大面积有机蒸气射流(OVJP)沉积用的分段印刷杆制造技术

本申请涉及大面积OVJP沉积用的分段印刷杆。提供了包括多个印刷头段的OVJP印刷杆，所述印刷头段中的每一个包括印刷头并且能够独立于每个其它印刷头段相对于衬底定位。从而能够维持更一致的印刷头至衬底距离，即使衬底具有不均一的平坦度。有不均一的平坦度。有不均一的平坦度。

【技术实现步骤摘要】
大面积有机蒸气射流(OVJP)沉积用的分段印刷杆
[0001]分案申请的相关信息
[0002]本申请是申请号为201810435695.4、申请日为2018年5月7日、专利技术名称为“大面积有机蒸气射流(OVJP)沉积用的分段印刷杆”的中国专利技术专利申请的分案申请。
[0003]相关申请的交叉参考
[0004]本申请是非临时申请并且要求美国临时专利申请第62/501,905号(2017年5月5日提交)和第62/597,605号(2017年12月12日提交)的优先权权益，所述美国临时专利申请各自的全部内容以引入的方式并入本文中。


[0005]本专利技术涉及用于制造包括有机发射层的相对较大面积装置的装置和技术；和包括其的装置，如有机发光二极管和其它装置。

技术介绍

[0006]出于多种原因，利用有机材料的光电装置变得越来越受欢迎。用于制造所述装置的许多材料相对较为便宜，因此有机光电装置具有优于无机装置的成本优势的潜力。另外，有机材料的固有性质(例如其柔性)可以使其较适用于特定应用，如在柔性衬底上的制造。有机光电装置的实例包括有机发光二极管/装置(OLED)、有机光电晶体管、有机光伏电池和有机光电检测器。对于OLED，有机材料可以具有优于常规材料的性能优势。举例来说，有机发射层发射光的波长通常可以容易地用适当的掺杂剂来调节。
[0007]OLED利用有机薄膜，其在电压施加于装置上时会发射光。OLED正成为用于如平板显示器、照明和背光的应用中的日益受关注的技术。美国专利第5,844,363号、第6,303,238号和第5,707,745号中描述若干OLED材料和配置，所述专利以全文引用的方式并入本文中。
[0008]磷光发射分子的一个应用是全色显示器。针对此类显示器的行业标准需要适合于发射特定颜色(称为“饱和”色)的像素。具体来说，这些标准需要饱和红色、绿色和蓝色像素。或者，OLED可经设计以发射白光。在常规液晶显示器中，使用吸收滤光器过滤来自白色背光的发射以产生红色、绿色和蓝色发射。相同技术也可以用于OLED。白色OLED可以是单EML装置或堆叠结构。可以使用所属领域中所熟知的CIE坐标来测量色彩。
[0009]如本文所用，术语“有机”包括可以用于制造有机光电装置的聚合材料和小分子有机材料。“小分子”是指并非聚合物的任何有机材料，并且“小分子”可能实际上相当大。在一些情况下，小分子可以包括重复单元。举例来说，使用长链烷基作为取代基并不会将某一分子从“小分子”类别中去除。小分子还可以并入聚合物中，例如作为聚合物主链上的侧接基团或作为主链的一部分。小分子还可以充当树枝状聚合物的核心部分，所述树枝状聚合物由一系列构建在核心部分上的化学壳层组成。树枝状聚合物的核心部分可以是荧光或磷光小分子发射体。树枝状聚合物可以是“小分子”，并且认为当前在OLED领域中使用的所有树枝状聚合物都是小分子。
[0010]如本文所用，“顶部”意指离衬底最远，而“底部”意指最靠近衬底。在第一层被描述
为“安置于”第二层“上方”的情况下，第一层被安置于离基板较远处。除非规定第一层“与”第二层“接触”，否则第一与第二层之间可以存在其它层。举例来说，即使阴极和阳极之间存在各种有机层，仍可以将阴极描述为“安置于”阳极“上方”。
[0011]如本文所用，“溶液可处理”意指能够以溶液或悬浮液的形式在液体介质中溶解、分散或传输和/或从液体介质沉积。
[0012]当认为配体直接促成发射材料的光敏性质时，所述配体可以被称为“光敏性的”。当认为配体并不促成发射材料的光敏性质时，所述配体可以被称为“辅助性的”，但辅助性配体可以改变光敏性配体的性质。
[0013]如本文所用，并且如所属领域的技术人员通常将理解，如果第一能级较接近真空能级，那么第一“最高占用分子轨道”(Highest Occupied Molecular Orbital，HOMO)或“最低未占用分子轨道”(Lowest Unoccupied Molecular Orbital，LUMO)能级“大于”或“高于”第二HOMO或LUMO能级。由于将电离电位(IP)测量为相对于真空能级的负能量，因此较高HOMO能级对应于具有较小绝对值的IP(较不负(less negative)的IP)。类似地，较高LUMO能级对应于具有较小绝对值的电子亲和性(EA)(较不负的EA)。在顶部是真空能级的常规能级图上，材料的LUMO能级高于相同材料的HOMO能级。“较高”HOMO或LUMO能级表现为比“较低”HOMO或LUMO能级更靠近这个图的顶部。
[0014]如本文所用，并且如所属领域的技术人员通常将理解，如果第一功函数具有较高绝对值，那么第一功函数“大于”或“高于”第二功函数。因为通常将功函数测量为相对于真空能级的负数，所以这意指“较高”功函数是更负的(more negative)。在顶部是真空能级的常规能级图上，“较高”功函数经说明为在向下方向上离真空能级较远。因此，HOMO和LUMO能级的定义遵循与功函数不同的定则。
[0015]关于OLED和上文所述的定义的更多细节可以见于美国专利第7,279,704号中，所述专利以全文引用的方式并入本文中。

