本发明专利技术是关于一种印刷焊锡检查装置，其使用两道光扫描印刷基板，以提升扫描效率。另一方面，防止两道光的光学特性差异所造成的对于测量值的影响。横跨焊锡被印刷的印刷基板上的扫描对象范围，利用偏向器，以相异的预定入射光接受光束Ａ与光束Ｂ的两道光，并将其偏向到前述对象范围方向，将光射出以进行扫描。此时，利用可变手段１ｃ，可以将光束Ａ与光束Ｂ的偏光与功率调整成相同。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种印刷焊锡检查装置，使光在印刷有检查对象物的焊锡的印刷基板上，进行偏向扫描，并且测量位移量，从测量检查焊锡等的形状，特别是涉及一种可以使用多数道光，一方面有效地进行偏向，同时还能够进行检查的一种技术。
技术介绍
一般在测量形状时，使用的是位移测量装置。已知的此种位移测量装置是以三角测量原理为依据，对测量对象物体的对象面的位移进行测量(例如，专利文件1)。图18显示的是对专利文件1进行变化之后的位移测量装置的结构斜视图。图18所示的位移测量装置大致上由投影光学系统(光学扫描系统)51与光接收系统55所构成。投影光学系统51大致由光源52、偏向器53与透镜54构成，以对测量对象物60进行照射。光源52是由例如雷射二极管等所构成，并对偏向器53射出光束。偏向器53，在图18的例子中采用了多角镜(polygon mirror)。多角镜在其圆盘状的周围具有多数个镜面部53a，藉由它的旋转，使从光源52入射的光束发生偏向，至少对包含测量对象物60的所要扫描对象范围(图19所示的H)进行扫描。在此种多角镜构成的偏向器53中，在一个镜面以一个光束对扫描对象范围进行单次单向扫描。透镜54将被偏向器53做扇形扫描的光束，收敛成平行状态。光接受系统55是由聚光透镜数组56、成像透镜57、光接收组件58(PSD(Position Sensitive Detector))所构成。聚光透镜56是由合成树脂或玻璃所形成，并且做成将彼此具有相等焦距f1(例如20mm)的多数个(图18显示出6个)聚光透镜部56a-56f并列成一列的方式。各聚光透镜部56a-56f中，与其光轴垂直的面是做成球面状，测量光可以沿着光轴周围被均匀地缩小。成像透镜57具有比照射点S的扫描宽度还大的直径，将来自聚光透镜56的光束收敛，并在光接受组件58的光接受面58a上成像。此种位移测量装置利用在偏向器53的X轴方向(主扫描方向)上扫描的光束，得到测量对象物60的Z轴方向的位移量。此时，藉由使测量台61在Y轴方向(副扫描方向)移动，可以获得再X-Y二次元位置的各照射点S的Z轴方向位移量。结果，得到三次元的距离数据，例如，可以测量被印刷的焊锡的形状。印刷焊锡检查装置从这种测量的数据，把形状再生，并且与预先准备的参考用的形状数据做比较，进行好坏的判断。接着，在前述传统的光扫描装置(投影光学系统51)中，如图19A～19C所示，做为偏向器53的多角镜在它旋转的时候，使入射到各镜面部53a的光束在所要的扫描对象范围H进行扫描。专利文件1特开2000-97631号公报(段落 - 、图4)但是，在上述的位移测量装置中，以一个镜面对扫描对象范围进行一次偏向扫描(一次主扫描)是无法利用在一个镜面部53a的所有偏向角(以一个镜面旋转可以偏向的角度范围)。因此，如图19D、19E所示，在一个镜面部53a被偏向扫描的光束会超出对象面60a的扫描对象范围H之外，被下一个镜面部53a所偏向扫描的光束到达下一个扫描对象范围H内为止的间隔便被拉开，故光束扫描会有变成不连续的问题。此外，在每个主扫描中，对测量对象物的下一个扫描对象范围进行副扫描，但这会有必须使副扫描的移动速度配合主扫描速度而不得不延迟的问题产生。作为解决上述问题的一种方法，可以考虑配合偏光方向将多角镜的镜面做窄并配置多个镜面的方式。但是，多角镜在制造上的精密度是有其限制的。而且，为了获得所要的扫描宽度，多角镜的多个镜面部必须要维持在一定的宽度，若再将其做成多面化，偏向器的大小会变大，结果造成装置的尺寸变大。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种印刷焊锡检查装置，通过有效利用偏向器的偏向角，来提高扫描的效率，进而改善检查速度。并且，作为谋求偏向器的有效利用而更提高扫描效率的达成手段，使多数道光以分别不同的入射角入射到偏向器。