一种探针卡定位机构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆探针台技术领域，且特别涉及了一种探针卡定位机构，包括安装在底座上的行程机构，所述行程机构的顶部设置有回转滑台，所述底座的顶部设置有探针卡安装座，其特征在于：所述回转滑台通过固定座连接有箱体，所述箱体通过测微器连接有水平移动件，所述箱体的内部设置有可移动的竖向移动件。该探针卡定位机构，可通过拧动测微器推动水平移动件移动，以迫使竖向移动件上移，从而带动定位件上升，起到了调节定位件端面相对高度的作用，限制了晶圆与探针卡的最小间隙值，进一步在定位件顶部设置的环形压板，则起到了分散板体反力的作用，可防止单侧的一个或几个定位件因受力过大而导致回转台偏心倾斜的问题。因受力过大而导致回转台偏心倾斜的问题。因受力过大而导致回转台偏心倾斜的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡定位机构


[0001]本技术涉及晶圆探针台领域，具体涉及一种用于晶圆探针卡的定位机构。

技术介绍

[0002]晶圆探针测试也被称为中间测试，它是集成电路生产中的重要一环，晶圆测试的目的就是确保在芯片封装前，尽可能把坏的芯片筛选出来，以节约封装费用，保证最终产品的良品率，晶圆探针测试的主要设备有探针测试台、探针测试机和探针测试卡三部分，它们全部由测试系统的应用测试程序来执行测试，探针卡是测试系统和晶圆间的连接，由电路板和探针组成，其中电路板部分与探针测试机连接。
[0003]探针卡在使用时可直接收集晶圆的输入信号或检查输出值，此时探针卡的接触端会与die表面的焊点接触，但晶圆每个die表面焊点的凸起高度均不同，这就导致了die表面焊点凹凸不平，而探针卡在生产时为了保证与晶圆连接的稳定性，探针的接触端会尽可能保持在同一水平高度附近，之后，在使用探针台时，探针台的行程位移机构会使晶圆尽可能上移，使die表面的焊点与探针尖端接触抵持，但因为die表面的焊点凹凸不平，所以行程位移机构会存在过度上移的情况，以使得各探针的接触端能与对应的焊点充分接触，在上述过程中，晶圆过度上移的距离会通过行程位移机构中的升降滑台进行控制，但因为探针尖端与焊点接触后的变形量极小，现有升降滑台的相对精度难以达到控制要求，易出现若晶圆过度上移距离过大的情况，此时探针的尖端会发生过度弯曲变形，之后，随着测试次数的增加，探针尖端的变形不断累积直至探针卡报废，在上述过程中，因现有升降滑台难以精确控制晶圆过度上移距离的大小，加速了探针卡的损耗，降低了探针卡的使用寿命。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可限制晶圆与探针卡最小间距的探针卡定位机构。
[0005]本技术解决上述问题所采用的技术方案是：一种探针卡定位机构，包括安装在底座上的行程机构，所述行程机构的顶部设置有回转滑台，所述底座的顶部设置有探针卡安装座，所述回转滑台通过固定座连接有箱体，所述箱体通过测微器连接有水平移动件，所述箱体的内部设置有可移动的竖向移动件，所述水平移动件与竖向移动件的相对侧均为斜面，且两斜面相护抵持，所述竖向移动件的顶部设置有定位件，所述定位件的顶端贯穿箱体的内顶壁并延伸至箱体的上方。
[0006]作为本技术所述的一种探针卡定位机构优选方案，其中：所述竖向移动件的侧面设置有限位件，所述箱体内部与限位件相对一侧的内壁开设有用于限制限位件移动方向的限位槽。
[0007]作为本技术所述的一种探针卡定位机构优选方案，其中：所述定位件的侧表面设置有环形凸缘，所述定位件的侧表面套接有弹簧，所述弹簧的两端分别与竖向移动件的顶部和箱体的内顶壁抵持。
[0008]作为本技术所述的一种探针卡定位机构优选方案，其中：所述定位件位于箱体上方的一端通过紧固件连接有环形板件。
[0009]作为本技术所述的一种探针卡定位机构优选方案，其中：所述探针安装座包括与底座连接的板体，所述板体顶部的中心位置开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有探针卡，所述安装槽的内底壁与探针卡底部探针对应的位置开设有通槽，所述探针卡底部探针穿过通槽并延伸至板体的下方。
[0010]本技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：
[0011]该探针卡定位机构，可通过拧动测微器推动水平移动件移动，以迫使竖向移动件上移，从而带动定位件上升，起到了调节定位件端面相对高度的作用，限制了晶圆与探针卡的最小间隙值，进一步在定位件顶部设置的环形压板，则起到了分散板体反力的作用，可防止单侧的一个或几个定位件因受力过大而导致回转台偏心倾斜的问题。
