一种MOCVD充抽箱卡锁制造技术

一种MOCVD充抽箱卡锁，包括固定块和卡槽，固定块包括水平设置为的横块和竖直设置的纵块，纵块的下部设置有锁止部，锁止部卡入卡槽的下部完成锁止；纵块的上端与横块的中部固定连接，横块的两端分别设置有贯穿孔，贯穿孔内设置有调节螺丝；锁止部呈水平并列形式共设置有两组；纵块下端设置有通孔，通孔内部贯穿设置有连接杆，连接杆的两端分别以可旋转的方式连接有滚轮和外轴承，滚轮和外轴承分别位于纵块两侧，设置两个水平并排的锁止部，可以增加着力点均摊压力，有利于减少轴承磨损，尺寸设计间距变大可便于拆装轴承。计间距变大可便于拆装轴承。计间距变大可便于拆装轴承。

【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD充抽箱卡锁
[0001]
：
[0002]本技术涉及半导体设备
，更具体地说是一种MOCVD充抽箱卡锁。
[0003]
技术介绍
：
[0004]现有MOCVD中，待用的外延片需经过其装配的充抽箱后方能使用，以去除表面氧气及水汽含量，保证手套箱环境，其该设备配用的充抽箱为旋转轴承压锁，使用时盖下压板逆时针旋转两边把手使轴承滑入腔体外壁的卡槽，以达到锁定的目的，其会频繁开关盖子，现有缺陷：
[0005]1.充抽箱接触面密封圈使用时间久了会变扁，从而会使盖板锁死后出现松动现象，密压不紧，充抽过程中若在手套箱生产操作，碰到把手会误旋开压锁，有可能会造成漏气充抽失败，其高度调节只有内侧，调节比较困难，增加高度会导致轴承有所倾斜。
[0006]2.轴承频率较高且其尺寸较小，属易损配件，现有安装的连接固定块尺寸设计的间隙较小不容易拆卸，其只在中间位置有一颗轴承，着力点较少。轴承和卡槽滑块为金属直接接触，容易损坏轴承，长时间使用容易划伤接触面使之较涩，造成轴承滑不到位。
[0007]
技术实现思路
：
[0008]为解决上述问题，克服现有技术的不足，本技术提供了能使用方便、平衡轴承压力、减少损伤的MOCVD充抽箱卡锁。
[0009]为实现上述目的，本技术提供的一种MOCVD充抽箱卡锁，包括固定块和卡槽，固定块包括水平设置为的横块和竖直设置的纵块，纵块的下部设置有锁止部，锁止部卡入卡槽的下部完成锁止；纵块的上端与横块的中部固定连接，横块的两端分别设置有贯穿孔，贯穿孔内设置有调节螺丝。<br/>[0010]进一步的，锁止部呈水平并列形式共设置有两组。
[0011]进一步的，纵块下端设置有通孔，通孔内部贯穿设置有连接杆，连接杆的两端分别以可旋转的方式连接有滚轮和外轴承，滚轮和外轴承分别位于纵块两侧。
[0012]进一步的，纵块下端设置有阶梯状通孔，阶梯状通孔由内径较小的轴孔和内径较大的轴承槽相互连通而成，轴孔内部贯穿设置有连接轴，轴承槽内部设置有内轴承，连接轴的一端与内轴承以可旋转的方式连接，连接轴传出轴孔的另一端以可旋转的方式连接有滚轮。
[0013]进一步的，纵块侧面设置有与轴承槽贯通的顶丝孔，顶丝孔内设置有与顶丝孔啮合的顶丝，顶丝的一端穿入轴承槽并与内轴承接触。
[0014]进一步的，内轴承的厚度小于轴承槽的深度。
[0015]进一步的，还包括箱体和上盖，上盖上部设置有可旋转的把手，卡锁设置为把手下部，把手旋转至与卡槽的垂直投影面重叠时，滚轮滚动至卡槽下方完成锁止。
[0016]本技术的有益效果是：
[0017]本技术提供的MOCVD充抽箱卡锁具有使用方便、平衡轴承压力、减少损伤的优点。
[0018]改造增加了高度调节点，设置两个调节螺丝，更有利于调节连接轴承的金属块的
水平及高度，这样密封圈有稍微变扁，两边调节高度水平更容易。
[0019]设置两个水平并排的锁止部，可以增加着力点均摊压力，有利于减少轴承磨损，尺寸设计间距变大可便于拆装轴承。
[0020]设计内轴承直接嵌入金属固定块内，通过连接轴与内侧内轴承相连，这样应力会作用于内轴承上，避免了原来容易压坏轴承滚珠的问题，同时每组2个支撑点更有利于平衡，滚轮表面设置铁氟龙更耐磨且不容易刮花卡槽金属面，两组滚轮不容易误碰把手后滑开压锁。
[0021]附图说明：
[0022]附图1是本技术实施例一结构主视示意图；
[0023]附图2是本技术实施例一结构俯视示意图；
[0024]附图3是本技术实施例二结构主视示意图；
[0025]附图4是本技术实施例二结构俯视示意图；
[0026]附图中：1
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1、横块，1