例如，如上所述，以一道光且一个镜面来对预定的扫描对象范围进行主扫描时，只能利用镜面的50％的时候，以与上述一道光不同的角度使其它光入射到偏向器，便可以用其它光利用剩下的50％的镜面，对扫描对象范围进行主扫描。此外，在进行一次主扫描时进行一次副扫描的话，使得检查装置整体上更加有效率。另一方面，如上述，若力图使用多数道光来增进扫描效率的话，此时因多道光具有的差异性而产生误差。例如，在一道光的主扫描的测量值与另一道光的主扫描的测量值之间会出现误差，这将有可能对印刷焊锡的形状检查带来不好的影响。本专利技术的另一目的是提供一种技术，用于维持测量的精度，并且以多数光扫描来改善扫描效率、进而达到改善检查速度的目的。换言之，本专利技术是提供一种技术，其以多道光来改善扫描效率，并且防止该些多道光的特性差异对测量值所造成的影响。为了解决上述课题，依据本专利技术的一实施形态，本专利技术提出一种印刷焊锡检查装置，其具备投射部(3)与受光部(8)。投射部(3)对横跨被焊锡印刷的印刷基板的预定的扫描对象范围，射出光并进行扫描，受光部(8)接受来自印刷基板的反射光，印刷焊锡检查装置用以检查该焊锡的印刷状态。上述投射部(3)包括光产生部(1)，用以出射M(多数)个光；偏向器(4)，以不同的入射角接受该些M个光，使往对象范围偏向，依序扫描印刷基板该扫描对象范围。为了解决上述课题，根据本专利技术其中之一实施形态，上述偏向器为多角镜，且沿着偏向器的周围具有N(多数)角状镜面，利用旋转进行扫描，并且以每360度/的不同入射角(β)，接受来自光产生部的该些光，并且以大致每360度/的旋转，依序对扫描对象范围进行扫描。为了解决上述课题，根据本专利技术其中之一实施形态，上述印刷焊锡检查装置更包括副扫描部(104)，藉由偏向器每旋转大致360度/(即β/2)，使投射部与该印刷基板相对于与扫描方向垂直的方向进行移动，以进行副扫描；以及形状再生部(105)，受光部根据利用偏光器的主扫描及利用副扫描部的副扫描的时序而输出的受光量以及受光位置，并基于根据受光量与受光位置所输出的电气信号，将印刷基板上的印刷焊锡的形状进行再生。为了解决上述课题，根据本专利技术其中之一实施形态，上述光产生部所射出的该些M道光为相同的偏光方向，且在印刷基板的被扫描的面上，设成有大致相同的功率。为了解决上述课题，根据本专利技术其中之一实施形态，前述M道光为两道光，且上述光产生部更包括一个光源(1a)，用以射出光；偏光分光部(1b)，将来自光源的光分光成由彼此互相垂直的偏光方向所构成的两道分光；第一偏光板(1d)，接受两道分光的其中之一，并设成与另一分光相同的偏光方向；以及第二偏光板(1c)，设置在光源与偏光分光部之间，在经过偏向器而投射的印刷基板的被扫描面上，将第一偏光板所输出的其中之一的分光及另一分光的功率调整成实质上为相同。为了解决上述课题，根据本专利技术其中之一实施型态，前述M道光为两道光，且前述光产生部更包括一个光源(1a)，用以射出光；偏光分光部(1b)，将来自光源的光分光成由彼此互相垂直的偏光方向所构成的两道分光；第一偏光板(1d)，接受两道分光的其中之一，并设成与另一分光相同的偏光方向；以及第三偏光板(1f)，接受两道分光的另一道分光，前述两道分光的其中之一，并且在经过偏向器而投射的印刷基板的被扫描面上，将两道分光的功率调整成实质上为相同。为了解决上述课题，根据本专利技术其中之一实施型本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种印刷焊锡检查装置，具备投射部（３）与受光部（８），前述投射部（３）对横跨被焊锡印刷的印刷基板的预定的扫描对象范围，射出光并进行扫描，前述受光部（８）接受来自前述印刷焊锡检查装置用以检查前述焊锡的印刷状态，其特征在于：前述投射部（ ３）还包括：光产生部（１），出射Ｍ（多数）个光；偏向器（４），以不同的入射角接受前述Ｍ个光，使往前述对象范围偏向，依序扫描前述印刷基板的前述扫描对象范围。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：益田纪彦，田下贵久，菅井雅也，
申请(专利权)人：安立株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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