本实用新型专利技术提供一种组合环体和堆叠式热场装置，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中，所述热场装置包括一组合环体，所述组合环体由两层弧形组合片圆周向排列堆叠，两个轴向相邻堆叠的所述弧形组合片的弧形侧部的对应的位置分别开设一连接凹槽，两个所述连接凹槽插合连接；所述连接凹槽的一个槽壁宽度小于所述弧形组合片的宽度。本实用新型专利技术的堆叠式热场装置，能够有效解决拉力对堆叠式热场装置形成破坏的问题，有效提高热场装置的可靠性。有效提高热场装置的可靠性。有效提高热场装置的可靠性。
【技术实现步骤摘要】
一种组合环体和堆叠式热场装置
[0001]本技术涉及单晶硅或多晶硅的制造过程中的一种热场装置，具体涉及一种采用碳纤维复合材料制作的组合环体和堆叠式热场装置。
技术介绍
[0002]在单晶硅的制作中，目前普遍采用直拉法(CZ法)，就是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。在现有技术设备中，有些热场装置是碳纤维复合材料制作的，例如保温筒或碳碳坩埚，其中碳碳坩埚是用来承载内部的石英坩埚的。在使用过程中，随着单晶硅生长的晶体直径越来越粗，相应的单晶炉的直径也越做越大，这样对热场装置的可靠性也要求越来越高。
[0003]专利号201320560012.0公开了一种碳纤维复合坩埚采用拼合方式、卯榫结构设计，来解决单晶炉内热场装置的直径越做越大的问题，但是平铺的结构造成弧形组合片结合强度不足，在拉力影响下会产生坩埚结构不稳定的问题，请参见图1现有热场装置的环部拼接示意图，螺栓40插设连接平铺的弧形组合片11，平铺的弧形组合片11的结构造成弧形组合片结合强度不足。
[0004]因此，现有技术的热场装置的拼合结构还有提升的地方。
技术实现思路
[0005]针对上述缺陷，本技术的目的是提供一种组合环体和堆叠式热场装置，热场装置例如保温筒或坩埚，能够有效解决拉力对弧形组合片形成的结构不稳定问题，以解决现有技术的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采用了以下的技术方案：
[0007]一种组合环体，用于堆叠式热场装置，其特征在于，所述组合环体由两层弧形组合片圆周向排列堆叠，两个轴向相邻堆叠的所述弧形组合片的弧形侧部的对应的位置分别开设一连接凹槽，两个所述连接凹槽插合连接；所述连接凹槽的一个槽壁宽度小于所述弧形组合片的宽度。
[0008]一种堆叠式热场装置，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中，所述热场装置为坩埚，所述热场装置包括多个组合环体和埚底，所述组合环体由两层弧形组合片圆周向排列堆叠，所述弧形组合片平行于热场装置底部圆周向排列堆叠，两个轴向相邻堆叠的所述弧形组合片的弧形侧部的对应的位置分别开设一连接凹槽，两个所述连接凹槽插合连接；所述连接凹槽的一个槽壁宽度小于所述弧形组合片的宽度；或者，所述热场装置为保温筒，所述热场装置包括组合环体和面板，所述组合环体由两层弧形组合片圆周向排列堆叠，所述弧形组合片平行于热场装置底部圆周向排列堆叠，两个轴向相邻堆叠的所述弧形组合片的弧形侧部的对应的位置分别开设一连接凹槽，两个所述连接凹槽插合连接；所述连接凹槽的一个槽壁宽度小于所述弧形组合片的宽度。
[0009]依照本新型较佳实施例所述的堆叠式热场装置，所述弧形组合片开设圆周向的组
合通孔，连接销子设置在上下相邻的两所述弧形组合片的所述组合通孔中。
[0010]本申请的设计思想为：在热场装置(例如坩埚、保温筒)的弧形组合片之间设置连接结构形成组合环体，例如，弧形组合片弧形侧边的凹凸结构，或者是弧形组合片两端的阶梯结构，增加弧形组合片的拼合强度，在拉力对弧形组合片产生影响时避免对热场装置形成破坏。
[0011]由于采用了以上的技术使得本技术相比现有技术，具有以下的优点和积极效果：
[0012]第一、本申请的堆叠式热场装置，能够有效解决拉力对热场装置形成破坏的问题，有效提高热场装置的可靠性；
[0013]第二、本申请的热场装置使用寿命更长，节约企业成本。
[0014]当然，实施本申请内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部的技术效果。
附图说明
[0015]图1为现有热场装置的环部拼接示意图；
