本实用新型专利技术公开一种滤光片检测装置，属于薄膜光学元件研究应用领域，包括扩束激光器，所述扩束激光器的光束的传播路径上顺次布置有夹持器和CCD接收器，所述夹持器用于夹持垂直于所述光束放置的滤光片，所述CCD接收器滑动设置在平行于所述光束的导轨上，所述CCD接收器的镜头朝向滤光片，且镜头采用显微镜头。本实用新型专利技术通过扩束激光器发射光束照射到滤光片上，利用显微镜头放大激光图像并被CCD接收器记录，能够对肉眼难以观察的砂眼位置和数量进行检测，同时，通过移动CCD接收器可以调节放大倍数，能够分析砂眼的尺寸、面积等特征。面积等特征。面积等特征。
【技术实现步骤摘要】
一种滤光片检测装置
[0001]本技术涉及薄膜光学元件研究应用领域，特别是涉及一种滤光片检测装置。
技术介绍
[0002]部分滤光片元件在制备及使用的过程中会形成砂眼，砂眼是由细小的灰层颗粒、薄膜沉积过程中的缺陷和制备过程中的损伤引起的。砂眼对于滤片的光学性能和机械性能等有很重要的影响，所以检测滤片砂眼具有重要意义。一般厚度达到微米级的滤片几乎没有砂眼，厚度在微米以下的滤片更有可能出现砂眼，并且这些砂眼大多尺寸很小且肉眼很难观察。针对极紫外光学领域的滤光片元件，其厚度均在微米至纳米量级，然而目前对该类型的滤光片元件的砂眼检测仍然没有可靠的检测方法。
[0003]例如授权公告号为CN 104076039 B的中国专利公开了一种滤光片外观缺陷自动检测方法，其包含以下步骤：A.设定滤光片外观缺陷的检测参数；B.选定光学镜头检测范围；C.低倍镜检测，标记出明显不合格的滤光片并储存检测结果；D.高倍镜检测，储存剩余滤光片的检测结果；E.根据检测结果对所述剩余滤光片进行分类标记，并生成对应的图谱(即MAP图)；F.根据MAP图对滤光片进行自动归类分拣。该方案通过设定统一的标准，实现对滤光片多种外观缺陷的自动检测，并根据检测结果生成MAP图对滤光片进行分拣，但实际上只是避免了人为检测误差，也就是说，所检测的仍旧是肉眼可辨的缺陷，对于滤片砂眼无法进行检测。
[0004]再如申请公布号为CN 111638222A的中国专利公开了一种滤光片的缺陷检测系统及方法，其中系统包括设于工作台用于承载滤光片的检测工位，位于检测工位的一侧设有用于实现滤光片检测的检测模组；检测模组包括对准于检测工位设置的检测相机，以及位于检测工位下方的下光源，下光源的照射角度倾斜于检测工位的垂直方向。该方案通过设置带角度的下光源进行缺陷检测，使得检测光束从待检测滤光片的下方向上照射进入相机，以能够检测出膜裂、浅脏污等缺陷，由此可见，该方案的检测方法适用于识别可见光滤片中的人眼可辩缺陷，对于极紫外滤片的微小砂眼无法进行检测。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是提供一种滤光片检测装置，以解决上述现有技术存在的问题，通过扩束激光器发射光束照射到滤光片上，利用显微镜头放大激光图像并被CCD接收器记录，能够对肉眼难以观察的砂眼位置和数量进行检测，同时，通过移动CCD接收器可以调节放大倍数，能够分析砂眼的尺寸、面积等特征。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0007]本技术提供一种滤光片检测装置，包括扩束激光器，所述扩束激光器的光束的传播路径上顺次布置有夹持器和CCD接收器，所述夹持器用于夹持垂直于所述光束放置的滤光片，所述CCD接收器滑动设置在平行于所述光束的导轨上，所述CCD接收器的镜头朝向滤光片，且镜头采用显微镜头。
[0008]优选地，所述夹持器包括中空的夹持本体，所述夹持本体包括位于内径侧的放置部和位于外径侧的压紧部，所述放置部用于放置滤光片，所述压紧部用于安装压紧结构。
[0009]优选地，所述放置部为由外径侧向内径侧逐渐变薄的坡面。
[0010]优选地，所述压紧结构包括对称设置在所述压紧部的第一螺纹孔和安装在所述第一螺纹孔内的压紧螺钉。
[0011]优选地，包括弹簧片，所述弹簧片包括与所述压紧螺钉连接的安装段和连接在所述安装段上且向所述坡面底部方向弯折的压紧段。
[0012]优选地，包括安装平台，所述导轨固定安装在所述安装平台上。
