一种具有防护结构的芯片剥离装置制造方法及图纸

技术编号:37241490 阅读:17 留言:0更新日期:2023-04-20 23:22
本实用新型专利技术公开了一种具有防护结构的芯片剥离装置,属于芯片加工技术领域,一种具有防护结构的芯片剥离装置,包括剥离箱与芯片本体,剥离箱上端后侧开设有剥离通孔,剥离箱内部设置有转动连接的转轴,转轴外壁固定连接有一对主动齿轮,一对主动齿轮后侧设置有与主动齿轮之间啮合连接的从动齿板,一对从动齿板上端固定连接有刮板,刮板靠近剥离通孔一侧固定连接有刮刀,剥离箱后侧内壁通过铰链转动连接有支撑杆,可以实现利用机器对芯片本体上的保护膜进行自动刮除,剥离箱内设置的防护板能很好的起到对芯片本体的保护作用,使得芯片本体不易产生损坏的同时提高了芯片本体的剥离效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防护结构的芯片剥离装置


[0001]本技术涉及芯片加工
,更具体地说,涉及一种具有防护结构的芯片剥离装置。

技术介绍

[0002]芯片是半导体元件产品的统称,电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜集成电路,另有一种厚膜集成电路是由独立半导体设备和被动组件,集成到衬底或线路板所构成的小型化电路。
[0003]随着芯片技术的不断发展,半导体元件本体及其包装变得越来越小,为了降低半导体元件在制作过程中的损坏可能性,半导体芯片的背面需要用保护膜保护,但是贴了保护膜的芯片在包装时要将保护膜剥离,现有的剥离方式大多采用人工手持刮刀进行剥离,这种方式效率较低,即使有芯片剥离机,也需要手持芯片一端,并在保护膜剥离之后对芯片进行放置,这种剥离方式步骤复杂,人工成本并无法从根本上减少,同时芯片在刮除过程中存在掉落的风险,剥落装置内部未设置专门的防护结构,使得芯片未进入使用阶段就已经被损坏。

