一种LED晶舟的散热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制备技术领域，具体涉及一种LED晶舟的散热装置，所述基座上表面开设用于放置晶舟的放置槽；所述放置槽的槽底开设多个散热通孔；所述座脚设置在基座底面；所述把手设置在基座的侧面。本实用新型专利技术的有益效果在于：所述座脚将基座架设在工作桌面上方，所述放置槽的槽底开设的多个散热通孔使晶舟趋近于悬空在工作桌面，这避免了晶舟上下温差。工作人员可手持所述LED晶舟的散热装置的把手将晶舟转运到其他地方，避免造成晶舟碰撞掉落的问题。掉落的问题。掉落的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种LED晶舟的散热装置


[0001]本技术涉及半导体制备
，具体涉及一种LED晶舟的散热装置。

技术介绍

[0002]在LED芯片领域，在LED芯片的电极蒸镀后，为了增加电极中金属层之间、金属层(电极)与氮化镓及ITO之间的欧姆接触，需要对LED芯片进行退火工艺。
[0003]所述退火工艺是将LED芯片(也称为晶片)放置在晶舟，将晶舟转移到扩散炉250
‑
300℃高温腔体中。一段时间后将晶舟取出，放置在工作桌面上进行散热。
[0004]但是由于晶片垂直放置于晶舟内，高温下的晶片会因晶舟放置于防静电不绣钢的工作桌面上，造成晶片的上下温差，进而造成晶片内裂隐患。并且晶舟通常是使用叉子插入晶舟上的晶舟孔来转移的，晶片散热后晶舟温度较高，还是需要使用叉子将晶舟转运到其他地方，因此存在晶舟碰撞及掉落的风险。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是：提供一种LED晶舟的散热装置，避免晶片散热时造成晶片的上下温差，避免晶舟碰撞及掉落的风险。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术采用的一种技术方案为：一种LED晶舟的散热装置，包括基座、座脚和把手；所述基座上表面开设用于放置晶舟的放置槽；所述放置槽的槽底开设多个散热通孔；所述座脚设置在基座底面；所述把手设置在基座的侧面。
[0007]进一步地，多个所述散热通孔均匀设在放置槽槽底，相邻的所述散热通孔之间的间距小于散热通孔直径。
[0008]进一步地，所述放置槽的槽底铺设有铝箔纸，所述铝箔纸上设有对应散热通孔的通孔。
[0009]进一步地，所述铝箔纸设有两层，每层所述铝箔纸厚度为0.05
‑
0.09mm。
[0010]进一步地，所述放置槽的槽深小于晶舟高度，所述放置槽的槽体的竖直截面呈梯形。
[0011]本技术的有益效果在于：工作人员使用叉子将晶舟从扩散炉的高温腔体中叉出，放置在放置槽内；所述座脚将基座架设在工作桌面上方，所述放置槽的槽底开设的多个散热通孔使晶舟趋近于悬空在工作桌面，避免工作桌面与晶舟传热，晶舟趋近于统一与空气传热，这避免了晶舟上下温差。
[0012]晶舟在工作桌面上散热一段时间后，工作人员可手持所述LED晶舟的散热装置的把手将晶舟转运到其他地方，避免使用叉子将晶舟长距离转移，造成晶舟碰撞掉落的问题。
附图说明
[0013]图1为本技术具体实施方式的一种LED晶舟的散热装置的整体结构俯视图；
[0014]图2为本技术具体实施方式的一种LED晶舟的散热装置的整体结构正视图；
[0015]标号说明：
[0016]1、基座；11、放置槽；111、散热通孔；
[0017]2、座脚；3、把手。
具体实施方式
[0018]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0019]本技术提供一种LED晶舟的散热装置，包括基座、座脚和把手；所述基座上表面开设用于放置晶舟的放置槽；所述放置槽的槽底开设多个散热通孔；所述座脚设置在基座底面；所述把手设置在基座的侧面。
