一种蒸镀基板制造技术

本实用新型专利技术提供了一种蒸镀基板，属于OLED技术领域。本实用新型专利技术的蒸镀基板，包括玻璃基板，覆盖在玻璃基板上表面与四个侧面的保护膜，以及设在玻璃基板下方的导电层，其中：所述保护膜基材层的尺寸，长A，宽B，厚C，与玻璃基板尺寸，长L，宽D，厚T，满足以下关系：（L+3T）≥A≥（L+2T）；（D+3T）≥B≥（D+2T）。本实用新型专利技术提供的蒸镀基板在蒸镀腔体内流转过程中，由于设备异常发生碰撞时，由于保护膜的存在，蒸镀基板虽然会受到应力破损，但并不会完全裂开，然后通过机械手将破片整体取出；本实用新型专利技术既可以避免裂片产生玻璃粉污染腔体的情况，又可以节省开腔清理破片的时间，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀基板


[0001]本技术涉及一种蒸镀基板，属于电致发光
，具体来说，属于有机电致发光


技术介绍

[0002]自有机发光二极管（OLED）被发现以来，由于其重量轻、灵活性以及优异的光电性能，在显示和固态照明领域显示出巨大的潜力。
[0003] OLED器件是在基板上设置两层薄膜电极，然后在两层薄膜电极之间设置有机层，导通两层薄膜电极，从而点亮有机层，达到发光效果；
[0004]OLED器件的电极薄膜通常是溅镀形成的，而有机层薄膜通常由蒸镀形成，在蒸镀过程中，基板在真空腔体内不断传动，从而在该基板上形成不同的有机层薄膜；然而由于基板厚度很薄，加上腔体内机械机构绝大部分为钢部件，经常会出现基板在真空腔体内碰撞而破片或者破脚的情况，玻璃碎片需要及时清除，腔体环境需要重新再生；这时需要关闭加热源，打开腔体进行清理，不但影响了生产的连续性，也会造成玻璃碎屑污染腔体的情况。
[0005]中国专利202210055763.0公布了一种基板破片监测装置。该专利技术中，通过压力检测基板是否有裂痕，检测异常后及时反馈状态，减少了直接破片的风险；然而此种装置只能从结果上反馈减少基板破片的风险，缺少对基板的保护措施。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种蒸镀基板。本技术的蒸镀基板，不但可以减少破片的概率，而且可以降低破片造成的影响。
[0007]本技术的技术方案如下：
[0008]一种蒸镀基板，包括玻璃基板，覆盖在玻璃基板上表面与四个侧面的保护膜，以及设在玻璃基板下方的导电层，其中：
[0009]所述保护膜包括保护膜基材层，所述保护膜基材层的尺寸，长A，宽B，厚C，与玻璃基板尺寸，长L，宽D，厚T，满足以下关系：
[0010]（L+3T）≥A≥（L+2T）；
[0011]（D+3T）≥B≥（D+2T）。
[0012]按照上述方式进行设置，能够确保保护膜可以保护玻璃基板的上表面与四个侧面。
[0013]所述保护膜基材层为耐高温薄膜，耐热温度250℃以上；所述保护膜基材层的材料可以选自PI、PEEK或PTFE等。
[0014]所述保护膜基材层设置于玻璃表面远离蒸镀面的一侧。保护膜基材层的作用包括两方面：一是作为缓冲保护玻璃；二是作为保护粘接层，防止玻璃有裂痕后破片。导电层是制作在玻璃基板上的功能层，用于拓展玻璃基板的应用。
[0015]进一步地，所述保护膜还包括保护膜胶材层，所述保护膜胶材层的材料选自丙烯
酸或环氧树脂等耐高温胶。所述保护膜胶材层的作用是连接保护膜基材层与玻璃基板。
[0016]进一步地，所述保护膜基材层的厚度为50μm
‑
500μm；优选厚度为100μm。
[0017]进一步地，所述玻璃基板的材质选择钠钙玻璃、硅铝玻璃或硼硅玻璃等。钠钙玻璃、硅铝玻璃或硼硅玻璃均为现有市售产品，供应厂商包括长信、南玻等厂家。
[0018]进一步地，所述玻璃基板厚度为0.5
‑
1.1mm，优选厚度为0.7mm。
[0019]进一步地，所述导电层选择ITO薄膜或MAM薄膜中一种或者多种。
[0020]本技术的蒸镀基板，通过以下步骤制备：
[0021]S1、用纯水清洗玻璃基板，在经过风刀，烘烤工序，制备洁净的玻璃基板；
[0022]S2、将洁净的玻璃基板放置于真空贴合平台A，经过CCD对位后，抽取真空，固定玻璃基板；
