本发明专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种匀胶显影集成式工作台。技术问题：提供一种能够将每个功能的模块集成起来的匀胶显影集成式工作台。为了解决上述技术问题，本发明专利技术包括有支撑架、工作台和上片组件等；工作台呈圆形并置于支撑架上，工作台沿周向开有多个功能模块安装口，上片组件位于其中一个功能模块安装口上，上片组件包括上片通道、上片架、上片托盘、卡杆和复位弹簧，该功能模块安装口外侧安装有上片通道，上片架滑动连接于上片通道上。本发明专利技术通过采用圆形的工作台循环形式进行匀胶、加热、冷却和显影的工艺过程，尽可能少的使用机械手运转晶圆，避免了多次传送晶圆导致的精度误差。误差。误差。
【技术实现步骤摘要】
一种匀胶显影集成式工作台
[0001]本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种匀胶显影集成式工作台。
技术介绍
[0002]匀胶显影机作为半导体生产中的关键生产设备，与光刻机进行联线生产，要求匀胶显影机具备产能高、占地面积小、维护方便、操作简便和可扩展功能大等特点。
[0003]目前，晶圆生产车间要求洁净度极高，设备的占地面积影响整个生产线的成本。现有匀胶显影机主要通过设置在模块间的机械手运转来实现晶圆在不同的工艺处理模块间传输的功能，占地面积一般较大，单个功能集成度高但整体模块分布较为复杂。晶圆匀胶显影过程中，易出现排队现象，同时在不同模块中进行多次传送，从而影响整体工艺精度。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术多功能模块分布复杂、集成度低，机械手在不同模块之间传送使工艺精度低的缺点，技术问题：提供一种能够将每个功能的模块集成起来的匀胶显影集成式工作台。
[0005]技术方案是：一种匀胶显影集成式工作台，包括有支撑架、工作台和上片组件，工作台呈圆形并置于支撑架上，工作台沿周向开有多个功能模块安装口，上片组件位于其中一个功能模块安装口上，上片组件包括上片通道、上片架、上片托盘、卡杆和复位弹簧，该功能模块安装口外侧安装有上片通道，上片架滑动连接于上片通道上，上片托盘放置于该功能模块安装口上，卡杆通过复位弹簧滑动连接于上片架上，卡杆与上片托盘卡接配合，工作台中央设有自动旋转组件和匀胶组件，其他的功能模块安装口上还分别安装有加热组件、下片组件和冷却装置。
[0006]可选地，匀胶组件包括有电动滑轨、滴胶管和支撑台，支撑台设于工作台中央，电动滑轨竖直设于支撑台上，滴胶管连接于电动滑轨的动子上且出口对准上片组件对应的功能模块安装口的中央。
[0007]可选地，自动旋转组件包括有转动架、限位挡杆、第一导向柱、弹片、传动架、推杆、扭力弹簧和压缩弹簧，转动架转动设于上，第一导向柱固定设于转动架中部，第一导向柱上开有滑道和螺纹，弹片插设于滑道的侧壁上，传动架活动设于第一导向柱上并与滑道、螺纹和弹片配合，传动架与支撑台滑动连接，压缩弹簧连接于传动架与支撑台之间，传动架与电动滑轨的动子接触配合，多根推杆横向设于转动架的轴周向并与，限位挡杆设于转动架的一侧并与支撑台接触配合。
[0008]可选地，加热组件包括有加热器、加热台、马达、传送皮带和分隔块，加热台设于加热组件所在的功能模块安装口下方，加热器设于加热台上，传送皮带转动设于加热台的一侧，马达设于加热台的一侧并驱动传送皮带，多个分隔块均匀间隔设于传送皮带上并与上片托盘接触配合。
[0009]可选地，还包括有传送组件，传送组件包括无杆气缸、转换架和第二导向柱，无杆
气缸设于支撑架内底部并位于加热台旁，转换架活动连接于无杆气缸的动子上，第二导向柱设于支撑架内底部并位于工作台中心正下方，转换架与第二导向柱螺纹配合。
[0010]可选地，冷却装置所在的功能模块安装口外侧设有光刻传送通道，光刻传送通道外侧连通有光刻机。
[0011]可选地，下片组件包括显影液喷管、下片通道和下片架，显影液喷管设于支撑架上且出口对准下片组件所在的功能模块安装口中心，下片通道设于下片组件所在的功能模块安装口外侧，下片架滑动设于下片通道上。
[0012]可选地，光刻传送通道上滑动设有传送架，传送架和下片架上也设有与上片架相同的卡杆，且卡杆与上片托盘配合的位置为圆头。
[0013]可选地，上片通道、下片通道和光刻传送通道上均设有对应的自动传送装置并驱动对用的上片架、下片架和传送架。
[0014]本专利技术的有益效果是：1、本专利技术通过采用圆形的工作台循环形式进行匀胶、加热、冷却和显影的工艺过程，尽可能少的使用机械手运转晶圆，避免了多次传送晶圆导致的精度误差。
[0015]2、加热台能够同时加热多个定心托盘配合，使传统工艺加热等待时间变为多个晶圆共同加热，大大减小整体匀胶显影机晶圆大批量加工的时间。
[0016]3、模块化和集成度更高。圆形工作台上可以设置四个或多个功能区域，以满足部分晶圆的后烘等特殊要求，可以根据特定的工艺要求来进行模块单元的搭配进行组合。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的立体结构示意图。
[0018]图2为本专利技术的部分立体结构示意图。
[0019]图3为本专利技术图2中A的放大图。
[0020]图4为本专利技术旋转组件的立体结构示意图。