[0020]由上描述可知，本技术的有益效果在于：工作人员使用叉子将晶舟从扩散炉的高温腔体中叉出，放置在放置槽内；所述座脚将基座架设在工作桌面上方，所述放置槽的槽底开设的多个散热通孔使晶舟趋近于悬空在工作桌面，避免工作桌面与晶舟传热，晶舟趋近于统一与空气传热，这避免了晶舟上下温差。
[0021]晶舟在工作桌面上散热一段时间后，工作人员可手持所述LED晶舟的散热装置的把手将晶舟转运到其他地方，避免使用叉子将晶舟长距离转移，造成晶舟碰撞掉落的问题。
[0022]进一步地，多个所述散热通孔均匀设在放置槽槽底，相邻的所述散热通孔之间的间距小于散热通孔直径。
[0023]由上描述可知，上述设置限定了放置槽的槽底镂空形成散热通孔的面积大于槽底用于支撑晶舟的结构的面积，这使晶舟更趋近于悬空在工作桌面上，避免了晶舟的上下温差。
[0024]进一步地，所述放置槽的槽底铺设有铝箔纸，所述铝箔纸上设有对应散热通孔的通孔。
[0025]由上描述可知，所述铝箔纸提高晶舟散热效率，避免晶舟上出现温差。
[0026]进一步地，所述铝箔纸设有两层，每层所述铝箔纸厚度为0.05
‑
0.09mm。
[0027]由上描述可知，在上方的第一层铝箔纸容易损坏，下方的第二层铝箔纸起到兜底作用，工作人员可时常更换第一层铝箔纸；所述铝箔纸的厚度可调整铝箔纸的导热系数。
[0028]进一步地，所述放置槽的槽深小于晶舟高度，所述放置槽的槽体的竖直截面呈梯形。
[0029]由上描述可知，“所述放置槽的槽深小于晶舟高度”方便晶舟放入放置槽，因为晶舟截面呈梯形，故而设置放置槽的槽体截面呈梯形适配晶舟，使晶舟在放置槽内的放置更稳固。
[0030]本技术提供的LED晶舟的散热装置的应用背景为：当晶舟散热容易出现上下温差时，以及晶舟不方便转运时。
[0031]实施例一
[0032]请参照图1
‑
2，一种LED晶舟的散热装置，包括基座1、座脚2和把手3；所述基座1上表面开设用于放置晶舟的放置槽11；所述放置槽11的槽底开设多个散热通孔111；所述座脚2设置在基座1底面；所述把手3设置在基座1的侧面。
[0033]所述放置槽11的槽底铺设有铝箔纸，所述铝箔纸上设有对应散热通孔111的通孔。
[0034]所述铝箔纸设有两层，每层所述铝箔纸厚度为0.05
‑
0.09mm。
[0035]本技术提供的LED晶舟的散热装置的使用及原理：
[0036]晶舟(带着晶片)在扩散炉的高温炉腔退火后，工作人员使用叉子插着晶舟的晶舟孔，将晶舟转运到所述LED晶舟的散热装置的放置槽中；因为座脚将基座与工作桌面隔开一定距离，放置槽的槽底设有多个散热通孔，故而晶舟趋近于悬空在工作桌面上，并使晶舟上各部分趋近于全由空气的传导而散热；因此避免了晶舟的上下温差。
[0037]晶舟在散热一段时间后，工作人员手持把手搬运所述LED晶舟的散热装置，将晶舟转运到其他地方。
[0038]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED晶舟的散热装置，其特征在于，包括基座、座脚和把手；所述基座上表面开设用于放置晶舟的放置槽；所述放置槽的槽底开设多个散热通孔；所述座脚设置在基座底面；所述把手设置在基座的侧面。2.根据权利要求1所述的LED晶舟的散热装置，其特征在于，多个所述散热通孔均匀设在放置槽槽底，相邻的所述散热通孔之间的间距小于散热通孔直径。3.根据权利要求1所述的LED晶舟的散热...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪加添，黄秀兰，黄家柳，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：