附图说明
[0012]图1是本技术实施例的结构示意图。
[0013]图2是本技术实施例箱体的俯剖视图。
[0014]图3是本技术实施例箱体的侧剖视图。
[0015]图4是本技术实施例回转滑台的结构示意图。
[0016]图5是本技术实施例环形板件的结构示意图。
[0017]其中：1、行程机构；2、回转滑台；3、固定座；4、箱体；5、测微器；6、水平移动件；7、竖向移动件；8、限位件；9、限位槽；10、定位件；11、环形凸缘；12、弹簧；13、环形板件。
具体实施方式
[0018]下面结合附图并通过实施例对本技术作进一步的详细说明，以下实施例是对本技术的解释而本技术并不局限于以下实施例。
[0019]参见图1
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图5，本实施例提供了一种探针卡定位机构，包括安装在底座上的行程机构1，底座由底板和安装在底板相对两侧的侧板组成，行程机构1则安装在底板的顶部。
[0020]其中，行程机构1由集X、Y方向的可调一体型精密滑台和Z轴的升降滑台组成，例如，煜瀚传动元件有限公司生产的型号为YXMXYC6020的X/Y轴精密滑台和升降Z轴
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MZA系列的升降滑台，需要说明的是，上述举例仅仅是为了充分公开本专利技术实施例，不能理解为对其他可实现方案的排他性限定。
[0021]行程机构1的顶部设置有回转滑台2。
[0022]其中，回转滑台2为旋转滑台，可进行三百六十度旋转，例如，煜瀚传动元件有限公司生产的型号旋转θ轴
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MRA系列的滑台。
[0023]底座的顶部设置有探针卡安装座。
[0024]其中，探针安装座包括通过两个侧板与地板连接的板体，板体顶部的中心位置开设有安装槽，安装槽的内部设置有探针卡，且板体通过紧固件连接有安装板，从而将探针卡限制在安装槽内，以起到防护作用，安装槽的内底壁与探针卡底部探针对应的位置开设有通槽，探针卡底部探针穿过通槽并延伸至板体的下方。
[0025]回转滑台2通过固定座3连接有箱体4，固定座3通过紧固件与回转滑台2顶部的转
盘连接，箱体4通过测微器5连接有水平移动件6。
[0026]测微器5通过安装件安装在箱体4侧面，且箱体4设有测微器5的一侧开设有通孔，测微器5的驱动端穿过通孔并延伸至箱体4的内部，且测微器5驱动端位于箱体4内部的一端与水平移动件6的侧面固定连接，以起到推动水平移动件6移动的作用，且水平移动件6的尺寸与箱体4的尺寸相适配。
[0027]其中，测微器5为螺旋测微器，是现有技术，可通过拧动外部的螺旋套筒控制测微头的伸缩，进而起到控制水平移动件6移动距离的作用。
[0028]箱体4的内部设置有可移动的竖向移动件7。
[0029]其中，竖向移动件7的相对两侧均设置有限位件8，箱体4内部与限位件8相对的内壁均开设有与限位件8尺寸相适配的限位槽9，限位件8位于限位槽9的内部，可限位件8可在限位槽9内移动，在限位件8和限位槽9的共同作用下，竖向移动件7只能进行升降移动，避免了竖向移动件7在升降过程中发生倾斜偏移。
[0030]水平移动件6与竖向移动件7的相对侧均为斜面，且两斜面相护抵持，水平移动件6与竖向移动件7的斜面的倾角角度可根据实际使用情况而定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡定位机构，包括安装在底座上的行程机构(1)，所述行程机构(1)的顶部设置有回转滑台(2)，所述底座的顶部设置有探针卡安装座，其特征在于：所述回转滑台(2)通过固定座(3)连接有箱体(4)，所述箱体(4)通过测微器(5)连接有水平移动件(6)，所述箱体(4)的内部设置有可移动的竖向移动件(7)，所述水平移动件(6)与竖向移动件(7)的相对侧均为斜面，且两斜面相护抵持，所述竖向移动件(7)的顶部设置有定位件(10)，所述定位件(10)的顶端贯穿箱体(4)的内顶壁并延伸至箱体(4)的上方。2.根据权利要求1所述的一种探针卡定位机构，其特征在于：所述竖向移动件(7)的侧面设置有限位件(8)，所述箱体(4)内部与限位件(8)相对一侧的内壁开设有用于限制限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕孟光，
申请(专利权)人：安徽京元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：