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2、纵块，2、卡槽，3、滚轮，4、连接杆，5、调节螺丝，6、通孔，7、轴承槽，8、内轴承，9、顶丝孔，10、顶丝，11、连接轴，12、外轴承，13、轴孔。
[0027]具体实施方式：
[0028]为使本技术实施的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术的附图1~附图4，对本技术进行更加详细的描述。
[0029]本技术提供的MOCVD充抽箱卡锁，包括固定块和卡槽2，固定块包括水平设置为的横块1
‑
1和竖直设置的纵块1
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2，纵块1
‑
2的下部设置有锁止部，锁止部卡入卡槽2的下部完成锁止；纵块1
‑
2的上端与横块1
‑
1的中部固定连接，横块1
‑
1的两端分别设置有贯穿孔，贯穿孔内设置有调节螺丝5；锁止部呈水平并列形式共设置有两组；纵块1
‑
2下端设置有通孔6，通孔6内部贯穿设置有连接杆4，连接杆4的两端分别以可旋转的方式连接有滚轮3和外轴承12，滚轮3和外轴承12分别位于纵块1
‑
2两侧；纵块1
‑
2下端设置有阶梯状通孔，阶梯状通孔由内径较小的轴孔13和内径较大的轴承槽7相互连通而成，轴孔13内部贯穿设置有连接轴11，轴承槽7内部设置有内轴承8，连接轴11的一端与内轴承8以可旋转的方式连接，连接轴11传出轴孔13的另一端以可旋转的方式连接有滚轮3；纵块1
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2侧面设置有与轴承槽7贯通的顶丝孔9，顶丝孔9内设置有与顶丝孔9啮合的顶丝10，顶丝10的一端穿入轴承槽7并与内轴承8接触；内轴承8的厚度小于轴承槽7的深度；还包括箱体和上盖，上盖上部设置有可旋转的把手，卡锁设置为把手下部，把手旋转至与卡槽2的垂直投影面重叠时，滚轮3滚动至卡槽2下方完成锁止。
[0030]本技术的其中一种实施例如下：
[0031]包括箱体和上盖，上盖上部设置有可旋转的把手，卡锁设置为把手下部，把手旋转至与卡槽2的垂直投影面重叠时，滚轮3滚动至卡槽2下方完成锁止，此时上盖便不能再掀开。
[0032]MOCVD充抽箱卡锁，包括固定块和卡槽2，固定块包括水平设置为的横块1
‑
1和竖直设置的纵块1
‑
2，纵块1
‑
2的上端与横块1
‑
1的中部固定连接，形成T字型结构，上方沿用上盖原有固定螺丝孔洞对位打孔螺丝固定，横块1
‑
1内外两侧分别设计有调节螺丝5，用于水平调节及高度调节，纵向下方改用2颗轴承。
[0033]纵块1
‑
2的下部设置有锁止部，锁止部卡入卡槽2的下部完成锁止，锁止部呈水平
并列形式共设置有两组。
[0034]锁止部设置有两种结构，在实施例一中，纵块1
‑
2下端设置有通孔6，通孔6内部贯穿设置有连接杆4，连接杆4的两端分别以可旋转的方式连接有滚轮3和外轴承12，滚轮3和外轴承12分别位于纵块1
‑
2两侧，增加连轴孔13洞，用于均摊压力，减少损坏频率。
[0035]设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MOCVD充抽箱卡锁，其特征在于：包括固定块和卡槽，所述固定块包括水平设置为的横块和竖直设置的纵块，所述纵块的下部设置有锁止部，所述锁止部卡入卡槽的下部完成锁止；所述纵块的上端与横块的中部固定连接，所述横块的两端分别设置有贯穿孔，所述贯穿孔内设置有调节螺丝。2.根据权利要求1所述的MOCVD充抽箱卡锁，其特征在于：所述锁止部呈水平并列形式共设置有两组。3.根据权利要求1~2任一项所述的MOCVD充抽箱卡锁，其特征在于：所述纵块下端设置有通孔，所述通孔内部贯穿设置有连接杆，所述连接杆的两端分别以可旋转的方式连接有滚轮和外轴承，所述滚轮和外轴承分别位于纵块两侧。4.根据权利要求1~2任一项所述的MOCVD充抽箱卡锁，其特征在于：所述纵块下端设置有阶梯状通孔，所述阶梯状通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋辉，
申请(专利权)人：远山新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：