技术实现思路

[0004]1.要解决的技术问题
[0005]针对现有技术中存在的问题,本技术的目的在于提供一种具有防护结构的芯片剥离装置,可以实现利用机器对芯片本体上的保护膜进行自动刮除,同时刮除后的芯片本体能直接放入到剥离箱中,剥离箱内设置的防护板能很好的起到对芯片本体的保护作用,使得芯片本体不易产生损坏的同时提高了芯片本体的剥离效率。
[0006]2.技术方案
[0007]为解决上述问题,本技术采用如下的技术方案。
[0008]一种具有防护结构的芯片剥离装置,包括剥离箱与芯片本体,剥离箱上端后侧开设有与剥离箱内部相连通的剥离通孔,剥离箱内部横向设置有转动连接的转轴,转轴右侧外壁固定连接有电机,转轴右端贯穿剥离箱端壁并与电机之间通过联轴器连接,转轴外壁固定连接有一对位于剥离箱内部的主动齿轮,一对主动齿轮后侧设置有与主动齿轮之间啮合连接的从动齿板,一对从动齿板上端固定连接有刮板,刮板靠近剥离通孔一侧固定连接有刮刀,剥离箱后侧内壁通过铰链转动连接有支撑杆,剥离箱后侧内壁固定连接有一对电动伸缩杆,电动伸缩杆输出端固定连接有支撑杆,支撑杆上端与防护板下端之间相互贴近,可以实现利用机器对芯片本体上的保护膜进行自动刮除,同时刮除后的芯片本体能直接放入到剥离箱中,剥离箱内设置的防护板能很好的起到对芯片本体的保护作用,使得芯片本体不易产生损坏的同时提高了芯片本体的剥离效率。
[0009]进一步的,防护板以及剥离箱内底壁均垫设有防护垫,通过设置防护垫起到对芯片的保护作用,使得芯片本体在放入到剥离箱中时经过防护板并从防护板滑落掉入到剥离
箱内底壁,这一过程中不会与剥离箱产生磕碰,从而降低了芯片本体产生损坏的可能。
[0010]进一步的,剥离箱后侧内壁开设有一对导向槽,一对导向槽内均滑动连接有导向滑块,导向滑块与从动齿板之间通过连杆固定连接,通过导向滑块与导向槽之间的滑动配合,起到对从动齿板上下移动的导向与支撑作用,从而提高刮板前端的刮刀对芯片本体的刮除效果。
[0011]进一步的,剥离箱前后侧内壁均固定连接有轴承,转轴前后两端均延伸至轴承内壁并与轴承内环过盈配合,通过设置轴承使得转轴转动更加稳定,从而使得主动齿轮与从动齿板之间的啮合传动更加稳定。
[0012]进一步的,剥离箱前侧开设有出口,出口处设置有转动连接的密封门,且密封门前侧固定连接有把手,密封门的设计便于打开,当剥离箱内空间堆积一定数量的芯片本体后,即可打开转轴并将剥离好的芯片本体取出。
[0013]进一步的,剥离箱上端前侧固定连接有控制面板,电机、电动伸缩杆均与控制面板之间电性连接,通过操控控制面板即可驱动电机带动转轴进行旋转运动,驱动电动伸缩杆进行伸缩运动,操作便捷。
[0014]3.有益效果
[0015]相比于现有技术,本技术的优点在于:
[0016](1)本方案可以实现利用机器对芯片本体上的保护膜进行自动刮除,同时刮除后的芯片本体能直接放入到剥离箱中,剥离箱内设置的防护板能很好的起到对芯片本体的保护作用,使得芯片本体不易产生损坏的同时提高了芯片本体的剥离效率。
[0017](2)防护板以及剥离箱内底壁均垫设有防护垫,通过设置防护垫起到对芯片的保护作用,使得芯片本体在放入到剥离箱中时经过防护板并从防护板滑落掉入到剥离箱内底壁,这一过程中不会与剥离箱产生磕碰,从而降低了芯片本体产生损坏的可能。
[0018](3)剥离箱后侧内壁开设有一对导向槽,一对导向槽内均滑动连接有导向滑块,导向滑块与从动齿板之间通过连杆固定连接,通过导向滑块与导向槽之间的滑动配合,起到对从动齿板上下移动的导向与支撑作用,从而提高刮板前端的刮刀对芯片本体的刮除效果。
[0019](4)剥离箱前后侧内壁均固定连接有轴承,转轴前后两端均延伸至轴承内壁并与轴承内环过盈配合,通过设置轴承使得转轴转动更加稳定,从而使得主动齿轮与从动齿板之间的啮合传动更加稳定。
[0020](5)剥离箱前侧开设有出口,出口处设置有转动连接的密封门,且密封门前侧固定连接有把手,密封门的设计便于打开,当剥离箱内空间堆积一定数量的芯片本体后,即可打开转轴并将剥离好的芯片本体取出。
[0021](6)剥离箱上端前侧固定连接有控制面板,电机、电动伸缩杆均与控制面板之间电性连接,通过操控控制面板即可驱动电机带动转轴进行旋转运动,驱动电动伸缩杆进行伸缩运动,操作便捷。
附图说明
[0022]图1为本技术的侧面剖视图;
[0023]图2为本技术的正面剖视图;
[0024]图3为本技术芯片本体经过防护板掉落过程结构示意图;
[0025]图4为图1中A处放大结构示意图;
[0026]图5为本技术的整体结构示意图。
[0027]图中标号说明:
[0028]1、剥离箱;2、剥离通孔;3、控制面板;4、电机;5、密封门;6、转轴;7、主动齿轮;8、刮刀;9、导向滑块;10、防护板;11、支撑杆;12、电动伸缩杆;13、轴承;14、从动齿板;15、刮板;16、芯片本体;17、防护垫。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述;显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0030]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]在本技术的描述中,需要说明的是,除非本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防护结构的芯片剥离装置,包括剥离箱(1)与芯片本体(16),其特征在于:所述剥离箱(1)上端后侧开设有与剥离箱(1)内部相连通的剥离通孔(2),所述剥离箱(1)内部横向设置有转动连接的转轴(6),所述转轴(6)右侧外壁固定连接有电机(4),所述转轴(6)右端贯穿剥离箱(1)端壁并与电机(4)之间通过联轴器连接,所述转轴(6)外壁固定连接有一对位于剥离箱(1)内部的主动齿轮(7),一对所述主动齿轮(7)后侧设置有与主动齿轮(7)之间啮合连接的从动齿板(14),一对所述从动齿板(14)上端固定连接有刮板(15),所述刮板(15)靠近剥离通孔(2)一侧固定连接有刮刀(8),所述剥离箱(1)后侧内壁通过铰链转动连接有支撑杆(11),所述剥离箱(1)后侧内壁固定连接有一对电动伸缩杆(12),所述电动伸缩杆(12)输出端固定连接有支撑杆(11),所述支撑杆(11)上端与防护板(10)下端之间相互贴近。2.根据权利要求1所述的一种具有防护结构的芯片剥离...

【专利技术属性】
技术研发人员:詹铁锤
申请(专利权)人:合肥杰硕真空科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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