MOCVD加热片固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种MOCVD加热片固定装置，属于包装设备技术领域，包括顶盖和底座，顶盖和底座固定连接形成封闭结构，底座上设有定位件，底座上设有缓冲层一，顶盖上与缓冲层一对应位置设有缓冲层二，底座和顶盖形成封闭结构，避免外力干扰，底座内的定位件用于限制MOCVD加热片的移动，避免MOCVD加热片在本装置内移动，缓冲层一和缓冲层二能很好的起到缓震、吸能的作用，避免在运输中因震动而产生裂纹或变形，解决了MOCVD加热片在运输中受到外力而出现裂纹、变形的问题。变形的问题。变形的问题。

【技术实现步骤摘要】
MOCVD加热片固定装置


[0001]本技术属于包装设备
，具体涉及一种MOCVD加热片固定装置。

技术介绍

[0002]金属有机物化学气相沉积Metal Organic Chemical Vapor Deposition，简称MOCVD，是制备混合半导体器件、金属及金属氧化物、金属氮化物薄膜材料的一种芯片外延技术，加热系统是MOCVD设备的重要组成部分，它能否快速、均匀的加热衬底，直接影响着薄膜沉积的质量、厚度一致性，以及芯片的性能，MOCVD加热片是加热系统的核心部分，其主要作用是提供稳定、均匀的热源，MOCVD加热片的工作温度高，通常采用难容钨、铼等难容金属制备而成，其厚度通常在1mm左右，由于MOCVD加热片厚度较薄、结构为中空，并且钨合金具有一定脆性，MOCVD加热片在包装运输中经常出现裂纹、变形等问题，因此有必要提供一种用于包装运输的MOCVD加热片固定装置，避免在运输中出现裂纹、变形等问题。

