一种便于清理的多线切片机用滤筒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于清理的多线切片机用滤筒，涉及半导体加工技术领域，箱体内部设有第一搭接板，第一搭接板上搭接有过滤筒，过滤筒内壁设有第二搭接板，第二搭接板上搭接有第一过滤装置，第二搭接板下方设有第三搭接板，第三搭接板上搭接有第二过滤装置，箱体一侧设有进液口，箱体底部设有出液口,过滤筒底部设有滤板,箱体顶部设有顶盖，顶盖由螺栓进行固定，该便于清理的多线切片机用滤筒能够提高过滤效率，能够保证过滤后切削液的纯净度，同时过滤筒整体可取出从而便于清理。同时过滤筒整体可取出从而便于清理。同时过滤筒整体可取出从而便于清理。

【技术实现步骤摘要】
一种便于清理的多线切片机用滤筒


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体是一种便于清理的多线切片机用滤筒。

技术介绍

[0002]多线切片机是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式，为保证成片质量，切割时多用到切削液，使用过的切削液经过过滤后可重复使用，降低切割成本，目前市面上多线切片机用滤筒多存在过滤不完全、清理麻烦等问题。
[0003]因此，本领域技术人员提供了一种便于清理的多线切片机用滤筒，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种便于清理的多线切片机用滤筒，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种便于清理的多线切片机用滤筒，所述箱体内部设有第一搭接板，所述第一搭接板上搭接有过滤筒，所述过滤筒内壁设有第二搭接板，所述第二搭接板上搭接有第一过滤装置，所述第二搭接板下方设有第三搭接板，所述第三搭接板上搭接有第二过滤装置，所述箱体一侧设有进液口，所述箱体底部设有出液口,所述过滤筒底部设有滤板,所述箱体顶部设有顶盖，所述顶盖由螺栓进行固定。
[0007]作为本技术进一步的方案：所述第一搭接板为环形且置于箱体内壁，所述第一搭接板均匀设有四个定位柱，所述第一搭接板两侧对称设有两个定位装置，所述定位装置包括固定框,固定框内部设有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮一侧啮合有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮一侧固接有螺纹杆，所述螺纹杆外部螺纹套设有螺纹筒，所述螺纹筒活动贯穿于固定框一侧，所述固定框顶部设有旋钮，所述旋钮底部贯穿固定框并与第一锥形齿轮相固接，所述螺纹筒外部固接有导向块，导向块滑动连接于固定框内。
[0008]作为本技术进一步的方案：所述滤筒顶部边缘位置处均匀竖向贯穿设有四个圆孔，所述过滤筒顶部两端对称设有两个定位孔。
[0009]作为本技术进一步的方案：所述第二搭接板固接于过滤筒内壁，所述第二搭接板上均匀设有四个第一固定块，所述第一固定块呈倒L形，所述第一过滤装置包括第一固定环，所述第一固定环上均匀开设有第一弧形槽，所述第一固定环底部环形固接有第一滤网。
[0010]作为本技术进一步的方案：所述第三搭接板上方均匀设有四个与第一固定块大小位置相同的第二固定块，所述第二过滤装置包括第二固定环，所述第二固定环上均匀
开设有与第二固定块相对的第二弧形槽，所述第二固定环底部环形固接有第二滤网。
[0011]作为本技术进一步的方案：所述第三搭接板内径小于第二搭接板内径，所述第二固定环外径小于第二搭接板内径。
[0012]有益效果
[0013]本技术提供了一种便于清理的多线切片机用滤筒，与现有技术相比具备以下有益效果：
[0014]1.该便于清理的多线切片机用滤筒能够提高过滤效率，能够保证过滤后切削液的纯净度，切削液分别经过第一滤网、第二滤网和滤板的过滤能够对切削液中的残渣充分过滤。
[0015]2.该便于清理的多线切片机用滤筒便于清理，清理滤筒时仅需打开箱体上方的顶盖，旋转两个旋钮至最大位置处，向上移动即可取出过滤筒整体，再分别转动第一固定环和第二固定环并向上移动就可对滤筒内进行进一步清洗。
附图说明
[0016]图1为本技术主体结构示意图；
[0017]图2为本技术图1中A处结构示意图；
[0018]图3为本技术图1中B处放大结构示意图；
[0019]图4为本技术中圆孔安装结构示意图；
[0020]图5为本技术中第一弧形槽结构示意图；
[0021]图6为本技术中第一固定块结构示意图。
