等离子体发生器及其阴极制造技术

本实用新型专利技术涉及等离子体发生器及其阴极。本实用新型专利技术提出的复合式阴极包括管形阴极主体、安装在阴极主体上的阴极头以及在阴极主体内的冷却水管，冷却水从冷却水管进入，由冷却水管端部的喷嘴喷到阴极头的尾部以对阴极头进行冷却，并经由冷却水管和阴极主体之间的空间回流，其特征在于，所述阴极头在阴极主体轴线方向上的尺寸大于其直径。本实用新型专利技术的等离子体发生器包括上述复合式阴极。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及等离子体发生器及其阴极。
技术介绍
等离子体发生器的核心部件是阳极和阴极。其产生等离子体的原理是阴极联接于电源负极，阳极联接于电源正极，首先使阴极和阳 极接触，电源输送出稳恒电流。当阴极緩緩离开阳极时，随着电压的 建立，两极之间形成高温等离子体火炬，具体地讲是阴极发射的电子 将空气击穿形成等离子火炬。阴极作为发射电子的一极，长时间的工 作会在阴极的表面烧蚀出一个凹坑。为了降低阴极在高温下的烧蚀速 度，已经提出了采用冷却水来冷却阴极的复合式阴极，来延长阴极的 使用寿命。如附图说明图1所示，传统的水冷复合式阴极包括管形的阴极主体12安 装在阴极主体前段的阴极头14以及在阴极主体内部的冷却水管16。 阴极头14是狭义上的阴极，亦即被消耗的部分。阴极头14的工作端， 也就是用来与阳极相对的一端为其头部，另一端则为尾部。管形阴极 主体的前端由阴极头封闭。也就是说，阴极头尾部暴露于管形阴极主 体的内部。冷却水从图1中的右端进入冷却水管16,由冷却水喷嘴 18喷射到阴极头14的尾部上，对阴极头14产生冷却作用。冷却水沿 着图中的单箭头方向从冷却水管和管形阴极主体之间的空间中回流。这种结构的复合式阴极的阴极头为扁平形状，其使用寿命仍然有 待提兩。
技术实现思路
鉴于上述问题，本技术的目的是提供一种改进的用于等离子体发生器的寿命更长的阴极，以及使用这种阴极的等离子体发生器。为此，本技术的阴极通过增加补偿的方法，增加了阴极的可 烧蚀体积。具体地，本技术提供了一种复合式阴极，包括管形阴极主体、 安装在阴极主体上的阴极头以及在阴极主体内的冷却水管，冷却水从 冷却水管进入，由冷却水管端部的喷嘴喷到阴极头的尾部以对阴极头 进行冷却，并经由冷却水管和阴极主体之间的空间回流，其特征在于，所述阴极头在阴极主体轴线方向上的尺寸大于其直径。在优选实施方案中，通过将阴极头尾部设计为渐缩的形状，减少 了阻力，增加了阴极的冷却面积，强化了对阴极的冷却，从而大大的 提高了阴极的使用寿命。以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。附图中图l是现有技术的阴极的剖面图2为根据本技术的阴极的一种优选实施方式的剖面图。具体实施方式以下结合附图详细说明本技术的具体实施方式。 在传统的等离子体发生器中，阴极作为发射电子的一极，长时间 的工作会在阴极的阴极体表面烧蚀出 一个凹坑。分析认为烧蚀有两个 原因 一是在高温下介质气体与阴极材料发生复杂的化学反应，造成 腐蚀；二是因为阳离子轰击造成局部过热，使阴极的表面的温度升高 到甚至超过材料的熔点而发生的材料蒸发以及溅射之类的过程造成 的。强化冷却可以在相当程度上抑制或减緩这类过程，从而可以延长 阴极的使用寿命。另外，大量的试验和工程应用表明，在同样功率和 水冷条件下，阴极头的使用寿命和阴极头的消耗量具有一定^函数关 系，如果提高阴极的阴极体的可用消耗量，即扩大阴极的可烧蚀体积，则预示着阴极工作寿命的提高。考虑到上述因素，设计人提出通过在阴极上增加补偿的凸出部 分，增加了阴极可烧蚀的体积。同时，利用阴极的凸出形状，对冷却 水喷嘴加以改造从而强化阴极的冷却，从而提高阴极的使用寿命。