还包括检测机构，检测机构包括检测齿条，检测齿条固定安装在放置底座上，放置底座上滑动安装有检测外架，检测外架上固定安装有外架电机，外架电机的输出轴上固定安装有外架齿轮，外架齿轮与检测齿条形成齿轮齿条配合，检测外架上固定安装有内架齿条，检测外架上滑动安装有内架，内架上转动安装有内架齿轮，内架齿轮与内架齿条形成齿轮齿条配合，内架上转动安装有内架丝杆，内架上滑动安装有检测盒，检测盒与内架丝杆形成螺纹配合，检测盒上固定安装有检测电机，检测电机的输出轴上固定安装有面凸轮，检测盒上滑动安装有凸轮滑块，凸轮滑块与面凸轮形成配合，凸轮滑块上固定安装有检测头，检测头与检测盒滑动连接，检测头与检测盒之间安装有检测弹簧。
[0011]测试设备还包括传送机构，传送机构包括传送电机，传送电机固定安装在放置底座上，传送电机的输出轴上固定安装有传送丝杆，放置底座上滑动安装有传送滑座，传送滑座与传送丝杆形成螺纹配合，传送滑座上固定安装有拨杆电机，拨杆电机的输出轴上固定安装有拨盘，拨盘上固定安装有拨杆，传送滑座上固定安装有拨轮架，拨轮架上转动安装有间歇拨轮，间歇拨轮与拨杆形成配合，间歇拨轮上固定安装有拨轮夹子。
[0012]传送机构还包括传送底座，传送底座固定安装在地面上，传送底座上滑动安装有放置盒，放置盒用于承装半导体芯片，传送底座上滑动安装有传送架，传送底座上转动安装有第三转杆，第三转杆上转动安装有第四转杆，传送架上固定安装有传送架铰座，传送架铰座与第四转杆转动连接，传送架上转动安装有拨动块，拨动块推动放置盒。
[0013]本专利技术与现有技术相比的有益效果是：（1）本专利技术的放置机构控制半导体芯片自动间歇定位移动的同时，控制半导体芯片固定排序逐个取出，方便进行测试；（2）本专利技术的固定机构将半导体芯片的下端及两侧分别固定，方便后续对半导体芯片进行测试；（3）本专利技术的检测机构可以在上下、左右、前后等多方位对半导体芯片的多个点位进行测试；（4）本专利技术的传送机构可以将测试后的半导体芯片装盒并等间距移出装置。
附图说明
[0014]图1为本专利技术的整体结构示意图。
[0015]图2为本专利技术的放置机构示意图。
[0016]图3为本专利技术的放置机构局部示意图。
[0017]图4为本专利技术的固定机构位置示意图。
[0018]图5为本专利技术的固定机构示意图。
[0019]图6为图5中A出局部放大示意图。
[0020]图7为本专利技术的检测机构位置示意图。
[0021]图8为本专利技术的检测机构示意图。
[0022]图9为本专利技术的传送机构示意图。
[0023]图10为本专利技术的传送机构局部示意图。
[0024]附图标号：1
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放置底座；2
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转盘底座；3
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旋转盘；4
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半导体芯片；5
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转盘电机；6
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槽轮杆；7
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槽轮；8
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凸轮；9
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凸轮杆；10
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传动杆；11
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转动杆；12
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转动座；13
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摆杆；14
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滑槽座；15
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活动杆；16
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限位板座；17
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放置电机；18
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第一转杆；19
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第二转杆；20
‑
移动板；21...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体多端点通路测试设备，包括放置机构，其特征在于：放置机构包括放置底座（1），放置底座（1）上固定安装有转盘底座（2），转盘底座（2）上转动安装有旋转盘（3），旋转盘（3）上固定放置有多个半导体芯片（4），转盘底座（2）上固定安装有转盘电机（5），转盘电机（5）的输出轴上固定安装有槽轮杆（6），旋转盘（3）上固定安装有槽轮（7），槽轮（7）与槽轮杆（6）形成配合，槽轮杆（6）上固定安装有凸轮（8），转盘底座（2）上转动安装有凸轮杆（9），凸轮杆（9）与凸轮（8）形成配合，凸轮杆（9）上固定安装有传动杆（10），传动杆（10）上固定安装有转动杆（11），转动杆（11）上转动安装有转动座（12），转盘底座（2）上转动安装有摆杆（13），摆杆（13）与转动座（12）转动连接，转盘底座（2）上滑动安装有滑槽座（14），滑槽座（14）与摆杆（13）的端点滑动连接，旋转盘（3）上设置有多个插槽，半导体芯片（4）放置于旋转盘（3）的插槽内，插槽下方设有开口，滑槽座（14）上固定安装有活动杆（15），活动杆（15）与开口配合。2.根据权利要求1所述的一种半导体多端点通路测试设备，其特征在于：放置底座（1）上固定安装有限位板座（16），限位板座（16）上固定安装有放置电机（17），放置电机（17）的输出轴上固定安装有第一转杆（18），第一转杆（18）上转动安装有第二转杆（19），限位板座（16）上固定安装有限位板（21），限位板（21）上滑动安装有移动板（20），移动板（20）与第二转杆（19）转动连接，移动板（20）上滑动安装有夹子座（22），夹子座（22）与限位板（21）滑动连接，夹子座（22）上滑动安装有放置夹（23），放置夹（23）用于抓取旋转盘（3）上的半导体芯片（4）。3.根据权利要求2所述的一种半导体多端点通路测试设备，其特征在于：测试设备还包括固定机构，固定机构包括固定底座（24），固定底座（24）固定安装在放置底座（1）上，固定底座（24）上滑动安装有升降底座（25），半导体芯片（4）放置在升降底座（25）上，固定底座（24）上滑动安装有两侧挡杆（26），两侧挡杆（26）与固定底座（24）之间设置有弹簧，升降底座（25）与两侧挡杆（26）的斜面形成配合。4.根据权利要求3所述的一种半导体多端点通路测试设备，其特征在于：固定机构还包括固定架（27），固定架（27）固定安装在限位板座（16）上，固定架（27）上固定安装有固定电机（28），固定电机（28）的输出轴上固定安装有丝杆（29），固定架（27）上滑动安装有丝杆滑块（30），丝杆滑块（30）与丝杆（29）形成螺纹配合，固定架（27）上滑动安装有夹头滑块（32），丝杆滑块（30）上转动安装有滑块连接杆（31），滑块连接杆（31）与夹头滑块（32）转动连接，夹头滑块（32）上固定安装有调节杆（33）。5.根据权利要求4所述的一种半导体多端点通路测试设备，其特征在于：调节杆（33）上固定安装有夹头座（...

【专利技术属性】
技术研发人员：李桂云，张峰，
申请(专利权)人：临沂恩科半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：