本发明专利技术构思提供了一种基板处理设备，包括：外壳，具有用于处理基板的处理空间；支撑单元，配置为在处理空间处支撑基板；喷嘴，用于向放置在支撑单元上的基板供应液体；液体供应单元，配置为将液体供应到喷嘴并且具有流量计；和流速测量单元，配置为验证流量计的错误；和控制器，用于控制液体供应单元和流速测量单元，流速测量单元包括：杯，用于容纳液体；测量装置，配置为验证容纳在杯中液体的液位；排出管线，用于排出杯内的液体且在排出管线上安装有排出阀，控制器控制液体供应单元以在所述排出阀闭合的状态下在第一时间内将第一量的液体排出到杯，且控制测量装置以通过确定容纳在杯中的液体的液位是否为第一量来确定流量计中是否发生了错误。中是否发生了错误。中是否发生了错误。
【技术实现步骤摘要】
基板处理设备和用于使用其来验证流量计的错误的方法
[0001]在本文中描述的本专利技术构思的实施例涉及具有用于在基板上供应液体的液体供应单元的基板处理设备以及使用该基板处理设备的流量计错误验证方法。
技术介绍
[0002]半导体制造过程包括通过将液体供应到基板上来处理基板的液体处理过程。当使用液体来处理基板时，必须根据每个过程的配方以固定量喷洒液体。为此，在将液体供应到基板的液体供应单元中设置用于测量液体的流速的流量计。
[0003]然而，如果流量计中发生错误，则存在以下问题：即使流量计被设置为供应固定量，也不会向基板供应预设量。
[0004]为了解决这个问题，操作员目视检查从流量计排出的液体的流速，但难以检查固定量，花费大量时间来测量流速，并且难以自动存储数据。
[0005]为了解决这个问题，通过测量液体的重量来计算排出液体的流速，但反映液体特性的计算工作是必要的，这花费时间和成本以供操作员安装用于测量液体重量的装备。
技术实现思路
[0006]本专利技术构思的实施例提供了基板处理设备和使用该基板处理设备以用于准确地测量流量计的错误的流量计错误验证方法。
[0007]本专利技术构思的技术目的不限于上述目的，并且根据以下描述，其他未提及的技术目的对于本领域技术人员而言将变得显而易见。
[0008]本专利技术构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：外壳，所述外壳具有处理空间，该处理空间用于在其中处理基板；支撑单元，所述支撑单元被配置为在所述处理空间处支撑所述基板；喷嘴，所述喷嘴用于向放置在所述支撑单元上的基板供应液体；液体供应单元，所述液体供应单元被配置为将所述液体供应到所述喷嘴并且具有流量计；以及流速测量单元，所述流速测量单元被配置为验证所述流量计的错误；以及控制器，所述控制器用于控制所述液体供应单元和所述流速测量单元，并且其中所述流速测量单元包括：杯，所述杯用于容纳所述液体；测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及排出管线，所述排出管线用于排出在所述杯内的所述液体并且在该排出管线上安装有排出阀，并且其中所述控制器控制所述液体供应单元以便在所述排出阀闭合的状态下在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯，并且控制所述测量装置以通过确定容纳在所述杯中的所述液体的所述液位是否为所述第一量来确定所述流量计中是否发生了错误。
[0009]在一个实施例中，所述测量装置包括：辅助容器，所述辅助容器被设置成在所述杯的一侧与所述杯的内部空间连通；以及液位传感器，所述液位传感器设置在所述辅助容器中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
[0010]在一个实施例中，所述测量装置包括液位传感器，该液位传感器设置在所述杯上
方，以将光照射到容纳在所述杯处的所述液体的表面以检测所述液体的所述液位。
[0011]在一个实施例中，所述测量装置包括液位传感器，所述液位传感器被插入到所述杯的一侧中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
[0012]在一个实施例中，所述测量装置包括：第一管，所述第一管在第一高度处与所述杯连通；第二管，所述第二管在高于所述第一高度的第二高度处与所述杯连通；以及第三管，所述第三管与所述第一管和所述第二管连通；以及液位传感器，所述液位传感器设置在所述第三管内并且用于检测容纳在所述第三管中的所述液体的所述液位。
[0013]在一个实施例中，所述控制器还包括警报单元，所述警报单元用于在确定所述流量计中发生了错误的情况下生成警报。
[0014]在一个实施例中，流速测量单元设置在外壳内。
[0015]本专利技术构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：外壳，所述外壳具有处理空间，该处理空间用于在其中处理基板；支撑单元，所述支撑单元被配置为在所述处理空间处支撑所述基板；喷嘴，所述喷嘴用于向放置在所述支撑单元上的基板供应液体；液体供应单元，所述液体供应单元被配置为将所述液体供应到所述喷嘴并且具有流量计；以及流速测量单元，所述流速测量单元被配置为验证所述流量计的错误；以及控制器，所述控制器用于控制所述液体供应单元和所述流速测量单元，并且其中所述流速测量单元包括：杯，所述杯用于容纳所述液体；测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及排出管线，所述排出管线用于排出所述杯内的所述液体并且在所述排出管线上安装有排出阀，并且其中所述控制器控制所述液体供应单元以便在所述排出阀闭合的状态下在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯，并且通过对所述第一时间与所述测量装置所检测的容纳在所述杯中的所述液体的所述液位达到所述第一量的时间进行比较来确定所述流量计中是否发生了错误。
[0016]在一个实施例中，所述测量装置包括：辅助容器，所述辅助容器被设置成在所述杯的一侧与所述杯的内部空间连通；以及液位传感器，所述液位传感器设置在所述辅助容器中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
[0017]在一个实施例中，所述测量装置包括液位传感器，该液位传感器设置在所述杯上方，以将光照射到容纳在所述杯处的所述液体的表面以检测所述液体的所述液位。