[0013]优选地，所述CCD接收器通过光学调整架滑动安装在所述导轨上。
[0014]优选地，所述扩束激光器和所述夹持器分别通过光学调整架滑动安装在所述导轨上。
[0015]优选地，每一光学调整架底部均设置有滑块，所述滑块设置有燕尾槽，所述导轨呈燕尾结构与所述燕尾槽配合。
[0016]优选地，所述滑块的一侧设置有贯穿的第二螺纹孔，所述第二螺纹孔内连接有锁紧螺钉。
[0017]本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0018](1)本技术通过扩束激光器发射光束照射到滤光片上，利用显微镜头放大激光图像并被CCD接收器记录，能够对肉眼难以观察的砂眼位置和数量进行检测，同时，通过移动CCD接收器可以调节放大倍数，能够分析砂眼的尺寸、面积等特征；
[0019](2)本技术夹持器包括中空的夹持本体，夹持本体包括位于内径侧的放置部和位于外径侧的压紧部，放置部用于放置滤光片，压紧部用于安装压紧结构，中空的结构可以保证透光面积，不对激光造成遮挡，提高成像效果，压紧结构安装在外径侧的压紧部，能够在保证稳定性的同时避免对滤光片膜面的接触，最大程度保证滤光片的正面区域不被污染；
[0020](3)本技术放置部为由外径侧向内径侧逐渐变薄的坡面，适用大部分形状的滤光片，尤其是常见的圆形或方形的滤光片，而且可以夹持不同大小和厚度的滤光片进行检测，同时，还可以采用弹簧片进行压紧，增加了安装和拆卸的方便程度。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本专利技术整体结构示意图；
[0023]图2为本专利技术夹持器俯视图；
[0024]图3为图2的剖视图；
[0025]其中，1、扩束激光器；11、光束；2、夹持器；21、压紧部；22、放置部；23、压紧螺钉；24、弹簧片；3、CCD接收器；4、激光图像；5、安装平台；6、光学调整架；7、滤光片；71、砂眼。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]本技术的目的是提供一种滤光片检测装置，以解决现有技术存在的问题，通过扩束激光器发射光束照射到滤光片上，利用显微镜头放大激光图像并被CCD接收器记录，能够对肉眼难以观察的砂眼位置和数量进行检测，同时，通过移动CCD接收器可以调节放大倍数，能够分析砂眼的尺寸、面积等特征。
[0028]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0029]如图1～3所示，本技术提供一种滤光片检测装置，包括扩束激光器1，扩束激光器1的光束11的传播路径上顺次布置有夹持器2和CCD接收器3，其中，扩束激光器1用于发射光束11并照射到滤光片7上用于成像，扩束激光器1的波长参数可以选择在400～780nm范围，功率为5
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种滤光片检测装置，其特征在于：包括扩束激光器，所述扩束激光器的光束的传播路径上顺次布置有夹持器和CCD接收器，所述夹持器用于夹持垂直于所述光束放置的滤光片，所述CCD接收器滑动设置在平行于所述光束的导轨上，所述CCD接收器的镜头朝向滤光片，且镜头采用显微镜头。2.根据权利要求1所述的滤光片检测装置，其特征在于：所述夹持器包括中空的夹持本体，所述夹持本体包括位于内径侧的放置部和位于外径侧的压紧部，所述放置部用于放置滤光片，所述压紧部用于安装压紧结构。3.根据权利要求2所述的滤光片检测装置，其特征在于：所述放置部为由外径侧向内径侧逐渐变薄的坡面。4.根据权利要求3所述的滤光片检测装置，其特征在于：所述压紧结构包括对称设置在所述压紧部的第一螺纹孔和安装在所述第一螺纹孔内的压紧螺钉。5.根据权利要求4所述的滤光片检测装置，其特征在于：包...
【专利技术属性】
技术研发人员：金长利，徐闰，郭胜，
申请(专利权)人：科晶瑞思苏州科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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