多层化膜的形成方法和多层化膜、电光学装置及电子设备制造方法及图纸

一种异种功能性材料层之间具有优越的粘结性能和接触性能的多层化膜的形成方法、多层化膜以及具有该多层化膜的电光学装置、电子设备。在通过围堰（９）而划分的灰度要素区域（５８）内，形成包含ＰＥＤＯＴ的固体层（６３），并通过液滴喷出法，与固体层（６３）重叠地配置ＰＥＤＯＴ液（６１）、有机ＥＬ液（６２）。然后，连同元件基板（２）一同使其干燥，一体固化ＰＥＤＯＴ液（６１）和有机ＥＬ液（６２），而形成由空穴输送层（５２）和有机ＥＬ层（５１）构成的发光膜（５０）。有机ＥＬ层（５１）与空穴输送层（５２）的界面处于有机ＥＬ材料和ＰＥＤＯＴ适度混合、扩散的状态，显示出两层（５１、５２）恰当的粘结性能和接触性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使用了液滴喷出法的多层化膜的形成方法、以及多层化膜、电光学装置和电子设备。
技术介绍
近年来，在导电布线和功能性元件的制造中，利用成膜技术，其采用了液滴喷出法(喷墨法)。该成膜技术是使用像喷墨打印机那样的描绘装置，将含有功能性材料的液状体(功能液)进行图案化而配置在基板上，并通过使该被配置的功能液干燥等，来成膜功能性膜的技术，该技术可以对应于少量多种类的生产等，并且十分有效。在利用该成膜技术来制造功能性元件等时，通过依次反复进行上述的描画、干燥工序，还可以层叠形成多种的功能性膜。例如，在专利文献1中公开了下述例子，即，使用液滴喷出法，来形成包含空穴输送层和发光层的功能性元件，在专利文献2中公开了下述例子，即，使用液滴喷出法，来形成由基底层和导电层构成的导电布线。专利文献1特开2004-63138号公报专利文献2特开2003-315813号公报专利文献3特开2002-110352号公报专利文献4特许第2773297号公报可是，在上述被多层化的功能性膜(下面称作多层化膜)中，有时其层与层之间的粘结性能和接触性能会对可靠性和特性产生很大的影响。例如，在上述的两层导电布线的情况下，层之间的粘结性能会对界面电阻和层之间的耐剥离性产生影响。而且，在上述的发光元件的情况下，发光元件是在空穴输送层与发光层的界面附近产生发光的器件，与两层的界面的接触面积和发光效率有着密切的关系(例如，参照专利文献3、4)。可是，在以往的通过液滴喷出法来实现多层化的方法中，对于提高这种界面的粘结性能、接触性能并没有进行充分的考虑。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述的课题，其目的在于提供在异种功能性材料层之间具有优越的粘结性能和接触性能的多层化膜的形成方法、和多层化膜以及具有该多层化膜的电光学装置、电子设备。本专利技术涉及多层化膜的形成方法，在基板上形成层叠有至少2种以上的功能性材料的多层化膜，包括使用液滴喷出法，在所述基板上配置包含第1所述功能性材料的第1功能液的下层喷出工序；固化所述基板上的所述第1功能液，来形成包含所述第1功能性材料的固体层的下层固化工序；在所述固体层上，形成包含所述第1功能性材料的液状层的液状层形成工序；使用液滴喷出法，与所述固体层及所述液状层重叠地配置包含第2所述功能性材料的第2功能液的上层喷出工序；和固化所述液状层及所述第2功能液的上层固化工序。根据本专利技术的多层化膜的形成方法，由于含有第1功能性材料的固体层和第2功能液隔着液状层而层叠配置，并经过界面具有流动性的状态而被固化，所以，第1和第2功能性材料在界面附近混合、扩散，从而能够获得具有适当的层间粘结性能和接触性能的多层化膜。而且，在所述多层化膜的形成方法中，优选所述液状层形成工序是使用液滴喷出法，在所述固体层上喷出用于使该固体层再次液化的再次液化液体的工序。并且，优选所述再次液化液体由所述第1功能液的液体成分构成。根据本专利技术的多层化膜的形成方法，通过采用液滴喷出法喷出再次液化液体，可以使第1功能性材料层的表面液状化，而简单地形成液状层。而且，通过优选使用由第1功能液的液体成分构成的再次液化液体，可以有效地实现再次液化。而且，在所述多层化膜的形成方法中，优选所述液状层形成工序是使用液滴喷出法，在所述固体层上喷出所述第1功能液的工序。根据本专利技术的多层化膜的形成方法，可以通过采用液滴喷出法喷出第1功能液，来简单地形成液状层。而且，在所述多层化膜的形成方法中，优选在所述下层喷出工序之前，在所述基板上形成围堰，以划分该下层喷出工序中规定的区域。这里，围堰是由树脂等形成的立体结构体。