[0018]在一个实施例中，所述测量装置包括液位传感器，所述液位传感器被插入到所述杯的一侧中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
[0019]在一个实施例中，所述测量装置包括：第一管，所述第一管在第一高度处与所述杯连通；第二管，所述第二管在高于所述第一高度的第二高度处与所述杯连通；以及第三管，所述第三管与所述第一管和所述第二管连通；以及液位传感器，所述液位传感器设置在所述第三管内并且用于检测容纳在所述第三管中的所述液体的所述液位。
[0020]在一个实施例中，所述控制器还包括警报单元，所述警报单元用于在确定所述流量计中发生了错误的情况下生成警报。
[0021]在一个实施例中，流速测量单元设置在外壳内。
[0022]本专利技术构思提供了一种用于使用流速测量单元来验证设置在液体供应单元处的流量计的错误的方法。所述流速测量单元包括：杯，所述杯用于容纳液体；测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及排出管线，所述排出管线用
于排出所述杯内的所述液体并且在所述排出管线上安装有排出阀，并且其中用于验证所述流量计的所述错误的所述方法包括：设置所述流量计的流速；以及通过在所述排出阀闭合的状态下由所述液体供应单元在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯并且通过由所述测量装置检测所述液体的所述液位来验证所述流量计的错误。
[0023]在一个实施例中，所述设置所述流量计的流速包括首先通过在所述排出阀闭合的状态下将已经实际测量的所述第一量的液体放入所述杯中来设置所述测量装置的设置位置。
[0024]在一个实施例中，用于验证流量计的错误的所述方法还包括基于确定在首先设置所述设置位置并且在所述排出阀闭合的所述状态下由液体供应单元在所述第一时间内将所述第一量的液体排出到所述杯之后由所述测本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板处理设备，包括：外壳，所述外壳具有处理空间，所述处理空间用于在其中处理基板；支撑单元，所述支撑单元被配置为在所述处理空间处支撑所述基板；喷嘴，所述喷嘴用于向放置在所述支撑单元上的基板供应液体；液体供应单元，所述液体供应单元被配置为将所述液体供应到所述喷嘴并且具有流量计；以及流速测量单元，所述流速测量单元被配置为验证所述流量计的错误；以及控制器，所述控制器用于控制所述液体供应单元和所述流速测量单元，并且其中所述流速测量单元包括：杯，所述杯用于容纳所述液体；测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及排出管线，所述排出管线用于排出在所述杯内的所述液体并且在所述排出管线上安装有排出阀，并且其中所述控制器控制所述液体供应单元以便在所述排出阀闭合的状态下在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯，并且控制所述测量装置以通过确定容纳在所述杯中的所述液体的所述液位是否为所述第一量来确定所述流量计中是否发生了错误。2.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括：辅助容器，所述辅助容器被设置成在所述杯的一侧与所述杯的内部空间连通；以及液位传感器，所述液位传感器设置在所述辅助容器中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。3.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括液位传感器，所述液位传感器设置在所述杯上方以便将光照射到容纳在所述杯处的所述液体的表面以检测所述液体的所述液位。4.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括液位传感器，所述液位传感器被插入到所述杯的一侧中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。5.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括：第一管，所述第一管在第一高度处与所述杯连通；第二管，所述第二管在高于所述第一高度的第二高度处与所述杯连通；以及第三管，所述第三管与所述第一管和所述第二管连通；以及液位传感器，所述液位传感器设置在所述第三管内并且用于检测容纳在所述第三管中的所述液体的所述液位。6.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述控制器还包括警报单元，所述警报单元用于在确定所述流量计中发生了错误的情况下生成警报。7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板处理设备，其中所述流速测量单元设置在所述外壳内。8.一种基板处理设备，包括：外壳，所述外壳具有处理空间，所述处理空间用于在其中处理基板；支撑单元，所述支撑单元被配置为在所述处理空间处支撑所述基板；
喷嘴，所述喷嘴用于向放置在所述支撑单元上的基板供应液体；液体供应单元，所述液体供应单元被配置为将所述液体供应到所述喷嘴并且具有流量计；以及流速测量单元，所述流速测量单元被配置为验证所述流量计的错误；以及控制器，所述控制器用于控制所述液体供应单元和所述流速测量单元，并且其中所述流速测量单元包括：杯，所述杯用于容纳所述液体；测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及排出管线，所述排出管线用于排出所述杯内的所述液体并且在所述排出管线上安装有排出阀，并且其中所述控制器控制所述液体供应单元以便在所述排出阀闭合的状态下在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯，并且通过对所述第一时间...
【专利技术属性】
技术研发人员：申俊浩，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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