一种多工位连续式真空镀膜设备制造技术

本申请涉及真空镀膜技术领域，且提供了一种多工位连续式真空镀膜设备，包括真空箱，真空箱的上表面设有真空泵，真空箱的下表面固定连接有底座，真空箱的表面开设有放料口。通过设置的密封组件、控制组件和真空箱等装置的设置，当需要将镀膜完成后的产品取出时，只需要启伺服电机，伺服电机带动传动筒进行转动，传动筒带动密封组件移动到指定位置后，转动把手，把手控制密封板对出料口周围进行密封，密封完成后拉动密封门将产品取出，并将新的产品放置到放料板表面即可解决了现有技术中的产品取出时需要破真空，而产品的放入要抽真空，因而大大增加了产品的生产时间，从而相应增加了生产成本，停顿之间长，影响加工效率的问题。影响加工效率的问题。影响加工效率的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种多工位连续式真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜领域，具体而言，涉及一种多工位连续式真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]在真空镀膜领域，一般将需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构－迷状结构－层状生长)形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]经检搜中国专利申请号20192082864.X，公开了一种方便进料的真空镀膜设备，包括镀膜机壳、进料门、转轴、把手、防滑软套、密封槽、密封圈、固定块、减震垫以及螺纹柱，镀膜机壳前端面安装有进料门，进料门左端面连接有转轴，进料门前端面安装有把手，把手外表面套设有防滑软套，镀膜机壳内部前侧开设有密封槽，密封槽内部粘接有密封圈，密封圈内部连接有固定块，密封圈后侧设置有减震垫，减震垫内部安装有螺纹柱，该设计解决了原有真空镀膜设备不便于进料的问题，本技术结构合理，便于组合安装，使用效果，但上述技术在使用过程中，产品取出时需要破真空，而产品的放入要抽真空，因而大大增加了产品的生产时间，从而相应增加了生产成本，停顿之间长，影响加工效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：针对目前存在产品取出时需要破真空，而产品的放入要抽真空，因而大大增加了产品的生产时间，从而相应增加了生产成本，停顿之间长，影响加工效率的问题。
[0005]为了实现上述专利技术目的，本技术提供了以下技术方案：
[0006]一种多工位连续式真空镀膜设备，包括真空箱，所述真空箱的上表面设有真空泵，所述真空箱的下表面固定连接有底座，所述真空箱的表面开设有放料口，所述真空箱表面对应放料口处开设有滑槽，所述真空箱通过滑槽滑动连接有密封门，所述密封门的两侧设有与滑槽相互适配的密封滑块，所述真空箱的内部转动连接有传动筒，所述传动筒的上表面设有密封组件，所述传动筒的内部设有传动组件，所述传动筒的外弧面转动连接有支撑环，所述支撑环的外弧面固定连接有支撑架，所述支撑架远离支撑环的一端固定连接于工位板，所述底座的上表面设有控制组件。
[0007]作为本申请优选的技术方案，所述密封组件包括挡板，所述挡板固定连接于传动筒的上表面，所述挡板的内部开设有放置槽，所述放置槽的内底壁转动连接有控制齿轮，所述控制齿轮的一侧固定连接有连接杆，所述连接杆的一端贯穿真空箱的内顶壁并延伸至外部。
[0008]作为本申请优选的技术方案，所述控制齿轮的表面啮合连接有齿板，所述齿板的数量为四个，四个所述齿板呈对称分布于控制齿轮的表面，所述齿板的一端固定连接有密
封板，所述连接杆的一端固定连接有把手，所述挡板的一侧固定连接有极阴板。
[0009]作为本申请优选的技术方案，所述传动组件包括电机箱，所述电机箱固定连接于传动筒的下表面，所述电机箱的内底壁固定连接有传动电机，所述传动电机的输出端固定连接有传动齿轮。
[0010]作为本申请优选的技术方案，所述传动齿轮的表面啮合连接有行星齿轮，所述行星齿轮的数量为四个，四个所述行星齿轮呈环形阵列分布于传动齿轮的表面。
[0011]作为本申请优选的技术方案，所述行星齿轮的一侧通过转轴转动连接于传动筒的内底壁，所述行星齿轮的另一侧固定连接有转杆，所述转杆的数量为四个，四个所述转杆呈对称分布于四个行星齿轮的一侧。
[0012]作为本申请优选的技术方案，所述转杆的一端贯穿传动筒的内顶壁并延伸至外部，所述转杆远离行星齿轮的一端固定连接有放料板，所述放料板的数量为四个，四个所述放料板呈对称分布于四个转杆的一端。
[0013]作为本申请优选的技术方案，控制组件包括连接板，所述连接板固定连接于底座的上表面，所述连接板的一侧通过支护固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有传动皮带轮。
[0014]作为本申请优选的技术方案，所述传动筒的外弧面设有凹槽，所述传动皮带轮与凹槽的表面搭接有同一从动皮带。