根据本专利技术的多层化膜的形成方法，通过利用围堰来可靠地限定基板面内方向的功能液的位置，可以实现第1和第2功能性材料层的良好的层叠关系。而且，在所述多层化膜的形成方法中，优选所述第1和第2功能性材料具有相互起互补作用且发挥规定功能的关系。根据本专利技术的多层化膜的形成方法，由于通过功能性材料被混合、扩散的界面结构，实质地增加了功能性材料层间的接触面积，所以能够提供具有优越的功能性效率的多层化膜。本专利技术的多层化膜，其特征在于，在形成于基板上并包含第1功能性材料的固体层上，形成包含所述第1功能性材料的液状层，并通过液滴喷出法与该液状层重叠地配置包含第2功能性材料的功能液，该功能液和所述液状层被固化而形成所述多层化膜。本专利技术的多层化膜，由于包含第1功能性材料的固体层和第2功能液被隔着液状层而层叠配置，并经过界面具有流动性的状态而被固化形成，所以，所述多层化膜处于第1和第2功能性材料在界面附近混合、扩散的状态。由此，形成了具有适当的层间粘结性能和接触性能的多层化膜。本专利技术的电光学装置，其特征在于，具有所述多层化膜。本专利技术的电光学装置，由于包括层间粘结性能优越的多层化膜，所以具有优越的可靠性等。本专利技术的电子设备，其特征在于，具有所述多层化膜。本专利技术的电子设备，其特征在于，具有所述电光学装置。本专利技术的电子设备，由于包括层间粘结性能优越的多层化膜，所以具有优越的可靠性等。附图说明图1是表示本专利技术的电光学装置的一个例子的主要部分剖面图。图2是表示电光学装置的驱动电路部的俯视图。图3是表示驱动元件和其周边结构的图2的A-A剖面图。图4是表示液滴喷出装置的结构的一个例子的模式图。图5是表示栅极布线的形成工序的流程图。图6(a)～(d)是表示栅极布线形成工序的一个过程的图2的B-B剖面图。图7(e)～(g)是表示栅极布线形成工序的一个过程的图2的B-B剖面图。图8是表示发光元件的形成过程的流程图。图9(a)～(d)是表示发光元件形成工序的一个过程的剖面图。图10是表示电子设备的一个例子的概略立体图。图11是表示燃料电池的概略结构的立体图。图中1-驱动元件，2-元件基板，3-作为多层化膜的栅极布线，4-作为多层化膜的源极布线，5-作为多层化膜的栅电极，6-作为多层化膜的源电极，7-作为多层化膜的漏电极，8-分段电极(segment electrode)，9-作为围堰(bank)的下层围堰，10a-作为第1功能性材料层(固体层)的栅极基底层，10b-作为第1(固体层)或第2功能性材料层的栅极导电层，10c-作为第2功能性材料层的栅极覆盖层，18a-下层源极层，18b-源极导电层，18c-上层源极层，19a-下层漏极层，19b-漏极导电层，19c-上层漏极层，32-作为第1或第2功能液的Ag分散溶液，33-作为第2功能液的Ni分散溶液，35-液状层，36-液状层，50-作为多层化膜的发光膜，51-作为第2功能材料层的有机EL层，52-作为第1功能性材料层的空穴输送层，53-公共电极，54-围堰，55-遮光膜，56-发光元件，61-第1功能液和作为液状层的PEDOT液，62-作为第2功能液的有机EL液，63-固体层，100-电光学装置，101-驱动电路部，102-发光元件部，120-燃料电池，121、122-基板，123、124-气体扩散层，125、126-催化剂层，127-离子交换层，128、129-电极层，130-多层化膜，200-液滴喷出装置，700-作为电子设备的便携式信息处理装置。具体实施例方式下面，参照附图对本专利技术的优选实施方式进行详细的说明。另外，由于下面叙述的实施方式是本专利技术的优选具体实例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多层化膜的形成方法，在基板上形成层叠有至少２种以上的功能性材料的多层化膜，包括：　使用液滴喷出法，在所述基板上配置包含第１所述功能性材料的第１功能液的下层喷出工序；固化所述基板上的所述第１功能液，来形成包含所述第１功能性材料的固体层的下层固化工序；在所述固体层上，形成包含所述第１功能性材料的液状层的液状层形成工序；使用液滴喷出法，与所述固体层及所述液状层重叠地配置包含第２所述功能性材料的第２功能液的上层喷出工序；和固化所述液状层及所述第２功能液的上层固化工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：长谷井宏宣，稻垣显，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]