一种晶圆转运光罩盒制造技术

本实用新型专利技术公开了半导体技术领域的一种晶圆转运光罩盒，包括盒体，所述盒体的侧面卡接有配重管，盒体的底部四端角处分别固定有支撑杆，支撑杆的底部分别胶合连接有吸盘，盒体的顶部开设有限位槽，限位槽的内部活动贯穿卡接有移动座，移动座的顶部连接有侧滑盖。本实用新型专利技术的配重管用于盒体的配重，提升盒体放置及使用状态下的稳定性，同时通过配合吸盘，通过增加盒体底部与放置平面的吸附力，避免拿取晶圆片的过程中，盒体发生倾倒和晃动，大大提升了光罩盒使用的便捷性，同时有利于节省晶圆片的转运时间，通过改进传统的翻盖为侧滑盖，可优化盒体顶部两端的受力，规避了传统翻盖式上盖易使盒体两端受力不平衡而倾倒的问题。上盖易使盒体两端受力不平衡而倾倒的问题。上盖易使盒体两端受力不平衡而倾倒的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆转运光罩盒


[0001]本技术涉及半导体
，具体为一种晶圆转运光罩盒。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]此外，在半导体产业中，光罩在制程上扮演非常重要的角色。光罩又名掩膜板，是印刻有特定图案的特殊透光材料，光罩盒是用于转运、移动、存储晶圆掩膜版的盒体，通常为黄褐色塑料透明盒。
[0004]现有的一种晶圆转运光罩盒的结构简单，且缺乏定位设施，在取用晶圆掩膜板时盒体容易倾翻，影响掩膜板的取用速度，基于此，本技术设计了一种晶圆转运光罩盒，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆转运光罩盒，以解决上述
技术介绍
中提出的一种晶圆转运光罩盒缺乏定位设施，在取用晶圆掩膜板时盒体容易倾翻，影响掩膜板的取用速度的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆转运光罩盒，包括盒体，所述盒体的侧面卡接有配重管，盒体的底部四端角处分别固定有支撑杆，支撑杆的底部分别胶合连接有吸盘，盒体的顶部开设有限位槽，限位槽的内部活动贯穿卡接有移动座，移动座的顶部连接有侧滑盖，盒体的内部安装有具有缓冲作用的晶圆片托承组件。
[0007]优选的，所述配重管是具有弹性的实心硅胶管，用于盒体的配重和侧壁的防撞保护，配重管包括对称的几字型管部。
[0008]优选的，所述侧滑盖为对称设置，两个所述侧滑盖的顶部分别一体成型有防滑棱。
[0009]优选的，所述具有缓冲作用的晶圆片托承组件包括支撑垫、限位杆以及与限位杆贯穿的缓冲弹簧，限位杆和缓冲弹簧的底部均与所述支撑垫连接，缓冲弹簧的顶部固定连接有托承板。
[0010]优选的，所述限位杆设置有两对，两对所述限位杆的顶部均固定连接有防溜滑球，防溜滑球的直径至少为限位杆横截面直径的两倍。
[0011]优选的，所述托承板的两端开设有凹陷，托承板的顶部固定有定位框。
[0012]优选的，所述定位框的内部适配卡接有晶圆片。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014](1)本技术的配重管用于盒体的配重，提升盒体放置及使用状态下的稳定性，同时通过配合吸盘，通过增加盒体底部与放置平面的吸附力，避免拿取晶圆片的过程中，盒体发生倾倒和晃动，大大提升了光罩盒使用的便捷性，同时有利于节省晶圆片的转运时间，
通过改进传统的翻盖为侧滑盖，可优化盒体顶部两端的受力，规避了传统翻盖式上盖易使盒体两端受力不平衡而倾倒的问题；
[0015](2)本技术托承板两端的凹陷，便于手指部拿取晶圆片，定位框可对晶圆片进行限位，防止转运、移动盒体的过程中，晶圆片在盒体的内部发生滑动和碰壁。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术一种晶圆转运光罩盒的立体结构图；
[0018]图2为本技术一种晶圆转运光罩盒的盒体内部结构图；
[0019]图3为本技术一种晶圆转运光罩盒的正视图；
[0020]图4为本技术一种晶圆转运光罩盒图3的A
‑
A剖视图；
[0021]图5为本技术一种晶圆转运光罩盒的底部视角结构图；
[0022]图6为本技术一种晶圆转运光罩盒图2的俯视图。
