一种单晶硅棒的冷冻机组制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶硅棒生产技术领域，尤其为一种单晶硅棒的冷冻机组，包括压盘，所述折管顶端固定设置有分流管，所述分流管左右两端内侧之间固定设置有圆嵌管，所述顶盘底端固定设置有冷却水泵，所述折管左右两端内部固定设置有凹型套管，所述冷却水泵左端与凹型套管固定连通设置，所述筒箱中层承板内部嵌合固定设置有电磁阀以及循环水泵，所述电磁阀以及循环水泵顶端固定设置有T型腔管，所述T型腔管顶部左右两端内侧之间固定连通设置有黄铜套管，所述筒箱内部设置有储水，本实用新型专利技术通过筒箱、环腔壳、顶盘、折管、分流管、圆嵌管、冷却水泵、凹型套管、电磁阀、循环水泵以及T型腔管起到对单晶炉的循环冷却的功能。到对单晶炉的循环冷却的功能。到对单晶炉的循环冷却的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒的冷冻机组


[0001]本技术涉及单晶硅棒生产
，具体为一种单晶硅棒的冷冻机组。

技术介绍

[0002]单晶硅棒的拉晶生产过程中，冷却机组装置的作用一是保护单晶炉体结构不受高温影响发生变形，二是可根据工艺需要降低单晶硅棒温度和调整热系统温度，为了提高长晶阶段的长晶速度，冷却单晶硅料的部位(水冷套、副室等)的冷却水温度越低越好。
[0003]然而传统的单晶炉冷却机组，常采用单一腔管导路对单晶炉所有部位进行单路水冷却，包括对外壳冷却和对水进行冷却，外壳冷却主要通过将外壳分为两层，且在两层之间的空腔循环内直接导入冷却水，易导致炉体壁面因冷热交换差较大产生形变，影响装置的使用寿命。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种单晶硅棒的冷冻机组，以解决上述
技术介绍
中提出的常采用单一腔管导路对单晶炉所有部位进行单路水冷却，包括对外壳冷却和对水进行冷却，外壳冷却主要通过将外壳分为两层，且在两层之间的空腔循环内直接导入冷却水，易导致炉体壁面因冷热交换差较大产生形变，影响装置的使用寿命的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种单晶硅棒的冷冻机组，包括压盘，所述压盘底端固定设置有筒箱，所述压盘顶端固定设置有环腔壳，所述环腔壳顶端固定设置有顶盘，所述环腔壳左右两端内部嵌合固定设置有折管，所述折管顶端固定设置有分流管，所述分流管左右两端内侧之间固定设置有圆嵌管，所述顶盘底端固定设置有冷却水泵，所述折管左右两端内部固定设置有凹型套管，所述冷却水泵左端与凹型套管固定连通设置，所述筒箱中层承板内部嵌合固定设置有电磁阀以及循环水泵，所述电磁阀以及循环水泵顶端固定设置有T型腔管，所述T型腔管顶部左右两端内侧之间固定连通设置有黄铜套管，所述筒箱内部设置有储水。
[0007]优选的，所述折管、分流管以及凹型套管均有两个，所述顶盘竖向中轴线为对称分布位置的两侧。
[0008]优选的，所述顶盘、圆嵌管以及黄铜套管相互呈平行设置，所述圆嵌管左右两端设置的分流管与折管的端面呈垂向设置。
[0009]优选的，所述冷却水泵底部固定设置的管道与凹型套管底部固定设置的管道均位于储水水平面的底部15
‑
20CM处。
[0010]优选的，所述电磁阀底部固定设置的管道末端与循环水泵底部固定设置的管道末端均与外部冷却水源槽连通设置。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]本技术中，通过设置的压盘、筒箱、环腔壳、顶盘、折管、分流管、圆嵌管、冷却水泵、凹型套管、电磁阀、循环水泵、T型腔管、黄铜套管以及储水，折管、分流管以及圆嵌管
为对单晶炉的固定式包覆冷却结构，通过多腔管的间隔分布起到对炉体壁面的缓释热交换，通过冷却水泵底部固定设置的管道向储水进行抽取并增压导排，通过对称设置的凹型套管、折管、分流管以及圆嵌管起到对储水的管腔流动，其中位于右侧的凹型套管底部管道为排水口，其中电磁阀以及循环水泵与外部冷却水源槽连通设置，以解决上述提出的常采用单一腔管导路对单晶炉所有部位进行单路水冷却，包括对外壳冷却和对水进行冷却，外壳冷却主要通过将外壳分为两层，且在两层之间的空腔循环内直接导入冷却水，易导致炉体壁面因冷热交换差较大产生形变，影响装置的使用寿命的问题。