技术实现思路

[0003]本技术提供了MOCVD加热片固定装置，解决了现有技术中MOCVD加热片在包装运输中经常出现裂纹、变形的问题。
[0004]根据本技术的一个方面，本申请提供了MOCVD加热片固定装置，包括顶盖和底座，顶盖和底座固定连接形成封闭结构，底座上设有定位件，定位件用于限制MOCVD加热片的移动，底座上设有缓冲层一，顶盖上与缓冲层一对应位置设有缓冲层二。
[0005]进一步的，底座嵌入顶盖内部，底座与顶盖通过螺钉固定连接，底座和顶盖的横截面为圆形。
[0006]进一步的，定位件包括定位柱一和定位柱二，定位柱一的数量为一个，位于底座的圆心处，定位柱二的数量为两个，对称分布在定位柱一上方左右两侧。
[0007]进一步的，缓冲层二上设有容纳槽，容纳槽与定位件的位置相对应。
[0008]进一步的，缓冲层一和缓冲层二的材质为海绵，定位柱一和定位柱二的材质为橡胶。
[0009]技术效果：
[0010]本技术提供的MOCVD加热片固定装置，底座嵌入顶盖内并通过螺钉固定连接在一起，形成封闭结构，避免了外力干扰；底座内设有定位件，定位件用于限制MOCVD加热片的移动，避免因MOCVD加热片在本装置内移动而造成裂纹或变形的现象，底座上设有缓冲层一，顶盖上与缓冲层一对应位置设有缓冲层二，缓冲层一和缓冲层二能起到缓震、吸能的作用，避免在运输中因震动而产生裂纹或变形，综上所述，本技术提供了内部设有缓冲层和定位件的固定装置，解决了MOCVD加热片在运输中受到外力而出现裂纹、变形的问题。
附图说明
[0011]图1：本技术中MOCVD加热片的俯视图；
[0012]图2：本技术中底座的俯视图；
[0013]图3：图2中A
‑
A方向的剖视图；
[0014]图4：本技术中顶盖的剖视图；
[0015]图5：本技术中底座与MOCVD加热片装配的俯视图。
[0016]附图标记：顶盖1、底座2、缓冲层一3、缓冲层二4、螺钉孔5、通孔6、定位柱一7、定位柱二8、容纳槽9。
具体实施方式
[0017]为更进一步阐述本技术为实现预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
[0018]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不是用于描述特定的顺序或先后次序，应当理解这样使用的术语在适当情况下可以互换。
[0019]需要说明的是，在本申请中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本技术。
[0020]根据图1所示，MOCVD加热片外轮廓为圆形，左右对称，内部包含多个对称分布的空隙。
[0021]实施例
[0022]根据图2、图3和图4所示，MOCVD加热片固定装置包括顶盖1和底座2，顶盖1和底座2固定连接形成封闭结构，底座2上设有定位件，定位件用于限制MOCVD加热片的移动，底座2上设有缓冲层一3，顶盖1上与缓冲层一3对应位置设有缓冲层二4。
[0023]具体的，底座2和顶盖1的横截面为圆形，底座2嵌入顶盖1内部，底座2与顶盖1通过螺钉固定连接，底座2上均匀分布有四个螺钉孔5，顶盖1上与螺钉孔5位置相对处设有用于通过螺钉的通孔6。
[0024]具体的，定位件包括定位柱一7和定位柱二8，定位柱一7的数量为一个，位于底座2的圆心处，定位柱一7的截面为圆形，其直径大小与MOCVD加热片中心处的间隙孔最窄处相同，定位柱二8的数量为两个，对称分布在定位柱一7上方左右两侧，定位柱二的截面也为圆形，其直径大小与MOCVD加热片中心处上方的两个对称的间隙孔最窄处相同，定位柱二8与定位柱一7形成三角形，能限制MOCVD加热片在底座2上的移动。
[0025]具体的，缓冲层二4上设有容纳槽9，容纳槽9与定位件的位置相对应，用于在底座2嵌入顶盖1时容纳定位件。
[0026]具体的，缓冲层一3和缓冲层二4的材质为海绵，缓冲层一3粘接在底座2上，缓冲层二4粘接在顶盖1上，缓冲层一3和缓冲层二4的截面均为圆形且直径大小相同，缓冲层一3和缓冲层二4能够起到很好的缓震吸能作用，在底座2未嵌入顶盖1时，缓冲层一3、缓冲层二4和MOCVD加热片的厚度之和为A，在底座2嵌入顶盖1时，缓冲层一3的底面与缓冲层二4的顶面之间的距离为B，A大于B，这样在底座2嵌入顶盖1时，缓冲层二4能将MOCVD加热片压紧在
缓冲层一3上，对MOCVD加热片起到保护作用，定位柱一7和定位柱二8的材质为橡胶，具有一定弹性。
[0027]在具体使用中，将MOCVD加热片套在定位柱一7和定位柱二8上，并放置在缓冲层一3上，然后将顶盖1盖在底座2上并将顶盖1上的通孔6与底座2上螺钉孔5对齐，用螺钉将顶盖1与底座2固定连接，这样MOCVD加热片就被保护在本装置内，受限于定位柱一7和定位柱二8，MOCVD加热片在本装置内无法移动，定位柱一7和定位柱二8的材质为橡胶，能起到缓震作用，缓冲层二4将MOCVD加热片压紧在缓冲层一3上，缓冲层一3和缓冲层二4能对MOCVD加热片起到一定的保护作用。
[0028]以上所述，仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，虽然本技术已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本技术，任何本领域技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本技术技术方案内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.MOCVD加热片固定装置，其特征在于，包括顶盖和底座，顶盖和底座固定连接形成封闭结构，底座上设有定位件，定位件用于限制MOCVD加热片的移动，底座上设有缓冲层一，顶盖上与缓冲层一对应位置设有缓冲层二。2.根据权利要求1所述的MOCVD加热片固定装置，其特征在于，底座嵌入顶盖内部，底座与顶盖通过螺钉固定连接，底座和顶盖的横截面为圆形。3.根据权利要求2所述的MOCVD加热片固定装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张雪风，郭雅俊，陈亚光，李帅方，张泽洋，念雯雯，
申请(专利权)人：丰联科光电洛阳股份有限公司，
类型：新型
国别省市：