本发明专利技术公开了一种行星盘转子专用拆卸工具及其使用方法,其中专用拆卸工具由螺母拆卸工具和转子固定工具组成,通过螺母拆卸工具和转子固定工具配合使用,转子固定工具用于对行星盘转子进行固定,螺母拆卸工具用于对行星盘转子上的圆螺母进行拆卸和安装,最终实现行星盘转子拆卸安装便捷,减少该硬件单元的损伤,同时为了便于收纳,两个装置在闲置存放时可以组装到一起,便于管理。便于管理。
【技术实现步骤摘要】
一种行星盘转子专用拆卸工具及其使用方法
[0001]本专利技术涉及专用工具
,具体地,涉及一种行星盘转子专用拆卸工具及其使用方法。
技术介绍
[0002]电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种,是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料,使蒸发材料气化并向基板输运,在基底上凝结形成薄膜的方法,通常采用高真空电子束蒸发薄膜沉积系统应用此方法,此系统中重要的组成部分为蒸发台,蒸发台一般使用行星盘转子装置带动蒸发材料旋转动作,但由于行星盘转子装置这部分结构属于动作部件,长期以及频繁使用,导致易磨损,在每次维护保养过程中需要进行拆卸,由于其结构繁琐,没有合适的着力点,而且没有专用的拆卸工具,使得保养拆卸过程繁琐,往往对设备转子及固定螺栓产生损伤,维修过程十分不人性化,给设备工程师维护保养带来了极大的不便。
技术实现思路
[0003]为克服上述现有技术的不足,本专利技术提供了一种行星盘转子专用拆卸工具及其使用方法,通过此专利技术能够顺畅的将行星盘转子进行拆卸和安装,从而为设备工程师及维护作业人员提供更有利的拆卸安装方法,以解决目前拆卸难方法不当对行星盘转子造成的机械损伤。
[0004]为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案是:
[0005]一种行星盘转子专用拆卸工具及其使用方法,所述专用拆卸工具由螺母拆卸工具和转子固定工具组成,所述转子固定工具包括固定座、手柄一、定位销一,所述固定座为凸台结构,由前端定位轴和尾端固定轴相连组成,所述定位销一垂直贯穿并固定于定位轴上,且定位销一的两端均伸出于定位轴外表面一定距离,所述手柄一竖直贯穿并固定于固定轴的尾端,所述螺母拆卸工具包括卡盘、手柄二、定位销二,所述卡盘外形为圆柱形,且其外侧对应两端分别固定连接有一个手柄二,所述卡盘的内部中心位置由左至右依次设有直径逐渐增大的圆孔一、圆孔二、圆孔三,组成一个阶梯孔,所述定位销二有两个,且两个定位销二分别固定于圆孔三的内侧,并伸出圆孔三内侧面一定距离,且两个定位销二的位置相互对称。
[0006]优选地,所述其使用方法为:螺母拆卸工具和转子固定工具配合使用,转子固定工具用于对行星盘转子进行固定,行星盘转子的尾端上设有固定槽,通过转子固定装置将定位销一卡入固定槽内,用手握紧手柄一实现行星盘转子固定;将螺母拆卸工具卡住转子专用的圆螺母上,用定位销二卡紧圆螺母的凹槽内,然后逆时针旋螺母拆卸工具,从而使圆螺母松开,安装时则需要顺时针旋转螺母拆卸工具即可实现螺母紧固。
[0007]优选地,所述定位销一的中轴线与固定座的中轴线垂直,并与手柄一的中轴线平行。
[0008]优选地,所述定位销二的中轴线与卡盘的中轴线垂直,并与手柄二的中轴线平行。
[0009]优选地,所述圆孔一的直径大于定位轴的直径,所述圆孔三的直径大于定位销一的长度,当闲置存放时,螺母拆卸工具和转子固定工具可以组合到一起,即定位轴依次贯穿圆孔三、圆孔二、圆孔一,固定轴端的立面与卡盘的侧面抵接,定位销一位于圆孔三内。
[0010]本专利技术的有益效果为:
[0011]本专利技术通过转子固定工具将行星盘转子进行轴向固定锁死,再利用螺母拆卸工具将双螺母进行拆卸,安装时,则需要使用螺母拆卸工具进行安装校紧。最终实现行星盘转子拆卸安装便捷,减少该硬件单元的损伤。同时为了便于收纳,两个装置在闲置存放时可以组装到一起,便于管理。
附图说明
[0012]图1为转子固定工具的主视图;
[0013]图2为转子固定工具的左视图;
[0014]图3为转子固定工具的俯视图;
[0015]图4为螺母拆卸工具的主视图;
[0016]图5为螺母拆卸工具的左视图;
[0017]图6为螺母拆卸工具的俯视图;
[0018]图7为转子固定工具和螺母拆卸工具存放时组装到一起的示意图;
[0019]图8为本专利技术实施例的示意图;
[0020]图中所示附图标记为:1
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定位轴、2
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固定轴、3
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手柄一、4
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定位销一、5
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卡盘、6
