本实用新型专利技术涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种平面阴极位置可调整的镀膜装置。一种平面阴极位置可调整的镀膜装置，包括：真空腔室、调节装置、锁紧装置、平面阴极；所述真空腔体包括阴极门框基座固定板、阴极门框侧板及阀门；所述阴极门框侧板设置于所述阴极门框基座固定板四周，形成半封闭腔室；所述阀门与所述阴极门框侧板的一边铰链连接，当所述阀门关闭时，与所述阴极门框侧板的另三边贴合，形成封闭腔室；所述调节装置通过所述阴极门框基座固定板上开设的导杆通孔，与所述平面阴极一侧固定连接；所述调节装置可控制所述平面阴极沿着所述阴极门框基座固定板至所述阀门之间的垂直方向位移；本实用新型专利技术通过调整装置和锁紧装置与平面阴极固定连接，并与真空腔室活动连接，使平面阴极的位置可调整。平面阴极的位置可调整。平面阴极的位置可调整。
【技术实现步骤摘要】
一种平面阴极位置可调整的镀膜装置
[0001]本技术涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种平面阴极位置可调整的镀膜装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程
的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上。在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，而在磁控溅射镀膜设备中，磁控溅射阴极尤为重要。目前普遍采用平面磁控溅射阴极(后简称“平面阴极”)或旋转磁控溅射阴极。
[0003]平面阴极因其轰击轨道和靶材均是固定设置的这一结构上设计的缺点，靶材沉积利用率非常低(小于20％)；尤其在使用一段时间后，靶材表面会形成“跑道状”溅射凹坑，不仅会破坏镀膜层的均匀性，严重影响后期镀膜的稳定性和均匀性；而且需要经常更换靶材，给连续生产带来了极大的不便且造成靶材不能充分利用的资源。
[0004]进一步地，在现阶段，依照各种不同工艺要求采用固定靶材来实现溅射镀膜，在不同产品要求中，固定靶满足不了曲面工艺而设计的可调间距。
技术实现思路
[0005]本技术提供一种平面阴极位置可调整的镀膜装置，从而可以改变平面阴极和靶材之间的距离，不仅可以适用于不同产品工艺的镀膜，也可以提高靶材的利用率。
[0006]一种平面阴极位置可调整的镀膜装置，包括：真空腔室、调节装置、锁紧装置、平面阴极；
[0007]所述真空腔体包括阴极门框基座固定板、阴极门框侧板及阀门；所述阴极门框侧板设置于所述阴极门框基座固定板四周，形成半封闭腔室；
[0008]所述阀门与所述阴极门框侧板的一边铰链连接，当所述阀门关闭时，与所述阴极门框侧板的另三边贴合，形成封闭腔室；
[0009]所述调节装置通过所述阴极门框基座固定板上开设的导杆通孔，与所述平面阴极一侧固定连接；所述调节装置可控制所述平面阴极沿着所述阴极门框基座固定板至所述阀门之间的垂直方向位移；
[0010]所述锁紧装置通过所述阴极门框基座固定板上开设的丝杆通孔，与所述平面阴极的一侧固定连接；当所述调节装置调整所述平面阴极的位置后，所述锁紧装置用于固定所
述平面阴极相对所述阴极门框基座固定板的位置；
[0011]所述平面阴极可移动的设置于所述真空腔室内。
[0012]进一步地，所述锁紧装置包括调节丝杆、设置于所述调节丝杆上并与之匹配的旋转螺母、丝杆固定件、第一绝缘法兰；
[0013]所述调节丝杆与所述平面阴极通过所述丝杆固定件固定连接；
[0014]所述第一绝缘法兰固定连接于所述平面阴极，与所述丝杆固定件处于一侧，并以跑道状环绕所述丝杆固定件外围；
[0015]所述旋转螺母设置于所述阴极门框基座固定板的外侧，所述旋转螺母上设有6个对称设置的螺母锁紧沉孔，所述阴极门框基座固定板上开设与所述螺母锁紧沉孔匹配的调节螺母锁紧孔，转动所述旋转螺母与所述阴极门框基座固定板贴紧，并用螺丝旋进所述螺母锁紧沉孔、所述调节螺母锁紧孔内，固定所述阴极门框基座固定板与所述平面阴极的距离；
[0016]所述调节装置包括调节导杆、设置于所述调节导杆上并与之匹配的导杆固定轴套、导杆固定件、第二绝缘法兰；
[0017]所述调节导杆与所述平面阴极通过所述导杆固定件固定连接；
[0018]所述第二绝缘法兰固定连接于所述平面阴极，与所述导杆固定件处于一侧，并以跑道状环绕所述导杆固定件外围；
[0019]所述导杆固定轴套嵌于所述导杆通孔，所述导杆固定轴套的外壁与所述导杆通孔固定连接；当所述锁紧装置卸下螺丝后，所述调节导杆可沿着轴向方向带动所述平面阴极来回移动。