[0021]图5为本专利技术第一导向柱的立体结构示意图。
[0022]图6为本专利技术加热组件和传送组件的立体结构示意图。
[0023]图7为本专利技术图6中B的放大图。
[0024]附图中的标记：01：晶圆，1：支撑架，2：工作台，20：功能模块安装口，3：上片组件，30：上片通道，31：上片架，32：上片托盘，33：卡杆，34：复位弹簧，4：匀胶组件，41：电动滑轨，42：滴胶管，43：支撑台，5：自动旋转组件，51：转动架，510：限位挡杆，52：第一导向柱，520：弹片，521：滑道，522：螺纹，53：传动架，54：推杆，55：扭力弹簧，56：压缩弹簧，6：加热组件，61：加热器，62：加热台，63：马达，64：传送皮带，65：分隔块，71：无杆气缸，72：转换架，73：第二导向柱，9：显影液喷管，90：下片通道，91：下片架，10：光刻机，100：光刻传送通道。
具体实施方式
[0025]以下参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0026]实施例1
[0027]一种匀胶显影集成式工作台，如图1
‑
7所示，包括有支撑架1、工作台2和上片组件3，工作台2呈圆形并置于支撑架1上，工作台2沿周向开有四个功能模块安装口20，上片组件
3位于其中一个功能模块安装口20上，上片组件3包括上片通道30、上片架31、上片托盘32、卡杆33和复位弹簧34，该功能模块安装口20外侧安装有上片通道30，上片架31滑动连接于上片通道30上，上片托盘32放置于该功能模块安装口20上，卡杆33有两个并通过复位弹簧34滑动连接于上片架31上，卡杆33与上片托盘32卡接配合，工作台2中央设有自动旋转组件5和匀胶组件4，其他的功能模块安装口20上还分别安装有加热组件6、下片组件和冷却装置。
[0028]匀胶组件4包括有电动滑轨41、滴胶管42和支撑台43，支撑台43设于工作台2中央，电动滑轨41竖直设于支撑台43上，滴胶管42连接于电动滑轨41的动子上且出口对准上片组件3对应的功能模块安装口20的中央。
[0029]自动旋转组件5包括有转动架51、限位挡杆510、第一导向柱52、弹片520、传动架53、推杆54、扭力弹簧55和压缩弹簧56，转动架51转动设于上，第一导向柱52固定设于转动架51中部，第一导向柱52上开有滑道521和螺纹522，弹片520插设于滑道521的侧壁上，且斜面向上平面向下，传动架53活动设于第一导向柱52上并与滑道521、螺纹522和弹片520配合，传本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种匀胶显影集成式工作台，包括有支撑架(1)、工作台(2)和上片组件(3)，其特征在于，工作台(2)呈圆形并置于支撑架(1)上，工作台(2)沿周向开有多个功能模块安装口(20)，上片组件(3)位于其中一个功能模块安装口(20)上，上片组件(3)包括上片通道(30)、上片架(31)、上片托盘(32)、卡杆(33)和复位弹簧(34)，该功能模块安装口(20)外侧安装有上片通道(30)，上片架(31)滑动连接于上片通道(30)上，上片托盘(32)放置于该功能模块安装口(20)上，卡杆(33)通过复位弹簧(34)滑动连接于上片架(31)上，卡杆(33)与上片托盘(32)卡接配合，工作台(2)中央设有自动旋转组件(5)和匀胶组件(4)，其他的功能模块安装口(20)上还分别安装有加热组件(6)、下片组件和冷却装置。2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影集成式工作台，其特征在于，匀胶组件(4)包括有电动滑轨(41)、滴胶管(42)和支撑台(43)，支撑台(43)设于工作台(2)中央，电动滑轨(41)竖直设于支撑台(43)上，滴胶管(42)连接于电动滑轨(41)的动子上且出口对准上片组件(3)对应的功能模块安装口(20)的中央。3.根据权利要求2所述的一种匀胶显影集成式工作台，其特征在于，自动旋转组件(5)包括有转动架(51)、限位挡杆(510)、第一导向柱(52)、弹片(520)、传动架(53)、推杆(54)、扭力弹簧(55)和压缩弹簧(56)，转动架(51)转动设于上，第一导向柱(52)固定设于转动架(51)中部，第一导向柱(52)上开有滑道(521)和螺纹(522)，弹片(520)插设于滑道(521)的侧壁上，传动架(53)活动设于第一导向柱(52)上并与滑道(521)、螺纹(522)和弹片(520)配合，传动架(53)与支撑台(43)滑动连接，压缩弹簧(56)连接于传动架(53)与支撑台(43)之间，传动架(53)与电动滑轨(41)的动子接触配合，多根推杆(54)横向设于转动架(51)的轴周向并与，限位挡杆(510)设于转动架(51)的一侧并与支撑台(43...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺武峰，朱林，叶乐志，
申请(专利权)人：江西维易科半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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