[0015]作为本申请优选的技术方案，所述支撑环的内弧面固定连接有支撑腿，所述支撑腿的数量为四个，四个所述支撑腿呈对称分布于支撑环的内弧面，所述极阴板的数量为四个，四个所述极阴板呈对称分布于挡板的一侧，所述极阴板的上表面固定连接有固定杆，所述固定杆远离极阴板的一端固定连接于真空箱的内顶壁。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果：
[0017]在本申请的方案中：
[0018]1.通过设置的密封组件、控制组件和真空箱等装置的设置，当需要将镀膜完成后的产品取出时，只需要启伺服电机，伺服电机带动传动筒进行转动，传动筒带动密封组件移动到指定位置后，转动把手，把手控制密封板对出料口周围进行密封，密封完成后拉动密封门将产品取出，并将新的产品放置到放料板表面即可解决了现有技术中的产品取出时需要破真空，而产品的放入要抽真空，因而大大增加了产品的生产时间，从而相应增加了生产成本，停顿之间长，影响加工效率的问题；
[0019]2.通过设置的传动组件、真空箱和工位板等装置的设置，当需要对产品进行均匀的镀膜时，只需要启动传动电机，传动电机带动传动齿轮转动，传动齿轮转动带动行星齿轮进行转动，行星齿轮带动转杆转动，转杆带动放料板进行转动，从而使产品均匀地进行镀膜，进而避免了产品镀膜不均匀需要重新加工的情况发生。
附图说明
[0020]图1为本申请提供的整体的结构示意图；
[0021]图2为本申请提供的第二形态结构示意图；
[0022]图3为本申请提供的部分的结构示意图；
[0023]图4为本申请提供的部分结构剖面结构示意图；
[0024]图5为本申请提供的传动组件的结构示意图；
[0025]图6为本申请提供的密封组件俯视示意图；
[0026]图7为本申请提供的密封组部分结构示意图；
[0027]图8为本申请提供的第二视角结构示意图。
[0028]图中标示：
[0029]1、真空箱；2、真空泵；3、放料口；4、密封门；5、密封组件；501、挡板；502、控制齿轮；503、齿板；504、连接杆；505、密封板；6、传动筒；7、传动组件；701、传动电机；702、传动齿轮；703、行星齿轮；704、放料板；8、支撑环；9、控制组件；901、连接板；902、伺服电机；903、传动皮带轮；904、凹槽；905、从动皮带；10、极阴板。
具体实施方式
[0030]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0031]因此，以下对本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多工位连续式真空镀膜设备，包括真空箱(1)，其特征在于，所述真空箱(1)的上表面设有真空泵(2)，所述真空箱(1)的下表面固定连接有底座，所述真空箱(1)的表面开设有放料口(3)，所述真空箱(1)表面对应放料口(3)处开设有滑槽，所述真空箱(1)通过滑槽滑动连接有密封门(4)，所述密封门(4)的两侧设有与滑槽相互适配的密封滑块，所述真空箱(1)的内部转动连接有传动筒(6)，所述传动筒(6)的上表面设有密封组件(5)，所述传动筒(6)的内部设有传动组件(7)，所述传动筒(6)的外弧面转动连接有支撑环(8)，所述支撑环(8)的外弧面固定连接有支撑架，所述支撑架远离支撑环(8)的一端固定连接于工位板，所述底座的上表面设有控制组件(9)。2.根据权利要求1所述的一种多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于，所述密封组件(5)包括挡板(501)，所述挡板(501)固定连接于传动筒(6)的上表面，所述挡板(501)的内部开设有放置槽，所述放置槽的内底壁转动连接有控制齿轮(502)，所述控制齿轮(502)的一侧固定连接有连接杆(504)，所述连接杆(504)的一端贯穿真空箱(1)的内顶壁并延伸至外部。3.根据权利要求2所述的一种多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于，所述控制齿轮(502)的表面啮合连接有齿板(503)，所述齿板(503)的数量为四个，四个所述齿板(503)呈对称分布于控制齿轮(502)的表面，所述齿板(503)的一端固定连接有密封板(505)，所述连接杆(504)的一端固定连接有把手，所述挡板(501)的一侧固定连接有极阴板(10)。4.根据权利要求1所述的一种多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于，所述传动组件(7)包括电机箱，所述电机箱固定连接于传动筒(6)的下表面，所述电机箱的内底壁固定连接有传动电机(701)，所述传动电机(701)的输出端固定连接有传动齿轮(702)。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：张春峰，
申请(专利权)人：深圳市杰能达实业有限公司，
类型：新型
国别省市：