[0020]进一步地，所述调节装置与所述锁紧装置还包括密封件，所述密封件包括波纹管及设置于两端的密封圈；所述波纹管分别环绕于所述调节丝杆与所述调节导杆外，一端的所述密封圈固定连接于所述阴极门框基座固定板的内侧，另一端的密封圈与所述第一绝缘法兰、第二绝缘法兰锁紧固定，使之与所述平面阴极固定连接。
[0021]进一步地，所述密封圈采用PI垫圈配合氟胶圈的组合方式。
[0022]进一步地，所述调节装置的数量设为4个，均匀分布在所述平面阴极的表面。
[0023]进一步地，所述真空腔室内包括至少两个所述平面阴极，并与之相匹配的调节装置和锁紧装置。
[0024]进一步地，所述平面阴极的上侧设有平面阴极水管，所述阴极门框基座固定板上开设有冷却水通孔，所述平面阴极水管一端固定连接于所述平面阴极，给所述平面阴极内部冷却；另一端通过所述冷却水通孔向外延伸，用于连接冷却水循环系统。
[0025]本方案的有益效果是：
[0026]本技术通过调整装置和锁紧装置与平面阴极固定连接，并与真空腔室活动连接，使平面阴极的位置可调整，从而可以根据不同的工艺要求调整平面阴极和靶材之间的距离，从而更好地适用于不同工艺要求的镀膜和提高靶材的利用率。
附图说明
[0027]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0028]图1为本技术实施例的镀膜装置的立体图示意图1；
[0029]图2为本技术实施例的镀膜装置的立体图示意图2；
[0030]图3为本技术实施例的平面阴极的立体图示意图1；
[0031]图4为本技术实施例的平面阴极的立体图示意图2；
[0032]图5为本技术实施例的阴极门框基座固定板的局部放大示意图；
[0033]附图标记说明：1.真空腔室；11.阴极门框基座固定板；111.导杆通孔； 112.丝杆通孔；113.冷却水通孔；114.调节螺母锁紧孔；12.阴极门框侧板； 13.阀门；14.阴极门框法兰；2.锁紧装置；21.调节丝杆；22.旋转螺母；221. 螺母锁紧沉孔；23.丝杆固定件；24.第一绝缘法兰；3.调节装置；31.调节导杆；32.导杆固定轴套；33.导杆固定件；34.第二绝缘法兰；4.平面阴极；5. 密封件；51.波纹管；52.密封圈；6.平面阴极水管。
具体实施方式
[0034]下面结合附图对本技术作进一步详细描述。
[0035]如图1所示，一种平面阴极4位置可调整的镀膜装置，包括：真空腔室1、调节装置3、锁紧装置2、平面阴极4；所述真空腔体包括阴极门框基座固定板 11、阴极门框侧板1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平面阴极位置可调整的镀膜装置，其特征在于，包括：真空腔室、调节装置、锁紧装置、平面阴极；所述真空腔体包括阴极门框基座固定板、阴极门框侧板及阀门；所述阴极门框侧板设置于所述阴极门框基座固定板四周，形成半封闭腔室；所述阀门与设置于所述阴极门框侧板边缘上的阴极门框法兰的一边铰链连接，当所述阀门关闭时，与所述阴极门框法兰的另三边贴合，形成封闭腔室；所述调节装置通过所述阴极门框基座固定板上开设的导杆通孔，与所述平面阴极一侧固定连接；所述调节装置可控制所述平面阴极沿着所述阴极门框基座固定板至所述阀门之间的垂直方向位移；所述锁紧装置通过所述阴极门框基座固定板上开设的丝杆通孔，与所述平面阴极的一侧固定连接；当所述调节装置调整所述平面阴极的位置后，所述锁紧装置用于固定所述平面阴极相对所述阴极门框基座固定板的位置；所述平面阴极可移动的设置于所述真空腔室内。2.根据权利要求1所述的一种平面阴极位置可调整的镀膜装置，其特征在于，所述锁紧装置包括调节丝杆、设置于所述调节丝杆上并与之匹配的旋转螺母、丝杆固定件、第一绝缘法兰；所述调节丝杆与所述平面阴极通过所述丝杆固定件固定连接；所述第一绝缘法兰固定连接于所述平面阴极，与所述丝杆固定件处于一侧，并以跑道状环绕所述丝杆固定件外围；所述旋转螺母设置于所述阴极门框基座固定板的外侧，所述旋转螺母上设有6个对称设置的螺母锁紧沉孔，所述阴极门框基座固定板上开设与所述螺母锁紧沉孔匹配的调节螺母锁紧孔，转动所述旋转螺母与所述阴极门框基座固定板贴紧，并用螺丝旋进所述螺母锁紧沉孔、所述调节螺母锁紧孔内，固定所述阴极门框基座固定板与所述平面阴极的距离；所述调节装置包括调节导杆、设置于所述调...
【专利技术属性】
技术研发人员：任燕飞，刘江，王群华，吉顺青，邵华吉，
申请(专利权)人：江苏繁华应材科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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