图形的形成方法、图形形成装置以及器件的制造方法制造方法及图纸

一种图形形成方法，通过在基板（１１）上配置液体材料的液滴来形成线性膜图形（Ｗ１）、（Ｗ２），在基板（１１）上排列设定多个形成膜图形的图形形成区域（Ｒ１）、（Ｒ２），在多个图形形成区域（Ｒ１）、（Ｒ２）中，设定从膜图形的线宽方向侧部形成的第１图形形成区域（Ｒ１）、和从膜图形的线宽方向中央部形成的第２图形形成区域（Ｒ２），在第１、第２图形形成区域（Ｒ１）、（Ｒ２）中分别配置液滴，形成膜图形（Ｗ１）、（Ｗ２）。根据本发明专利技术的图形形成方法，在从多个排列的喷出喷嘴中分别喷出液滴来形成膜图形时，即使膜图形间距在设计值上进行各种变更也可高效形成膜图形。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种通过在基板上配置液体材料的液滴来形成膜图形的图形形成方法和图形形成装置、器件的制造方法、导电膜布线、光电装置及电子机器。
技术介绍
以前，多将光刻法用作半导体集成电路等具有细微布线图形(膜图形)的器件的制造方法，但使用液滴喷出法的器件的制造方法被注目。该液滴喷出法具有液体材料的浪费少，容易进行配置在基板上的液体材料的量或位置的控制等优点。下述专利文献中公开了关于液滴喷出法的技术。专利文献1特开平11-274671号公报专利文献2特开2000-216330号公报但是，布线图形的布线间距对应于制造的器件而进行各种变更。一方面，在液滴喷出法中，从具有以规定间距排列的喷出喷嘴的液滴喷出头向基板喷出液滴。因此，即使在设计值上对布线图形的布线间距进行各种变更，也必需由1个液滴喷出头高喷出量地形成布线图形。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种在从具有排列多个的喷出喷嘴的液滴喷出头分别喷出液滴来形成膜图形时，即使图形间距在设计值中进行各种变更也可高效形成膜图形的图形形成方法及图形形成装置、器件的制造方法。另外，本专利技术的目的在于通过高喷出量制造布线图形来提供对成本有利的导电膜布线、光电装置及使用其的电子机器。为了解决上述问题，本专利技术的图形形成方法通过在基板上配置液体材料的液滴来形成膜图形，其特征在于在所述基板上排列设定多个形成所述膜图形的图形形成区域，在所述多个图形形成区域中，设定从所述膜图形的侧部形成的第1图形形成区域、和从所述膜图形的中央部形成的第2图形形成区域，在所述第1、第2图形形成区域中分别配置所述液滴，形成所述膜图形。根据本专利技术，在多个排列的图形形成区域中分别配置液滴来形成例如具有规定线宽的膜图形时，在第1图形形成区域中从侧部形成膜图形，在第2图形形成区域中从中央部形成膜图形，换言之，基板上的液滴配置顺序(膜图形的各部的形成位置顺序)在每个图形形成区域中设定的不同，所以即使液滴喷出头的喷出喷嘴间距与制造的图形间距不同，也可在各第1、第2图形形成区域中高效形成膜图形。即，在喷嘴间距与图形间距各不相同的情况下，若对全部膜图形都以相同的液滴配置顺序来配置液滴，则多个喷出喷嘴中不喷出液滴的状态(喷出休止状态、配置休止状态)的喷出喷嘴的数量增加，导致低喷出量。但是，通过使液滴配置顺序对各图形形成区域不同，即对第1图形形成区域从侧部开始形成，对第2图形形成区域从中央部开始形成，所以即使喷嘴间距与图形间距各不相同，也能降低喷出休止状态的喷出喷嘴的数量，实现高喷出量。在本专利技术的图形形成方法中，其特征在于具有大致同时向所述第1、第2图形形成区域分别配置所述液滴的工序。根据本专利技术，即使喷嘴间距与图形间距不同，也可通过变更喷出喷嘴与基板的相对位置，产生第1及第2图形形成区域的位置与多个喷出喷嘴位置一致的状态。因此，通过在所述状态下在第1及第2图形形成区域中分别同时配置液滴，可实现高喷出量化。在本专利技术的图形形成方法中，其特征在于具有在所述第1、第2图形形成区域的任一方中配置所述液滴的工序。根据本专利技术，即使喷嘴间距与图形间距不同，也可通过变更喷出喷嘴与基板的相对位置，产生第1及第2图形形成区域之一的位置与喷出喷嘴位置一致的状态。因此，通过在所述状态下在与喷出喷嘴的位置一致的第1及第2图形形成区域之一中配置液滴，可抑制喷出休止状态的喷出喷嘴的数量，实现喷出量化。在本专利技术的图形形成方法中，其特征在于在所述第1图形形成区域中，在形成所述侧部后，形成中央部，在所述第2图形形成区域中，在形成所述中央部后，形成侧部。