附图说明
[0013]图1为本技术的整体结构示意图；
[0014]图2为本技术环腔壳剖面结构示意图；
[0015]图3为本技术筒箱剖面结构示意图；
[0016]图4为本技术图2的A处结构示意图；
[0017]图5为本技术黄铜套管分布结构示意图。
[0018]图中：1
‑
压盘、2
‑
筒箱、3
‑
环腔壳、4
‑
顶盘、5
‑
折管、6
‑
分流管、7
‑
圆嵌管、8
‑
冷却水泵、9
‑
凹型套管、10
‑
电磁阀、11
‑
循环水泵、12
‑
T型腔管、13
‑
黄铜套管、14
‑
储水。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
5，本技术提供一种技术方案：
[0021]一种单晶硅棒的冷冻机组，包括压盘1，压盘1底端固定设置有筒箱2，压盘1顶端固定设置有环腔壳3，环腔壳3顶端固定设置有顶盘4，环腔壳3左右两端内部嵌合固定设置有折管5，折管5顶端固定设置有分流管6，分流管6左右两端内侧之间固定设置有圆嵌管7，顶盘4底端固定设置有冷却水泵8，折管5左右两端内部固定设置有凹型套管9，冷却水泵8左端与凹型套管9固定连通设置，筒箱2中层承板内部嵌合固定设置有电磁阀10以及循环水泵11，电磁阀10以及循环水泵11顶端固定设置有T型腔管12，T型腔管12顶部左右两端内侧之间固定连通设置有黄铜套管13，筒箱2内部设置有储水14。
[0022]如图1、2以及5所示，通过设置的压盘1、筒箱2、环腔壳3、顶盘4、折管5、分流管6、圆嵌管7、冷却水泵8、凹型套管9、电磁阀10、循环水泵11、T型腔管12、黄铜套管13以及储水14，折管5、分流管6以及圆嵌管7为对单晶炉的固定式包覆冷却结构，通过多腔管的间隔分布起到对炉体壁面的缓释热交换，通过冷却水泵8底部固定设置的管道向储水14进行抽取并增压导排，通过对称设置的凹型套管9、折管5、分流管6以及圆嵌管7起到对储水14的管腔流动，其中位于右侧的凹型套管9底部管道为排水口，其中电磁阀10以及循环水泵11与外部冷却水源槽连通设置，其中折管5、分流管6以及凹型套管9均有两个，顶盘4竖向中轴线为对称分布位置的两侧；顶盘4、圆嵌管7以及黄铜套管13相互呈平行设置，圆嵌管7左右两端设置的分流管6与折管5的端面呈垂向设置；冷却水泵8底部固定设置的管道与凹型套管9底部固
定设置的管道均位于储水14水平面的底部15
‑
20CM处；电磁阀10底部固定设置的管道末端与循环水泵11底部固定设置的管道末端均与外部冷却水源槽连通设置。
[0023]工作流程：本技术在使用时折管5、分流管6以及圆嵌管7均为黄铜材质的管道，且折管5、分流管6以及圆嵌管7为对单晶炉的固定式包覆冷却结构，通过冷却水泵8底部固定设置的管道向储水14进行抽取并增压导排，通过对称设置的凹型套管9、折管5、分流管6以及圆嵌管7起到对储水14的管腔流动，其中位于右侧的凹型套管9底部管道为排水口，形成水冷内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒的冷冻机组，包括压盘(1)，其特征在于：所述压盘(1)底端固定设置有筒箱(2)，所述压盘(1)顶端固定设置有环腔壳(3)，所述环腔壳(3)顶端固定设置有顶盘(4)，所述环腔壳(3)左右两端内部嵌合固定设置有折管(5)，所述折管(5)顶端固定设置有分流管(6)，所述分流管(6)左右两端内侧之间固定设置有圆嵌管(7)，所述顶盘(4)底端固定设置有冷却水泵(8)，所述折管(5)左右两端内部固定设置有凹型套管(9)，所述冷却水泵(8)左端与凹型套管(9)固定连通设置，所述筒箱(2)中层承板内部嵌合固定设置有电磁阀(10)以及循环水泵(11)，所述电磁阀(10)以及循环水泵(11)顶端固定设置有T型腔管(12)，所述T型腔管(12)顶部左右两端内侧之间固定连通设置有黄铜套管(13)，所述筒箱(2)内部设置有储水(14)。...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱旭东，史浩洪，马斌，陶建涛，
申请(专利权)人：吉木萨尔县嘉瑞宇邦半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：