[0016]图2为本申请一种堆叠式热场装置的组合环体拼接示意图；
[0017]图3为本申请一种堆叠式热场装置的示意图；
[0018]图4为本申请另一种堆叠式热场装置的示意图；
[0019]图5为本申请另外一种堆叠式热场装置的组合环体拼接示意图；
[0020]图6为本申请又另一种堆叠式热场装置的示意图；
[0021]图7为本申请再另一种堆叠式热场装置的示意图。
具体实施方式
[0022]以下结合附图对本新型的几个优选实施例进行详细描述，但本新型并不仅仅限于这些实施例。本新型涵盖任何在本新型的精髓和范围上做的替代、修改以及方案。为了使公众对本新型有彻底的了解，在以下本新型优选实施例中详细说明了具体的细节，而对本领域技术人员来说没有这些细节的描述也可以完全理解本新型。
[0023]以下结合附图，具体说明本申请。
[0024]本申请的一种堆叠式热场装置的组合环体拼接示意图如图2所示，所述组合环体由两层弧形组合片圆周向排列堆叠，所述弧形组合片平行于热场装置底部圆周向排列堆叠，两个轴向相邻堆叠的所述弧形组合片的弧形侧部的对应的位置分别开设一连接凹槽，两个所述连接凹槽插合连接；所述连接凹槽的一个槽壁宽度小于所述弧形组合片的宽度；另外，为了保证堆叠的稳固，插入后，槽壁和对应的凹槽紧密连接。
[0025]如图2所示，本申请实施例中，热场工作时外力的受力面是在所述弧形组合片的弧形凹部，上方的为上弧形组合片61，下方的为下弧形组合片62，在所述上弧形组合片61的弧形凸部开设一上连接凹槽611，在所述下弧形组合片62的弧形凹部开设一下连接凹槽621，堆叠时，两个槽壁插入对应的凹槽中，也就是所述上连接凹槽611的槽壁插入所述下连接凹槽621中，而所述下连接凹槽621的槽壁插入所述上连接凹槽611中，为了保证堆叠的稳固，插入后，两个槽壁和对应的凹槽的槽底紧密贴合，并且在外力作用时不会拆解。
[0026]如图2所示，所述弧形组合片开设圆周向的组合通孔63，连接销子(图未示)设置在上下相邻的两所述弧形组合片的所述组合通孔63中，在这种卡合堆叠方式下，可以采用没有螺纹的连接销子作为连接件，一样可以保证连接强度，又可以减少成本；另外，两个组合环体堆叠时，所述弧形组合片开设圆周向的堆叠通孔(图未示)，连接销子设置在上下相邻的两组合环体的所述弧形组合片的所述堆叠通孔中，在这种卡合堆叠方式下，两个相邻的组合环体依此设计逐步堆叠直至满足热场装置的要求，例如坩埚的埚邦的高度，或者保温筒环箍的高度。
[0027]本实施例中组合环体可应用于单晶硅或多晶硅制造领域的堆叠式热场装置。当所述热场装置为坩埚时，如图3，多个组合环体堆叠形成埚邦，埚邦与设置在其下的埚底组成坩埚；当所述热场装置为保温筒时，如图4，所述热场装置包括多个组合环体和面板，多个组合环体堆叠形成环箍，面板设置在上下两组环箍之间形成保温筒。
[0028]本申请的另一种堆叠式热场装置的组合环体拼接示意图如图5所示，所述组合环体由一层弧形组合片50圆周向排列堆叠，所述弧形组合片50平行于热场装置底部圆周向排列堆叠，两个圆周向相邻堆叠的所述弧形组合片50的端部的对应的位置分别开设一连接阶梯51，两个所述连接阶梯51叠合连接。本实施例中，右侧的所述连接阶梯51从上面堆叠在左侧的所述连接阶梯51上，但是不能用来限制本申请，例如左侧的所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种组合环体，用于堆叠式热场装置，其特征在于，所述组合环体由两层弧形组合片圆周向排列堆叠，两个轴向相邻堆叠的所述弧形组合片的弧形侧部的对应的位置分别开设一连接凹槽，两个所述连接凹槽插合连接；所述连接凹槽的一个槽壁宽度小于所述弧形组合片的宽度。2.一种堆叠式热场装置，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中，其特征在于，所述热场装置为坩埚，所述热场装置包括多个组合环体和埚底，所述组合环体由两层弧形组合片圆周向排列堆叠，所述弧形组合片平行于热场装置底部圆周向排列堆叠，两个轴向相邻堆叠的所述弧形组合片的弧形侧部的对应的位置分别开设一连接凹槽，...
【专利技术属性】
技术研发人员：申富强，申富胜，张晶，牛龙祥，
申请(专利权)人：上海骐杰碳素材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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