水冷等离子淋浴器的送气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种水冷等离子淋浴器的送气系统，该系统包括一个气瓶、四个气动阀、两个压力表、一个调压阀、一个过滤器、一个质量流量计。本实用新型专利技术结构简单，能保证送气气体的气压恒定，采用气动阀控制气路通断，精密质量流量计控制气流，且设置有氮气口和真空接口，可实现对送气管路的净化清洗。各接口采用高洁净的不锈钢金属密封接头，确保所送气体的高纯度，安全可靠性高，安装调试简单。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种送气系统，尤其涉及一种水冷等离子淋浴器的送气系统。
技术介绍
在现代先进的半导体加工工艺的离子注入工艺中，等离子淋浴技术得到应用，改善了离子注入工艺的性能，提高了产品的成品率。当等离子淋浴器工作时，需要有稳定的工作气流供给，维持工作弧流，保持充足的等离子体产生。
技术实现思路
针对上述情况，本专利技术提供一种水冷等离子淋浴器的送气系统，能够向等离子淋浴气提供高精密可控的氩(Ar)或氙(Xe)气流，且无污染，很好地满足了等离子淋浴器工作的要求。本专利技术通过以下技术方案实现一种水冷等离子淋浴器的送气系统，包括一个气瓶、四个气动阀、两个压力表、一个调压阀、一个过滤器、一个质量流量计。其中所述的气瓶是气体容器，装有供等离子淋浴器工作的高压气体；该气瓶连接一个气动阀，该气动阀控制气瓶气体的通断；所述气动阀连接一个压力表，该压力表显示气瓶的气体压力；所述压力表后面连接一个调压阀，该调压阀起调节主气路中的气体压力作用，保证送气量和系统安全；所述压力表和调压阀之间连接一个气动阀，该气动阀装在氮气旁路上，控制旁路上用于清洗管路的氮气开关；所述调压阀后连接一个压力表，该压力表显示经过调压阀后管路中气体的压力；所述压力表后连接一个过滤器，该过滤器对通过的气体过滤，主要滤除气体的杂质颗粒；所述压力表和过滤器之间连接一个气动阀，该气动阀是在主气路与抽真空设备间的阀门，抽真空时，气动阀开；所述过滤器后面连接一个气动阀，该气动阀控制送气气路与离子淋浴枪的通断；所述气动阀后面连接质量流量计，该质量流量计用于精确控制流入离子淋浴器的气流大小。本专利技术结构简单，能保证送气气体的气压恒定，采用气动阀控制气路通断，精密质量流量计控制气流，且设置有氮气口和真空接口，可实现对送气管路的净化清洗。各接口采用高洁净的不锈钢金属密封接头，确保所送气体的高纯度，安全可靠性高，安装调试简单。附图说明图1是本专利技术的结构示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步介绍，但不作为对本专利技术的限定。如图1所示，送入等离子淋浴器的气体储存在高压压瓶1中，气体一般采用高纯气体，气体通过气动阀2控制后送入主管路，压力表3显示主管路气体压力，也就是气瓶中剩余气体的压力，间接的反映剩余气体的量，从气瓶1来的气体通过调压阀5后，压力降低至合适压力，压力值通过调压阀5现场设定，并通过压力表6显示，然后经过过滤器8过滤去除杂质颗粒后通过最终控制阀门9，进入质量流量计10，接受流量控制，最后有按控制所需要的气体流量进入离子淋浴枪。气动阀4控制氮气气路与主气路的通断，当需要对管路进行清洗时，配合受气动阀7控制的真空管路工作。整个系统的连接密封均采用不锈钢管16和密封圈11密封，这样确保送入气流的高纯度。本技术的特定实施例已对本专利技术的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。权利要求1.一种水冷等离子淋浴器的送气系统，其特征在于包括一个气瓶、四个气动阀、两个压力表、一个调压阀、一个过滤器、一个质量流量计；其中所述的气瓶是气体容器，装有供等离子淋浴器工作的高压气体；该气瓶连接一个气动阀，该气动阀控制气瓶气体的通断；所述气动阀连接一个压力表，该压力表显示气瓶的气体压力；所述压力表后面连接一个调压阀，该调压阀调节主气路中的气体压力；所述压力表和调压阀之间连接一个气动阀，该气动阀装在氮气旁路上，控制旁路上用于清洗管路的氮气开关；所述调压阀后连接一个压力表，该压力表显示经过调压阀后管路中气体的压力；所述压力表后连接一个过滤器，该过滤器对通过的气体过滤；所述压力表和过滤器之间连接一个气动阀，该气动阀是在主气路与抽真空设备间的阀门，抽真空时，气动阀开；所述过滤器后面连接一个气动阀，该气动阀控制送气气路与离子淋浴枪的通断；所述气动阀后面连接质量流量计，该质量流量计控制流入离子淋浴器的气流大小。专利摘要本技术公开了一种水冷等离子淋浴器的送气系统，该系统包括一个气瓶、四个气动阀、两个压力表、一个调压阀、一个过滤器、一个质量流量计。本技术结构简单，能保证送气气体的气压恒定，采用气动阀控制气路通断，精密质量流量计控制气流，且设置有氮气口和真空接口，可实现对送气管路的净化清洗。各接口采用高洁净的不锈钢金属密封接头，确保所送气体的高纯度，安全可靠性高，安装调试简单。文档编号H01L21/425GK2914323SQ200620113050公开日2007年6月20日 申请日期2006年4月24日 优先权日2006年4月24日专利技术者彭立波, 文超, 何科峰, 邱小莎 申请人:北京中科信电子装备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水冷等离子淋浴器的送气系统，其特征在于：包括一个气瓶、四个气动阀、两个压力表、一个调压阀、一个过滤器、一个质量流量计；其中所述的气瓶是气体容器，装有供等离子淋浴器工作的高压气体；该气瓶连接一个气动阀，该气动阀控制气瓶气体的通断；所述气动阀连接一个压力表，该压力表显示气瓶的气体压力；所述压力表后面连接一个调压阀，该调压阀调节主气路中的气体压力；所述压力表和调压阀之间连接一个气动阀，该气动阀装在氮气旁路上，控制旁路上用于清洗管路的氮气开关；所述调压阀后连接一个压力表，该压力表显示经过调压阀后管路中气体的压力；所述压力表后连接一个过滤器，该过滤器对通过的气体过滤；所述压力表和过滤器之间连接一个气动阀，该气动阀是在主气路与抽真空设备间的阀门，抽真空时，气动阀开；所述过滤器后面连接一个气动阀，该气动阀控制送气气路与离子淋浴枪的通断；所述气动阀后面连接质量流量计，该质量流量计控制流入离子淋浴器的气流大小。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：彭立波，文超，何科峰，邱小莎，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]