根据本专利技术，因为第1、第2图形形成区域中液滴配置顺序分别各不相同，所以即使喷嘴间距与图形间距不同，也可通过在与喷出喷嘴位置一致的第1、第2图形形成区域中配置液滴，降低喷出休止状态的喷出喷嘴的数量，实现喷出量化。另外，通过在第1、第2图形形成区域中分别形成中央部及侧部，可形成宽幅的布线图形，可形成有利于电传导的膜图形。在本专利技术的图形形成方法中，其特征在于对应于所述第1、第2图形形成区域，分别设置多个配置所述液滴的喷出部，边沿所述图形形成区域的排列方向移动所述喷出部，边配置所述液滴。根据本专利技术，分别对应于多个排列的图形形成区域来设置喷出部(喷出喷嘴)，边移动该喷出部边配置液滴，所以可在短时间内形成多个膜图形(布线图形)。在本专利技术的图形形成方法中，其特征在于具有形成于所述第1图形形成区域中的第1膜图形的一方侧部的工序；在形成所述第1膜图形的另一侧部的同时、形成在所述第2图形形成区域中形成的第2膜图形的中央部的工序；和在形成所述第1膜图形的中央部的同时、形成所述第2膜图形的一方及另一方的任一侧部的工序。根据本专利技术，可在第1、第2图形形成区域中分别高效形成宽幅的膜图形。本专利技术的图形形成方法通过在基板上配置液体材料的液滴来形成膜图形，其特征在于具有第1工序，在所述基板上排列形成多个所述膜图形时，形成所述多个膜图形中第1膜图形的第1区域；第2工序，在形成所述第1膜图形的第2区域的同时，形成第2膜图形的第1区域；和第3工序，在形成所述第1膜图形的第3区域的同时，形成所述第2膜图形的第2区域。根据本专利技术，因为在形成第1膜图形与第2膜图形时，将形成位置顺序、即液滴配置顺序设定成各不相同的顺序，所以可抑制喷出休止状态的喷出喷嘴的数量，可实现高喷出量化。在本专利技术的图形形成方法中，其特征在于具有在所述第3工序后形成所述第2膜图形的第3区域的第4工序。根据本专利技术，可分别宽幅形成第1及第2膜图形，可形成有利于电传导的膜图形。在本专利技术的图形形成方法中，其特征在于所述液体材料是包含导电性微粒子的液状体。由此可形成具有导电性的布线图形。本专利技术的图形形成装置具备在基板上配置液体材料的液滴的液滴喷出装置，由所述液滴来形成膜图形，其特征在于所述液滴喷出装置从侧部形成在预先排列设定在所述基板上的、形成所述膜图形的多个图形形成区域中的、第1图形形成区域中形成的第1膜图形，从中央部形成第2图形形成区域中形成的第2膜图形。另外，本专利技术的图形形成装置具备在基板上配置液体材料的液滴的液滴喷出装置，由所述液滴在所述基板上形成多个膜图形，其特征在于所述液滴喷出装置在形成第1膜图形的第1区域后，形成所述第1膜图形的第2区域，同时，形成第2膜图形的第1区域，接着，形成所述第1膜图形的第3区域，同时，形成第2膜图形的第2区域。根据本专利技术，即使喷嘴间距与图形间距各不相同，也可减少喷出休止状态的喷出喷嘴的数量，可实现高喷出量化。本专利技术的器件制造方法是一种具有布线图形的器件的制造方法，其特征在于具有材料配置工序，通过对多个排列设定在所述基板上、形成所述布线图形的图形形成区域分别配置液体材料的液滴，形成所述布线图形，所述材料配置工序设定所述多个图形形成区域中、从所述布线图形的侧部形成的第1图形形成区域、和从所述布线图形的中央部形成的第2图形形成区域，在所述第1、第2图形形成区域中分别配置所述液滴，形成所述布线图形。另外，本专利技术的器件制造方法是一种具有布线图形的器件的制造方法，其特征在于具有材料配置工序，通过在基板上配置液体材料的液滴，形成多个布线图形，所述材料配置工序具有第1工序，形成所述多个布线图形中第1布线图形的第1区域；第2工序，在形成所述第1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图形形成方法，通过在基板上配置液体材料的液滴来形成膜图形，其特征在于，在所述基板上排列设定多个形成所述膜图形的图形形成区域，在所述多个图形形成区域中，设定从所述膜图形的侧部形成的第１图形形成区域、和从所述膜图形的中央部形成的第２ 图形形成区域，在所述第１、第２图形形成区域中分别配置所述液滴，形成所述膜图形。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：平井利充，长谷井宏宣，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]