一种ITO旋转靶材成型装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种ITO旋转靶材成型装置，包括粉仓及设置在粉仓下方的支撑架，粉仓包括粉仓本体、密封组件及胶套，粉仓本体的两端分别设置有用于密封其上、下端口的密封组件，胶套设置在粉仓本体内，密封组件包括法兰盖、端盖及橡胶环，橡胶环套设在胶套的端部，端盖设置在橡胶环的外部用于密封粉仓本体的端口，法兰盖安装在端盖的外部，胶套的外部与粉仓本体的内壁之间形成用于压实粉料的压料仓，当对胶套充压后，胶套在压力的作用下进行膨胀进而对压料仓内的粉料进行压实成型，本专利大大提高了旋转靶材成型效率，提升得料率，并且提高外表面圆度，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种ITO旋转靶材成型装置


[0001]本技术涉及旋转靶材素胚压制
，具体涉及一种ITO旋转靶材成型装置。

技术介绍

[0002]靶管的种类是多样的，有金属管（钼靶管、钨靶管、铝靶管）和陶瓷管（ITO靶材、氧化铝靶材以及碳化硅靶材等等），靶管多采用粉末冶金的方法进行成型，烧制而成，而靶材成型基本上都是采用将粉粒装入聚氨酯模具中，然后将装好粉粒的模具放置冷等静压机或热等静压机进行压制成型。
[0003]采用冷等静压机或热等静压机进行旋转靶材素胚成型，首先是成型靶材外表面椭圆度，需要进行车削加工，容易造成开裂和得料率损失，以及工人劳动强度大，其次是冷等静压机成本加大，另外是运行成本较大，耗费大量人力，电费，液压油等。

