一种圆锥形产品退火治具制造技术

技术编号:37223135 阅读:9 留言:0更新日期:2023-04-20 23:08
本发明专利技术提供一种圆锥形产品退火治具,涉及石英产品加工领域。该圆锥形产品退火治具,包括圆锥底座,所述圆锥底座上表面活动设置有圆锥上盖,所述圆锥底座底面中心处开设有通孔,所述圆锥上盖两侧外表面分别开设有夹槽,具体包括以下制备方法,S1.材料选取,S2.材料清洁,S3.材料固定,S4.材料加工,S5.成品清洁。通过上盖形状尺寸和产品上方尺寸吻合,在退火时压住产品,使产品达到所需要求,底座的放置处尺寸与产品下方尺寸吻合,将产品放置在底座上,确定产品不会晃动,与底座贴合紧密,盖上上盖,退火时,当产品受到上盖带来的压力和温度的作用下,产品就达到所需状态,在满足产品工艺要求的前提下,降低返修率,提高生产效率,减低成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种圆锥形产品退火治具


[0001]本专利技术涉及石英产品加工领域,具体为一种圆锥形产品退火治具。

技术介绍

[0002]石英玻璃制品以其优良的物理化学特性,被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。半导体石英产品在完成加工后都需要退火去应力,由于退火炉温度较高,退火时石英产品会产生一定的变形,部分产品因其自身的特殊结构和尺寸要求高,如果没有支撑,产品的变形可能会超出公差要求,出现产品返修困难和报废现象。
[0003]现有的退火是直接将产品放置在退火炉的支撑架上进行退火,易出现产品返修率高和报废现象,同时,现有的治具在进行生产时,由于加工工程中需要对其进行夹持,易在其表面造成损伤,影响治具整体进行使用时的使用效果和精度。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种圆锥形产品退火治具,解决了现有的石英产品退火加工时产品没有制成,易发生形变,返修率和生产成本高,治具的加工精度难以保证的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:一种圆锥形产品退火治具,包括圆锥底座,所述圆锥底座上表面活动设置有圆锥上盖;
[0008]所述圆锥底座底面中心处开设有通孔,所述圆锥上盖两侧外表面分别开设有夹槽。
[0009]优选的,具体包括以下制备方法:
[0010]S1.材料选取
[0011]根据图纸尺寸选择两块合适大小的石英原材料,选取的石英原材料需确保表面无裂痕和污点,石英原材料内部无杂质;
[0012]S2.材料清洁
[0013]将选择好的材料放入到清洁环境中,先通过石油醚和丙酮混合液对石英原材料表面进行冲洗清洁,清洁完成后通过无纺布将材料表面擦干;
[0014]S3.治具粗加工
[0015]将两块石英原材料进行区分,一块作为底座部分的材料,一块作为上盖部分的材料,将两块材料分别通过磨床对外形四面进行初步加工,使治具整体外形见光后,进一步将治具外形四面按图要求加工至上公差;
[0016]S4.治具精加工
[0017]将粗加工完成的石英原材料底面涂布热熔后的石蜡,通过石蜡将代加工的石英原材料固定到加工中心的工作台上,以精定位分中作为加工基准,将治具外形四面去除变形,
将正反面精加工到位,其他位置按图纸公差加工到位,加工完成,将工作台取下,加热使石蜡熔化,取下成品;
[0018]S5.成品清洁
[0019]将加工的成品放入到超声波清洗机中,向超声波清洗机内加入去离子水,对退火治具成品进行清洗,并通过乙醇对成品进行脱水。
[0020]优选的,所述S2中,石油醚的浓度为75%