图2图示了本技术的一种优选实施方式。按照本技术的 复合式阴极的阴极头24装配在管形的阴极主体22上，冷却水管26 通过支撑结构(未图示)安装在阴极主体22中。在该实施方式中， 与传统方式不同的是，阴极头加厚，使得其在阴极主体轴线方向上的 尺寸接近或大于其直径。这样，加大了阴极头14的可消耗量，提高 了其寿命。鉴于阴极的烧蚀点在中央或其附近，并且为了便于冷却， 阴极头14的尾部最好为渐缩的形状，比如总体上为倒锥形，或者半 球形、半椭球形等等。在上述结构中，冷却水管和冷却水喷嘴的结构及其与阴极头和阴 极主体的相对位置可以与图2所示的现有技术一样，即阴极头在冷却水喷嘴的外部。但是，根据本技术的进一步的优选实施方式，为 了加强对阴极头24的冷却，如图2所示，可以使冷却水喷嘴28軍住 阴极头24的尾部，为此，可以使冷却水喷嘴28膨大。这样，来自冷 却水管26的冷却水在阴极头24的渐缩形尾部和冷却水喷嘴28之间 围绕阴极头24的渐缩形尾部一直流动到阴极头渐缩形尾部的根部， 然后从冷却水管26 (包括冷却水喷嘴28)和阴极主体22之间的空间 中回流(图中单箭头所示)，形成循环。这样，整个阴极头的尾部全 都浸在冷却水中，增加了阴极与冷却水的接触面积，强化了阴极的冷 却。以上结合附图对本技术的优选实施方式进行了说明，但是本 技术不限于这些实施方式，其一切变型和替代方案都在所附权利 要求的范围内。权利要求1. 一种复合式阴极，包括管形阴极主体、安装在阴极主体上的阴极头以及在阴极主体内的冷却水管，冷却水从冷却水管进入，由冷却水管端部的喷嘴喷到阴极头的尾部以对阴极头进行冷却，并经由冷却水管和阴极主体之间的空间回流，其特征在于，所述阴极头在阴极主体轴线方向上的尺寸接近或大于其直径。2. 如权利要求1所述的复合式阴极，其特征在于，所述阴极体 的尾部为渐缩形状。3. 如权利要求1或2所述的复合式阴极，其特征在于所述阴极 头的尾部延伸到所述冷却水喷嘴中。4. 如权利要求3所述的复合式阴极，其特征在于所述冷却水喷 嘴膨大。5. —种等离子体发生器，包括阴极、阳极和电源，其特征在于 所述阴极为如权利要求1到4之一所述的复合式阴极。专利摘要本技术涉及等离子体发生器及其阴极。本技术提出的复合式阴极包括管形阴极主体、安装在阴极主体上的阴极头以及在阴极主体内的冷却水管，冷却水从冷却水管进入，由冷却水管端部的喷嘴喷到阴极头的尾部以对阴极头进行冷却，并经由冷却水管和阴极主体之间的空间回流，其特征在于，所述阴极头在阴极主体轴线方向上的尺寸大于其直径。本技术的等离子体发生器包括上述复合式阴极。文档编号H05H1/34GK201078871SQ20072014626公开日2008年6月25日 申请日期2007年8月1日 优先权日2007年8月1日专利技术者鹏 刘, 宏 唐, 浩 宋, 平 李, 李本伟, 王雨蓬, 钱颖杰 申请人:烟台龙源电力技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种复合式阴极，包括管形阴极主体、安装在阴极主体上的阴极头以及在阴极主体内的冷却水管，冷却水从冷却水管进入，由冷却水管端部的喷嘴喷到阴极头的尾部以对阴极头进行冷却，并经由冷却水管和阴极主体之间的空间回流，其特征在于，所述阴极头在阴极主体轴线方向上的尺寸接近或大于其直径。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，李本伟，李平，钱颖杰，王雨蓬，唐宏，宋浩，
申请(专利权)人：烟台龙源电力技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：37[中国|山东]