一种新型CVD设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型CVD设备，包括壳体，壳体内壁的顶部固定连接有电机，电机的输出端固定连接有蜗杆，蜗杆的外侧啮合连接有蜗轮，蜗轮的内部固定连接有第二转动杆，第二转动杆与壳体转动连接，壳体的内部固定连接有水箱，水箱的内部等距固定连接有导热片，本实用新型专利技术的有益效果是：本实用新型专利技术结构新颖，操作简单，易于上手，不仅结构紧凑，而且实用性更强，与传统装置相比本实用新型专利技术通过设置有电机、蜗杆、水箱、导热片、半导体制冷片、螺旋管、风箱、第一转动杆、进风扇、第二皮带轮和第一皮带轮，能够便于对CVD本体进行降温散热，不仅加速了CVD本体的散热效率，而且为CVD本体的正常使用提供了保障，进而大大挺好了CVD本体的使用寿命时长。用寿命时长。用寿命时长。

【技术实现步骤摘要】
一种新型CVD设备


[0001]本技术涉及CVD设备
，具体为一种新型CVD设备。

技术介绍

[0002]在生活中，目前，CVD设备广泛应用在在半导体集成电路制造领域中，一些薄膜处理工艺方面，需使用等离子体进行辅助处理，随着芯片对设备工艺良率及洁净度的要求越来越高，射频控制技术及设备结构上的要求也需逐步优化。
[0003]现有的CVD设备在实际使用时内部会产生大量热量，通常现有的CVD设备进行散热时基本是进行自然散热，若是进行自然散热不仅会影响CVD设备的使用寿命，而且极易影响CVD设备的正常使用。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种新型CVD设备，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的CVD设备在实际使用时内部会产生大量热量，通常现有的CVD设备进行散热时基本是进行自然散热，若是进行自然散热不仅会影响CVD设备的使用寿命，而且极易影响CVD设备的正常使用的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型CVD设备，包括壳体，所述壳体内壁的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有蜗杆，所述蜗杆的外侧啮合连接有蜗轮，所述蜗轮的内部固定连接有第二转动杆，所述第二转动杆与壳体转动连接，所述壳体的内部固定连接有水箱，所述水箱的内部等距固定连接有导热片，所述水箱的一侧固定连接有半导体制冷片，所述半导体制冷片制冷一侧与导热片固定连接，所述水箱的固定连接有螺旋管，所述水箱的一侧且位于壳体内固定连接有风箱，所述螺旋管与风箱固定连接，所述风箱的内部转动连接有第一转动杆，所述第一转动杆的底部固定连接有进风扇，所述进风扇的顶部固定连接有第二皮带轮，所述蜗杆的外侧且位于蜗轮的正上方固定连接有第一皮带轮，所述壳体的内部固定连接有圆形过滤网，所述第二转动杆与圆形过滤网转动连接，所述第二转动杆的内部开设有滑槽，所述第二转动杆的内部转动连接有第一螺栓，所述第一螺栓的外侧且位于滑槽内螺纹连接有螺纹板，所述螺纹板的内部对称滑动连接有T形杆，两个所述T形杆的一侧固定连接有移动板，所述T形杆的外侧且位于螺纹板与移动板之间套设有弹簧，所述移动板远离T形杆的一侧等距设有清洁硬刷毛。
[0006]作为本技术的一种优选方案：所述第二转动杆的外侧固定连接有排风扇。
[0007]作为本技术的一种优选方案：所述壳体的内壁固定连接有支撑金刚网，所述支撑金刚网的顶部设有CVD本体，所述壳体的一侧且位于CVD本体的外侧通过第二螺栓连接有卡板。
[0008]作为本技术的一种优选方案：所述壳体的顶部且位于电机的正上方等距开设有散热孔。
[0009]作为本技术的一种优选方案：所述壳体的一侧设有控制面板，所述控制面板
均与CVD本体、电机和半导体制冷片电性连接。
[0010]作为本技术的一种优选方案：所述螺旋管端口的内壁设有第一过滤网。
[0011]本技术的有益效果是：本技术结构新颖，操作简单，易于上手，不仅结构紧凑，而且实用性更强，与传统装置相比本技术通过设置有电机、蜗杆、水箱、导热片、半导体制冷片、螺旋管、风箱、第一转动杆、进风扇、第二皮带轮和第一皮带轮，能够便于对CVD本体进行降温散热，不仅加速了CVD本体的散热效率，而且为CVD本体的正常使用提供了保障，进而大大挺好了CVD本体的使用寿命时长；通过设置有蜗轮、第二转动杆、圆形过滤网、滑槽、第一螺栓、螺纹板、T形杆、移动板、弹簧和清洁硬刷毛，不仅能够防止外界灰尘进入壳体内，而且能够对圆形过滤网进行清洁，且进行清洁时大大减少了动能的过多使用，为人们的使用提供了方便，不仅节省了清洁时间，而且清洁效率更佳。