80%。
[0021]优选的,所述S2中,丙酮的浓度为85%

90%。
[0022]优选的,所述S2中,石油醚和丙酮的体积比为8:3。
[0023]优选的,所述S5中,超声波清洗机超声频率为60

75%kH,清洗温度为15

25℃,清洗时间为10

25mi n。
[0024]优选的,所述S5中,脱水所使用乙醇为无水乙醇。
[0025](三)有益效果
[0026]本专利技术提供了一种圆锥形产品退火治具。具备以下有益效果:
[0027]1、本专利技术提供了一种圆锥形产品退火治具,该退火治具的上盖形状尺寸和产品上方尺寸吻合,作用是产品在退火时压住产品,使产品达到所需要求,底座的放置处尺寸与产品下方尺寸吻合,将产品放置在底座上,确定产品不会晃动,与底座贴合紧密,盖上上盖,退火时,当产品受到上盖带来的压力和温度的作用下,产品就达到所需状态,在满足产品工艺要求的前提下,降低返修率,提高生产效率,减低成本。
[0028]2、本专利技术提供了一种圆锥形产品退火治具,该退火治具在进行精加工生产时,通过采用将熔化的石蜡涂抹在原材料底端对治具进行固定,避免了传统加工方式中通过夹具对治具整体进行固定会在治具外表留下划痕的情况,避免治具在精加工过程中因受到外力夹持导致加工过程中产生破碎,降低使用者进行加工的操作难度,提升该治具加工的成品率。
[0029]3、本专利技术提供了一种圆锥形产品退火治具,该退火治具在进行加工生产时,采用将加工过程细分为粗加工和精加工的加工方式,粗加工过程中治具四周及其他部位均留有余量,直至精加工完成将余量去除,通过这种加工方式,有利于提升治具整体的加工精度,提升加工效果。
附图说明
[0030]图1为本专利技术的轴测示意图;
[0031]图2为本专利技术的圆锥底座的轴测示意图;
[0032]图3为本专利技术的圆锥上盖的轴测示意图;
[0033]图4为本专利技术的正剖视示意图。
[0034]其中,1、圆锥上盖;2、夹槽;3、圆锥底座;4、通孔。
具体实施方式
[0035]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他
实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0036]实施例:
[0037]如图1

4所示,本专利技术实施例提供一种圆锥形产品退火治具,包括圆锥底座3,有利于使用者在进行石英产品退火时,将产品进行放置支撑,圆锥底座3上表面活动设置有圆锥上盖1,有利于使用者在进行使用时,将产品进行盖压贴合,确保支撑效果,提升产品的成品率,降低成本;
[0038]圆锥底座3底面中心处开设有通孔4,有利于提升治具的透气性,确保治具可以更好地和产品进行贴合,圆锥上盖1两侧外表面分别开设有夹槽2,便于使用者将圆锥上盖1进行安放和取下,使治具形状更加便于使用。
[0039]具体包括以下制备方法:
[0040]S1.材料选取
[0041]根据图纸尺寸选择两块合适大小的石英原材料,选取的石英原材料需确保表面无裂痕和污点,石英原材料内部无杂质,有利于治具成品的质量,避免成品使用加工过程中出现破损断裂,提升成品率;
[0042]S2.材料清洁
[0043]将选择好的材料放入到清洁环境中,先通过石油醚和丙酮混合液对石英原材料表面进行冲洗清洁,清洁完成后通过无纺布将材料表面擦干,有利于去除原材料表面杂质,提升加工效果;
[0044]S3.治具粗加工
[0045]将两块石英原材料进行区分,一块作为底座部分的材料,一块作为上盖部分的材料,将两块材料分别通过磨床对外形四面进行初步加工,使治具整体外形见光后,进一步将治具外形四面按图要求加工至上公差,有利于提升治具成品整体的精度,确保治具可以有效对产品进行支撑夹持,延长治具的使用寿命,提升治具的使用效果;
[0046]S4.治具精加工
[004本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种圆锥形产品退火治具,包括圆锥底座(3),其特征在于:所述圆锥底座(3)上表面活动设置有圆锥上盖(1);所述圆锥底座(3)底面中心处开设有通孔(4),所述圆锥上盖(1)两侧外表面分别开设有夹槽(2)。2.根据权利要求1所述的一种圆锥形产品退火治具,其特征在于,具体包括以下制备方法:S1.材料选取根据图纸尺寸选择两块合适大小的石英原材料,选取的石英原材料需确保表面无裂痕和污点,石英原材料内部无杂质;S2.材料清洁将选择好的材料放入到清洁环境中,先通过石油醚和丙酮混合液对石英原材料表面进行冲洗清洁,清洁完成后通过无纺布将材料表面擦干;S3.治具粗加工将两块石英原材料进行区分,一块作为底座部分的材料,一块作为上盖部分的材料,将两块材料分别通过磨床对外形四面进行初步加工,使治具整体外形见光后,进一步将治具外形四面按图要求加工至上公差;S4.治具精加工将粗加工完成的石英原材料底面涂布热熔后的石蜡,通过石蜡将代加工的石英原材料固定到加工中心的工作台上,以精定位分中作为加工基准,将治具外形四面去除变形,将正反面精加工到位...

【专利技术属性】
技术研发人员:王飞华许冬华宋建伟
申请(专利权)人:杭州泓芯微半导体有限公司
类型:发明
国别省市:

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