技术实现思路

[0016]根据一个实施例，还提供一种有机发光二极管/装置(OLED)。所述OLED可以包括阳极；阴极；和安置于所述阳极与所述阴极之间的有机层。根据一个实施例，所述有机发光装置并入一或多种选自以下的装置中：消费型产品、电子组件模块和/或照明面板。
[0017]根据一个实施例，提供有机蒸气射流(OVJP)沉积用的印刷杆，其包括多个印刷头段，其各自包括OVJP印刷头；多个飞行高度距离传感器，其各自被配置成测量印刷杆下方所安置的衬底与至少一个印刷头段的一部分之间的距离；和多个致动器，其各自被配置成根据多个飞行高度距离传感器中的一或多个所测量的介于所述衬底与所述印刷杆之间的一或多种距离来调节多个印刷头段中的一或多个的位置和/或定向。当操作印刷杆以使材料沉积于衬底上时，印刷头段可以在与印刷杆相对于衬底的移动方向基本上垂直的方向上布置成两行。印刷头段可以成行安置，以便当操作印刷杆以使材料沉积于衬底上时，每一行对应OVJP印刷头的印刷区域在衬底上形成单一印刷列。每个OVJP印刷头可以包括与载气源和有机材料蒸气源处于流体连通的OVJP沉积喷嘴。每个致动器可以连接到所述印刷头段中的至少两个并且被配置成控制所述印刷头段中的至少两个的位置和/或定向。替代地或另外，每个致动器可以根据飞行高度传感器中的两个或更多个所获得的距离测量值来控制所述
印刷头段中的至少两个的位置和/或定向。替代地或另外，每个致动器可以根据飞行高度传感器中的至少一个所获得的距离测量值来控制所述印刷头段中的至少两个的位置和/或定向。每个印刷头段能独立于多个印刷头段中的每个其它印刷头段移动。每个印刷头段能至少在与衬底基本上正交的方向上独立于每个其它印刷头段移动，以使得从每个印刷头段到衬底的距离能独立于从每个其它印刷头段到衬底的距离调本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有机蒸气射流印刷OVJP沉积系统，其包含一或多个印刷杆，所述多个印刷杆中的每一个印刷杆包含：多个印刷头段，所述多个印刷头段各自包含OVJP印刷头；多个飞行高度距离传感器，所述多个飞行高度距离传感器中的每一者经配置以测量安置在所述印刷杆下方的衬底与所述印刷头段中的至少一个的一部分之间的距离；和多个致动器，其经配置以根据所述衬底与所述印刷杆之间的一或多种距离来调节所述多个印刷头段中的一或多个的位置和/或定向，所述距离由所述多个飞行高度距离传感器中的一或多个来测量。2.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，进一步包括：一或多个气体分配通道，其将每个印刷头段连接到远离所述印刷头段而定位的一或多个有机蒸气源单元。3.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，其中每一个印刷杆的所述印刷头段与单个蒸汽源或多个蒸汽源流体连通。4.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，其中多个印刷杆的印刷头段与一个公共蒸汽源或多个蒸汽源流体连通。5.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，其中当操作所述印刷杆以使材料沉积于所述衬底上时，所述多个印刷杆中的至少一个印刷杆的所述多个印刷头段在与所述至少一个印刷杆相对于所述衬底移动的方向基本上垂直的方向上布置成两行。6.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，其中所述至少一个印刷杆的所述多个印刷头段安置在所述行中，使得当操作所述印刷杆以使材料沉积于所述衬底上时，每一行对应的OVJP印刷头的印刷区域在所述衬底上形成单一印刷列。7.根据权利要求1所述的OVJP沉积系统，其中每个OVJP印刷头包含与载气源和有机材料蒸气源处于流体连通的OVJP沉积喷嘴。8.根据权利要求7所...

【专利技术属性】
技术研发人员：W，
申请(专利权)人：环球展览公司，
类型：发明
国别省市：