技术实现思路

[0004]为了解决现有问题，本技术提供一种ITO旋转靶材成型装置，该装置采用内腔膨胀压缩技术进行旋转靶材成型，结构设计合理，操作简单，可以有效地代替冷等静压机以及成型模具等成型成本过大，大大提高了旋转靶材成型效率，提升得料率，并且提高外表面圆度，降低生产成本。
[0005]本技术为了解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种ITO旋转靶材成型装置，包括粉仓及设置在粉仓下方的支撑架，粉仓包括粉仓本体、密封组件及胶套，粉仓本体的两端分别设置有用于密封其上、下端口的密封组件，胶套设置在粉仓本体内，密封组件包括法兰盖、端盖及橡胶环，橡胶环套设在胶套的端部，端盖设置在橡胶环的外部用于密封粉仓本体的端口，法兰盖安装在端盖的外部，胶套的外部与粉仓本体的内壁之间形成用于压实粉料的压料仓，当对胶套充压后，胶套在压力的作用下进行膨胀进而对压料仓内的粉料进行压实成型。
[0006]进一步的，胶套包括皮囊及设置在皮囊内用于支撑皮囊的芯轴。
[0007]进一步的，芯轴为内部设有空腔的圆柱形壳体，壳体上开设有溢流孔。
[0008]进一步的，胶套的两端分别开设有进油孔和排油孔，进油孔通过进油管与液压站相连，排油孔的一端通过排油管与油箱相连。
[0009]进一步的，进油管的一端与进油孔相连，进油管的另一端穿出粉仓本体的一端后与液压站相连。
[0010]进一步的，排油管的一端与排油孔相连，排油管的另一端穿出粉仓本体的另一端后与油箱相连。
[0011]进一步的，法兰盖与粉仓本体通过螺栓相连。
[0012]本技术具有以下有益效果：
[0013]1.本专利可保证靶材外表面圆度在0.1~0.5mm的椭圆度，从而减少车削加工步骤，
靶材成型后，靶材外壁直接与硬金属贴合，改变原有靶材外壁与软质橡胶套贴合方式，从而得到椭圆度为0.1~0.5mm的靶材；
[0014]2.本专利可减少靶材素胚阶段开裂风险，因靶材成型后，传统工艺的素胚靶材椭圆度为1.5~3mm，外径椭圆度大，需要车削加工，现此工艺得到外进椭圆度为0.1~0.5mm的靶材素胚，不需要车削加工，素胚强度低，车削加工容易造成搬运开裂和加工过程开裂，本专利所得素胚不需要素胚加工，从而降低这方面风险；
[0015]3.本专利得料率得到提升，采用本方法得到的素胚，在素胚阶段不需要素胚加工，从而接近近净成型，使得料率提升15%左右。
附图说明
[0016]图1是本技术的结构示意图；
[0017]图2是本技术的成型装置与支撑架的结构示意图；
[0018]图示标记，1、法兰盖，2、端盖，3、橡胶环，4、胶套，5、螺栓，6、压料仓，7、芯轴，8、进油孔，9、排油孔，10、粉仓本体，11、支撑架。
具体实施方式
[0019]下面结合实施例附图和具体实施例对本技术做进一步具体详细的说明，但并不因此将本技术限制在所述的实施例范围之中。
[0020]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0021]一种ITO旋转靶材成型装置，包括粉仓及设置在粉仓下方的支撑架11，粉仓包括粉仓本体10、密封组件及胶套4，粉仓本体10的两端分别设置有用于密封其上、下端口的密封组件，胶套4设置在粉仓本体10内，胶套4包括皮囊及设置在皮囊内用于支撑皮囊的芯轴7，芯轴7为内部设有空腔的圆柱形壳体，壳体上开设有溢流孔。溢流孔均匀的分散在芯轴7上，这样当油压流入芯轴的空腔时，油可以通过溢流孔流出到皮囊与芯轴7间的间隙，从而使皮囊进行膨胀可以实现对压料仓6内的粉料进行压实的目的。
[0022]胶套4的两端分别开设有进油孔8和排油孔9，进油孔8通过进油管与液压站相连，排油孔9的一端通过排油管与油箱相连。进油管的一端与进油孔8相连，进油管的另一端穿出粉仓本体10的一端后与液压站相连；进油管穿过粉仓本体10的顶端后与液压站相连，进一步的，进油管的另一端依次穿过橡胶环3、端盖2、法兰盖1 与液压站相连；
[0023]排油管的一端与排油孔9相连，排油管的另一端穿出粉仓本体10的另一端后与油箱相连。排油管穿过粉仓本体10的底端后与油箱相连；进一步的，排油管的另一端依次穿过橡胶环3、端盖2、法兰盖1 与油箱站相连；
[0024]密封组件包括法兰盖1、端盖2及橡胶环3，橡胶环3套设在胶套4的端部用于对胶套4的外部与粉仓本体10间的间隙进行密封；端盖2设置在橡胶环3的外部用于密封粉仓本体10的端口，法兰盖1安装在端盖2的外部，法兰盖1与粉仓本体10通过螺栓5相连；胶套4的外部与粉仓本体10的内壁之间形成用于压实粉料的压料仓6，当对胶套4充压后，胶套4在压力
的作用下进行膨胀进而对压料仓6内的粉料进行压实成型。
[0025]工作流程：内压成型：操作现场行车将罐体吊放在支撑架11上，将粉仓本体10顶部的法兰盖1松开
→
取下法兰盖1，取出端盖2，再取出橡胶环3
→
装入粉状物料直到需要的量
→
再依次套入橡胶环3、端盖2，然后压紧法兰盖1
→
启动液压站
→
操作压紧，液压站对加压腔供油加压，胶套4在油压的作用下开始膨胀，逐渐将物料压实
→
当达到规定的压力和时间后，系统泄压
→
至此压缩过程结束。
[0026]制品取出：系统泄压后，扳动高压球阀将加压腔的油路接入油箱
→
依次拆除并取出法兰盖1、端盖2、橡胶环3、胶套4
→
在支撑架11上将粉仓本体10倾翻将制品倒出，得到素坯；然后将粉仓本体10立直等待下一次压块操作。
[0027]本实施例中，所述法兰盘1与粉仓本体10之间采用螺栓5固定并压紧密封，所述胶套4包括皮囊及设置在皮囊内用于支撑皮囊的芯轴7，皮囊内充压，压料仓6为粉料；工作时依靠皮囊膨胀产生压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ITO旋转靶材成型装置，包括粉仓及设置在粉仓下方的支撑架，其特征在于：粉仓包括粉仓本体、密封组件及胶套，粉仓本体的两端分别设置有用于密封其上、下端口的密封组件，胶套设置在粉仓本体内，密封组件包括法兰盖、端盖及橡胶环，橡胶环套设在胶套的端部，端盖设置在橡胶环的外部用于密封粉仓本体的端口，法兰盖安装在端盖的外部，胶套的外部与粉仓本体的内壁之间形成用于压实粉料的压料仓，当对胶套充压后，胶套在压力的作用下进行膨胀进而对压料仓内的粉料进行压实成型。2.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材成型装置，其特征在于：胶套包括皮囊及设置在皮囊内用于支撑皮囊的支撑芯轴。3.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材成型装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张启华，马超宁，朱亚光，
申请(专利权)人：洛阳晶联光电材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：