[0022]图中：1、箱体；11、进液口；12、出液口；13、顶盖；2、第一搭接板；21、定位柱；22、定位装置；23、固定框；24、第一锥形齿轮；25、第二锥形齿轮；26、螺纹杆；27、螺纹筒；28、旋钮；3、过滤筒；31、圆孔；32、定位孔；33、滤板；4、第二搭接板；41、第一固定块；5、第一过滤装置；51、第一固定环；52、第一弧形槽；53、第一滤网；6、第三搭接板；61、第二固定块；7、第二过滤装置；71、第二固定环；72、第二弧形槽；73、第二滤网。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，请参阅图1～6，本技术实施例如下：
[0024]一种便于清理的多线切片机用滤筒，箱体1内部设有第一搭接板2，第一搭接板2上搭接有过滤筒3，过滤筒3内壁设有第二搭接板4，第二搭接板4上搭接有第一过滤装置5，第二搭接板4下方设有第三搭接板6，第三搭接板6上搭接有第二过滤装置7，箱体1一侧设有进液口11，箱体1底部设有出液口12,过滤筒3底部设有滤板33,箱体1顶部设有顶盖13，顶盖13由螺栓进行固定，螺栓固定的方式便于顶盖13的打开。
[0025]本技术实施例中，第一搭接板2为环形且置于箱体1内壁，环形设计便于切削液向下过滤，第一搭接板2均匀设有四个定位柱21，定位柱21用于对过滤筒3的过滤，第一搭接板2两侧对称设有两个定位装置22，两个定位装置22包括固定框23,固定框23内部设有第一锥形齿轮24，第一锥形齿轮24一侧啮合有第二锥形齿轮25，第二锥形齿轮25一侧固接有螺纹杆26，螺纹杆26外部螺纹套设有螺纹筒27，螺纹筒27活动贯穿于固定框23一侧，固定框
23顶部设有旋钮28，旋钮28底部贯穿固定框23并与第一锥形齿轮24相固接，旋转旋钮28可控制螺纹筒27的移动以便于对过滤筒3进行固定，所述螺纹筒外部固接有导向块，导向块滑动连接于固定框内。
[0026]本技术实施例中，过滤筒3顶部为圆柱形，滤筒顶部边缘位置处均匀竖向贯穿设有四个圆孔31，过滤筒3顶部两端对称设有两个定位孔32，定位孔32和螺纹筒27配合使用对过滤筒3进行固定。
[0027]本技术实施例中，第二搭接板4固接于过滤筒3内壁，第二搭接板4上均匀设有四个第一固定块41，第一固定块41呈倒L形，第一过滤装置5包括第一固定环51，第一固定环51上均匀开设有第一弧形槽52，当第一固定环51置于第二搭接板4上方时，旋转第一固定环51，当固定环51部分旋转至第一固定块41最大位置处可对第一固定环51起到固定作用，第一固定环51底部环形固接有第一滤网53。
[0028]本技术实施例中，第三搭接板6上方均匀设有四个与第一固定块41大小位置相同的第二固定块61，第二过滤装置7包括第二固定环71，第二固定环71上均匀开设有与第二固定块61相对的第二弧形槽72，当第二固定环71在第三搭接板6上旋转至最大位置处，第二固定块61可对第二固定环71起到固定作用，第二固定环71底部环形本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于清理的多线切片机用滤筒，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部设有第一搭接板(2)，所述第一搭接板(2)上搭接有过滤筒(3)，所述过滤筒(3)内壁设有第二搭接板(4)，所述第二搭接板(4)上搭接有第一过滤装置(5)，所述第二搭接板(4)下方设有第三搭接板(6)，所述第三搭接板(6)上搭接有第二过滤装置(7)，所述箱体(1)一侧设有进液口(11)，所述箱体(1)底部设有出液口(12),所述过滤筒(3)底部设有滤板(33),所述箱体(1)顶部设有顶盖(13)，所述顶盖(13)由螺栓进行固定。2.根据权利要求1所述的一种便于清理的多线切片机用滤筒，其特征在于：所述第一搭接板(2)为环形且置于箱体(1)内壁，所述第一搭接板(2)均匀设有四个定位柱(21)，所述第一搭接板(2)两侧对称设有两个定位装置(22)，所述定位装置(22)包括固定框(23),所述固定框(23)内部设有第一锥形齿轮(24)，所述第一锥形齿轮(24)一侧啮合有第二锥形齿轮(25)，所述第二锥形齿轮(25)一侧固接有螺纹杆(26)，所述螺纹杆(26)外部螺纹套设有螺纹筒(27)，所述螺纹筒(27)活动贯穿于固定框(23)一侧，所述固定框(23)顶部设有旋钮(28)，所述旋钮(28)底部贯穿固定框...

【专利技术属性】
技术研发人员：程国平，杨朝晖，韩佳，王坡，
申请(专利权)人：西安普晶半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：