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手柄二、7
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定位销二、8
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圆孔一、9
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圆孔二、10
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圆孔三、11
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行星盘转子、12
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固定槽、13
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圆螺母。
具体实施方式
[0021]以下结合附图对本设计方案进行详细说明。
[0022]如图1
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图6所示,一种行星盘转子专用拆卸工具及其使用方法,其中专用拆卸工具由螺母拆卸工具和转子固定工具组成,转子固定工具包括固定座、手柄一3、定位销一4,固定座为凸台结构,由前端定位轴1和尾端固定轴2相连组成,定位销一4垂直贯穿并固定于定位轴1上,且定位销一4的两端均伸出于定位轴1外表面一定距离,手柄一3竖直贯穿并固定于固定轴2的尾端,其中定位销一4的中轴线与固定座的中轴线垂直,并与手柄一3的中轴线平行,螺母拆卸工具包括卡盘5、手柄二6、定位销二7,卡盘5外形为圆柱形,且其外侧对应两端分别固定连接有一个手柄二6,卡盘5的内部中心位置由左至右依次设有直径逐渐增大的圆孔一8、圆孔二9、圆孔三10,组成一个阶梯孔,定位销二7有两个,且两个定位销二7分别固定于圆孔三10的内侧,并伸出圆孔三10内侧面一定距离,且两个定位销二7的位置相互对称,定位销二7的中轴线与卡盘5的中轴线垂直,并与手柄二6的中轴线平行,其中圆孔一8的直径大于定位轴1的直径,圆孔三10的直径大于定位销一4的长度,当闲置存放时,如图7所示,螺母拆卸工具和转子固定工具可以组合到一起,即定位轴1依次贯穿圆孔三10、圆孔二9、圆孔一8,固定轴2端的立面与卡盘5的侧面抵接,定位销一4位于圆孔三10内。
[0023]如图8所示,其使用方法为:螺母拆卸工具和转子固定工具配合使用,转子固定工
具用于对行星盘转子11进行固定,行星盘转子11的尾端上设有固定槽12,通过转子固定装置将定位销一4卡入槽内,用手握紧手柄一3实现行星盘转子11固定;将螺母拆卸工具卡住转子专用的圆螺母13上,用定位销二7卡紧圆螺母13的凹槽内,然后逆时针旋螺母拆卸工具,从而使圆螺母13松开,安装时则需要顺时针旋转螺母拆卸工具即可实现螺母紧固。
[0024]实施例
[0025]如图8所示,本专利技术实际应用时,设备工程师或保养作业人员对蒸发台行星盘转子拆卸保养,通过转子固定工具对行星盘转子进行固定,行星盘转子上的端部里面设有十字花型的固定槽12,将转子固定工具的定位销一4卡入固定槽12内,用手握紧手柄一3实现行星盘转子11轴向与径向的固定。
[0026]将螺母拆卸工具的定位销二7卡住转子专用圆螺母13的凹槽内,卡紧圆螺母13后逆时针旋螺母拆卸工具,从而使圆螺母13松开,安装时则需要顺时针旋转螺母拆卸工具即可实现圆螺母13紧固,由于行星盘转子11上的螺母为双螺母设计,所以需要对上诉动作重复两本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种行星盘转子专用拆卸工具及其使用方法,其特征在于,所述专用拆卸工具由螺母拆卸工具和转子固定工具组成,所述转子固定工具包括固定座、手柄一、定位销一,所述固定座为凸台结构,由前端定位轴和尾端固定轴相连组成,所述定位销一垂直贯穿并固定于定位轴上,且定位销一的两端均伸出于定位轴外表面一定距离,所述手柄一竖直贯穿并固定于固定轴的尾端,所述螺母拆卸工具包括卡盘、手柄二、定位销二,所述卡盘外形为圆柱形,且其外侧对应两端分别固定连接有一个手柄二,所述卡盘的内部中心位置由左至右依次设有直径逐渐增大的圆孔一、圆孔二、圆孔三,组成一个阶梯孔,所述定位销二有两个,且两个定位销二分别固定于圆孔三的内侧,并伸出圆孔三内侧面一定距离,且两个定位销二的位置相互对称。2.根据权利要求1所述的一种行星盘转子专用拆卸工具及其使用方法,其特征在于,所述其使用方法为:螺母拆卸工具和转子固定工具配合使用,转子固定工具用于对行星盘转子进行固定,行星盘转子的尾端上设有...
【专利技术属性】
技术研发人员:李跃辉,石也琛,
申请(专利权)人:吉林麦吉柯半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:
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