一种单晶加热器保温结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种单晶加热器保温结构，属于单晶加热器技术领域。包括加热器及安装在加热器侧面的支脚，所述的加热器下方通过吊杆螺栓吊装有保温环毡。本实用新型专利技术通过吊杆螺栓在加热器的下方吊装保温环毡，有效提高加热器中上部的保温性能，降低整体热场的能耗，节约成本；同时，可以降低加热器底部区域的温度，降低坩埚本体中的氧含量进入到溶体内部，从而大大降低产品的氧含量，提高晶棒的产品质量。提高晶棒的产品质量。提高晶棒的产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶加热器保温结构


[0001]本技术属于单晶加热器
，具体的说，涉及一种单晶加热器保温结构。

技术介绍

[0002]现用的单晶加热器底部区域没有阻挡，一部分向下的辐射的热量直接从底部随气流带走流失，能耗损失较大。底部区域坩埚温度过高，等径阶段长时间高温导致坩埚形变，降低了坩埚的使用寿命，同时坩埚内部的氧含量更容易进入到硅熔体内，提高了晶棒中氧含量。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本技术提出了一种单晶加热器保温结构。有效改善加热器中上部的保温性能。
[0004]为达到上述目的，本技术按如下技术方案实施的：
[0005]一种单晶加热器保温结构，包括加热器1及安装在加热器1侧面的支脚5，其特征在于：所述的加热器1下方通过吊杆螺栓3吊装有保温环毡2。
[0006]优选的，所述的保温环毡2上均匀间隔设有通孔，吊杆螺栓3穿过通孔后与加热器1螺纹旋接。
[0007]优选的，所述的通孔内设有位于吊杆螺栓3和保温环毡2之间的绝缘陶瓷管4。
[0008]本技术的有益效果：
[0009]本技术通过吊杆螺栓在加热器的下方吊装保温环毡，有效提高加热器中上部的保温性能，降低整体热场的能耗，节约成本；同时，可以降低加热器底部区域的温度，降低坩埚本体中的氧含量进入到溶体内部，从而大大降低产品的氧含量，提高晶棒的产品质量。
附图说明
[0010]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0011]图1是本技术立体结构示意图；
[0012]图2是本技术保温环毡立体结构示意图；
[0013]图3是本技术保温环毡剖视示意图；
[0014]图4是本技术使用状态图1；
[0015]图5是本技术使用状态图2；
[0016]图中，1
‑
加热器、2
‑
保温环毡、3
‑
吊杆螺栓、4
‑
绝缘陶瓷管、5
‑
支脚。
具体实施方式
[0017]为了使本技术的目的、技术方案和有益效果更加清楚，下面将结合附图，对本技术的优选实施例进行详细的说明，以方便技术人员理解。
[0018]由图所示，一种单晶加热器保温结构，包括加热器1及安装在加热器1侧面的支脚5，支脚5有两支，分别安装在加热器1的两侧，支脚5的顶部与加热器1的侧面通过螺钉连接为一体，支架的下端向下延伸，安装时通过支脚5将加热器1安装在单晶硅炉中，所述的加热器1下方通过吊杆螺栓3吊装有保温环毡2，保温环毡2呈半圆环状，两个组合使用，保温环毡2材质包含碳纤维结构固化碳毡、软毡，也可以采用CC材质替代或者由CC材和固化碳毡相结合的结构材料。加热器1的底部预开设有与吊杆螺栓3相匹配的螺纹孔，安装时。将吊杆螺栓3穿过保温环毡2后与螺纹孔旋接，从而将保温环毡2吊装在加热器1的下方，有效提高加热器1中上部的保温性能，降低整体热场的能耗，节约成本；同时，可以降低加热器1底部区域的温度，降低坩埚本体中的氧含量进入到溶体内部，从而大大降低产品的氧含量，提高晶棒的产品质量。
[0019]优选的，所述的保温环毡2上均匀间隔设有通孔，吊杆螺栓3穿过通孔后与加热器1螺纹旋接，有效提高保温环毡2的受力均匀性，确保使用过程中保温环毡2位置的固定。
[0020]优选的，所述的通孔内设有位于吊杆螺栓3和保温环毡2之间的绝缘陶瓷管4，通过绝缘陶瓷管4在吊杆螺栓3和保温环毡2之间形成绝缘层，有效避免加热器1和保温环毡2连通形成短路或者影响加热电阻。
[0021]在本实施例中，所述的吊杆螺栓3具有多种不同长度型号，使用时，可通过更换不同型号的吊杆螺栓3，或者调节吊杆螺栓3旋入螺纹孔的间距，从而通过吊杆螺栓3调节保温环毡2与加热器1底部之间的距离，从而改善热场纵向温度梯度，使其满足不同的工艺的需求。
[0022]在本实施例中，所述的保温环毡2具有多种不同厚度型号，使用时，可通过更换不同型号的保温环毡2，改变保温环毡2的厚度，从而得到不同的保温性能，改善热场纵向温度梯度，使其满足不同的工艺的需求。
[0023]最后说明的是，以上优选实施例仅用以说明本技术的技术方案而非限制，尽管通过上述优选实施例已经对本技术进行了详细的描述，但本领域技术人员应当理解，可以在形式上和细节上对其做出各种各样的改变，而不偏离本技术权利要求书所限定的范围；附图尺寸与具体实物无关，实物尺寸可任意变换。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶加热器保温结构，包括加热器（1）及安装在加热器（1）侧面的支脚（5），其特征在于：所述的加热器（1）下方通过吊杆螺栓（3）吊装有保温环毡（2）。2.根据权利要求1所述的一种单晶加热器保温结构，其特征在于：所述的保温...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志军，陈伟，许堃，李安君，吴超慧，李永刚，罗昌萍，
申请(专利权)人：宇泽半导体云南有限公司，
类型：新型
国别省市：