[0023]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0024]1、盒体；2、配重管；201、几字型管部；3、支撑杆；4、吸盘；5、侧滑盖；501、防滑棱；502、移动座；6、支撑垫；7、限位杆；701、防溜滑球；8、托承板；801、凹陷；802、定位框；9、限位槽；10、晶圆片；11、缓冲弹簧。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
‑
图6，本技术提供技术方案：一种晶圆转运光罩盒，包括盒体1，盒体1为塑料盒，盒体1的侧面卡接有配重管2，配重管2是具有弹性的实心硅胶管，用于盒体1的配重和侧壁的防撞保护，盒体1的底部四端角处分别固定有支撑杆3，支撑杆3的底部分别胶合连接有吸盘4，吸盘4为塑胶吸盘，盒体1的顶部两端开设有限位槽9，限位槽9的内部活动贯穿卡接有移动座502，移动座502与限位槽9的接触面为阻尼接触，移动座502的顶部连接有侧滑盖5，盒体1的内部安装有具有缓冲作用的晶圆片托承组件，具有缓冲作用的晶圆片托承组件包括支撑垫6、限位杆7以及与限位杆7贯穿的缓冲弹簧11，支撑垫6为圆柱型的橡胶台，限位杆7和缓冲弹簧11的底部均与支撑垫6连接，缓冲弹簧11的顶部固定连接有托承板8，限位杆7设置有两对，两对限位杆7的顶部均固定连接有防溜滑球701，防溜滑球701的直径至少为限位杆7横截面直径的两倍，托承板8的两端开设有凹陷801，托承板8的顶部固定有定位框802，定位框802的内部适配卡接有晶圆片10；
[0027]其中，配重管2用于盒体1的配重，提升盒体1放置及使用状态下的稳定性，同时通过配合吸盘4，通过增加盒体1底部与放置平面的吸附力，避免拿取晶圆片10的过程中，盒体
1发生倾倒和晃动，大大提升了光罩盒使用的便捷性，同时有利于节省晶圆片10的转运时间，通过改进传统的翻盖为侧滑盖5，可优化盒体1顶部两端的受力，规避了传统翻盖式上盖易使盒体1两端受力不平衡而倾倒的问题，通过设置具有缓冲作用的晶圆片托承组件，一方面，缓冲弹簧11可吸收盒体1内受到的冲击力，降低晶圆片10碎裂的风险，保护晶圆片10的存储，另一方面，托承板8通过连接缓冲弹簧11具有在竖直方向的移动自由度，便于减小取放晶圆片10时晶圆片10表面所受到的压力，有利于提升晶圆片10的保护强度，托承板8两端的凹陷801，便于手指部拿取晶圆片10，定位框802可对晶圆片10进行限位，防止转运、移动盒体1的过程中，晶圆片10在盒体1的内部发生滑动和碰壁。
[0028]请参见图1
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图6，配重管2包括对称的几字型管部201，侧滑盖5为对称设置，两个侧滑盖5的顶部分别一体成型有防滑棱501；
[0029]其中，几字型管部201与盒体1的侧壁形成有空隙，因此，几字型管部201可作为提手，便于移动盒体1，防滑棱501用于防止手指部打滑，便于侧滑盖5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆转运光罩盒，包括盒体(1)，其特征在于：所述盒体(1)的侧面卡接有配重管(2)，盒体(1)的底部四端角处分别固定有支撑杆(3)，支撑杆(3)的底部分别胶合连接有吸盘(4)，盒体(1)的顶部开设有限位槽(9)，限位槽(9)的内部活动贯穿卡接有移动座(502)，移动座(502)的顶部连接有侧滑盖(5)，盒体(1)的内部安装有具有缓冲作用的晶圆片托承组件。2.根据权利要求1所述的一种晶圆转运光罩盒，其特征在于：所述配重管(2)是具有弹性的实心硅胶管，用于盒体(1)的配重和侧壁的防撞保护，配重管(2)包括对称的几字型管部(201)。3.根据权利要求1所述的一种晶圆转运光罩盒，其特征在于：所述侧滑盖(5)为对称设置，两个所述侧滑盖(5)的顶部分别一体成型有防滑棱(501)。4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李德平，强音，
申请(专利权)人：德赢创新上海半导体设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：