附图说明
[0012]图1为本技术的正视图；
[0013]图2为本技术的内部结构示意图；
[0014]图3为本技术螺旋管内部结构示意图。
[0015]图中：1、壳体；2、控制面板；3、CVD本体；4、支撑金刚网；5、电机；6、蜗杆；7、第一皮带轮；8、第二皮带轮；9、水箱；10、螺旋管；11、导热片；12、半导体制冷片；13、风箱；14、第一转动杆；15、进风扇；16、第二转动杆；17、蜗轮；18、排风扇；19、圆形过滤网；20、第一螺栓；21、滑槽；22、螺纹板；23、T形杆；24、弹簧；25、移动板；26、清洁硬刷毛；27、散热孔；28、卡板。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种新型CVD设备，包括壳体1，壳体1内壁的顶部固定连接有电机5，是指依据电磁感应定律实现电能转换或传递的一种电磁装置；电机5的输出端固定连接有蜗杆6，是指具有一个或几个螺旋齿，并且与蜗轮啮合而组成交错轴齿轮副的齿轮；蜗杆6的外侧啮合连接有蜗轮17，蜗轮蜗杆机构常用来传递两交错轴之间的运动和动力；蜗轮17的内部固定连接有第二转动杆16，第二转动杆16与壳体1转动连接，壳体1的内部固定连接有水箱9，水箱9的内部等距固定连接有导热片11，水箱9的一侧固定连接有半导体制冷片12，半导体制冷片12制冷一侧与导热片11固定连接，水箱9的固定连接有螺旋管10，水箱9的一侧且位于壳体1内固定连接有风箱13，螺旋管10与风箱13固定连接，风箱13的内部转动连接有第一转动杆14，第一转动杆14的底部固定连接有进风扇15，进风扇15的顶部固定连接有第二皮带轮8，蜗杆6的外侧且位于蜗轮17的正上方固定连接有第一皮带轮7，壳体1的内部固定连接有圆形过滤网19，第二转动杆16与圆形过滤网19转动连接，第二转动杆16的内部开设有滑槽21，第二转动杆16的内部转动连接有第一螺栓20，是由头部和螺杆(带有外螺纹的圆柱体)两部分组成的一类紧固件；第一螺栓20的外侧且位于滑槽21内螺纹连接有螺纹板22，螺纹板22的内部对称滑动连接有T形杆23，两个T形杆23的一
侧固定连接有移动板25，T形杆23的外侧且位于螺纹板22与移动板25之间套设有弹簧24，是一种利用弹性来工作的机械零件，用弹性材料制成的零件在外力作用下发生形变，除去外力后又恢复原状；移动板25远离T形杆23的一侧等距设有清洁硬刷毛26，通过设置有电机5、蜗杆6、水箱9、导热片11、半导体制冷片12、螺旋管10、风箱13、第一转动杆14、进风扇15、第二皮带轮8和第一皮带轮7，能够便于对CVD本体3进行降温散热，不仅加速了CVD本体3的散热效率，而且为CVD本体3的正常使用提供了保障，进而大大挺好了CVD本体3的使用寿命时长；通过设置有蜗轮17、第二转动杆16、圆形过滤网19、滑槽21、第一螺栓20、螺纹板22、T形杆23、移动板25、弹簧24和清洁硬刷毛26本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型CVD设备，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内壁的顶部固定连接有电机(5)，所述电机(5)的输出端固定连接有蜗杆(6)，所述蜗杆(6)的外侧啮合连接有蜗轮(17)，所述蜗轮(17)的内部固定连接有第二转动杆(16)，所述第二转动杆(16)与壳体(1)转动连接，所述壳体(1)的内部固定连接有水箱(9)，所述水箱(9)的内部等距固定连接有导热片(11)，所述水箱(9)的一侧固定连接有半导体制冷片(12)，所述半导体制冷片(12)制冷一侧与导热片(11)固定连接，所述水箱(9)的固定连接有螺旋管(10)，所述水箱(9)的一侧且位于壳体(1)内固定连接有风箱(13)，所述螺旋管(10)与风箱(13)固定连接，所述风箱(13)的内部转动连接有第一转动杆(14)，所述第一转动杆(14)的底部固定连接有进风扇(15)，所述进风扇(15)的顶部固定连接有第二皮带轮(8)，所述蜗杆(6)的外侧且位于蜗轮(17)的正上方固定连接有第一皮带轮(7)，所述壳体(1)的内部固定连接有圆形过滤网(19)，所述第二转动杆(16)与圆形过滤网(19)转动连接，所述第二转动杆(16)的内部开设有滑槽(21)，所述第二转动杆(16)的内部转动连接有第一螺栓(20)，所述第一螺栓...

【专利技术属性】
技术研发人员：马云，姜鹏，
申请(专利权)人：沈阳默森科技有限公司，
类型：新型
国别省市：