[0023]S3、将带有保护膜胶材的保护膜置于真空贴合平台B，胶面向上，经过CCD对位后，抽取真空，固定保护膜；
[0024]S4、真空贴合B面翻转，对位至真空平台A，同时真空平台A开启加热功能，温度为40
‑
60℃；
[0025]S5、对位完成后，真空平台B下降至真空平台A处，完成贴合动作。
[0026]1）由于保护膜的设置，可以覆盖玻璃的上表面与四个侧面，基板在与腔体内部件发生碰撞时，覆盖在玻璃侧面的保护膜会起到一个缓冲的作用，降低了破片的风险。
[0027] 2）由于保护膜的设置，当基板玻璃发生不可避免的碰撞而产生破片时，由于保护膜的粘合作用，玻璃并不会直接裂开，而是粘合在保护膜上，可以轻易的通过传动机构将破片取出，避免了碎屑污染腔体的情况，也提高了生产效率。
附图说明
[0028]为能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，然而所附图仅提供参考与说明用，并非用来对本技术加以限制。
[0029]图1是本技术实施例1中器件的结构示意图。
[0030]图2是本技术实施例1中小球碰撞实验基板上的碰撞位置图。
[0031]图3是本技术一种可变实施方式的结构示意图。
[0032]图4是本技术实施例1的测试结果。
[0033]其中；10为玻璃基板，20为保护膜，21为保护膜基材层，22为保护膜胶材层，30为导电层。
具体实施方式
[0034]本技术提供了一种蒸镀基板，包括玻璃基板10、覆盖在玻璃基板10上表面与四个侧面的保护膜20，以及设在玻璃基板10下方的导电层30，其中：
[0035]所述保护膜20包括保护膜基材层21，所述保护膜基材层21的尺寸（长A，宽B，厚C）、与玻璃基板10的尺寸（长L，宽D，厚T）满足以下关系：
[0036]（L+3T）≥A≥（L+2T）；
[0037]（D+3T）≥B≥（D+2T）。
[0038]所述保护膜基材层21为耐高温薄膜，耐热温度250℃以上；所述保护膜基材层21的
材料选择PI、PEEK、PTFE等材料；所述保护膜基材层设置于玻璃表面远离蒸镀面的一侧。
[0039]所述保护膜20还包括保护膜胶材层22；其中，保护膜胶材层22用于连接保护膜基材层21与玻璃基板10；所述保护膜胶材层22的材料为丙烯酸，环氧树脂等耐高温胶；
[0040]所述保护膜基材层21的厚度为50μm
‑
500μm；优选厚度为100μm；
[0041]所述玻璃基板10材质选择钠钙玻璃、硅铝玻璃或硼硅玻璃等；
[0042]所述玻璃基板10厚度为0.5
‑
1.1mm，优选厚度为0.7mm；
[0043]所述导电层30选择ITO薄膜、MAM薄膜中一种或者多种。
[0044]所述蒸镀基板通过以下步骤制备：
[0045]S1、用纯水清洗玻璃基板，在经过风刀，烘烤工序，制备洁净的玻璃基板；
[0046]S2、将洁净的玻璃基板放置于真空贴合平台A，经过CCD对位后，抽取真空，固定玻璃基板；
[0047]S3、将带有保护膜胶材层的保护膜置于真空贴合平台B，胶面向上，经过CCD对位后，抽取真空，固定保护膜；
[0048]S4、真空贴合B面翻转，对位至真空平台A，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀基板，其特征在于，包括玻璃基板，覆盖在玻璃基板上表面与四个侧面的保护膜，以及设在玻璃基板下方的导电层，其中：所述保护膜包括保护膜基材层，所述保护膜基材层的尺寸，长A，宽B，厚C，与玻璃基板尺寸，长L，宽D，厚T，满足以下关系：（L+3T）≥A≥（L+2T）；（D+3T）≥B≥（D+2T）；所述保护膜基材层的材料选自PI、PEEK或PTFE。2.根据权利要求1所述的蒸镀基板，其特征在于，所述保护膜还包括保护膜胶材层；所述保护膜胶材层的材料选自丙烯酸或环氧树脂。3.根据权利要求1所述的蒸镀基板，其特征在于，所述保护膜基材层...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐亚晨，谢发飞，封晓猛，魏斌，叶子云，
申请(专利权)人：南京迪视泰光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：