一种抛光装置制造方法及图纸

本说明书实施例提供一种抛光装置，涉及磨削技术领域，抛光装置包括：夹具，用于吸附工件；驱动机构，用于驱动夹具移动；抛光盘，用于抛光工件；其中，夹具包括一个或多个第一孔，夹具通过一个或多个第一孔向夹具提供吸附所述工件的负压；夹具还包括气体接口，一个或多个第一孔与气体接口连通；夹具还包括一个或多个第二孔和存气腔，一个或多个第二孔与存气腔的一端连通，存气腔的另一端与气体接口连通；存气腔中设置有气量调节结构。该抛光装置可提高超薄玻璃的抛光效率，并减少超薄玻璃抛光时的损伤。损伤。损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种抛光装置
分案说明
[0001]本申请是针对申请日为2022年09月27日、申请号为202211179299.2、专利技术名称为“一种抛光装置”的中国申请提出的分案申请。


[0002]本说明书涉及磨削
，特别涉及一种超薄玻璃抛光装置。

技术介绍

[0003]随着科技迅速发展，人们日常使用的一些光电产品越来越向轻薄化、轻量化发展，超薄玻璃因其良好的热稳定性、化学稳定性和光学性能等优良特性，成为一种重要的基础材料。超薄玻璃属于脆性材料，由于其厚度很低，在切削和抛光等精密加工过程中极易破碎。因此，如何实现超薄玻璃表面的精密抛光是业内广泛关注的问题，有必要提供一种高效安全的抛光装置，提高超薄玻璃的抛光效率，并减少超薄玻璃损伤。

技术实现思路

[0004]本说明书实施例之一提供一种抛光装置，包括：夹具，用于吸附工件；驱动机构，用于驱动所述夹具移动；抛光盘，用于抛光所述工件；其中，所述抛光盘包括基座、第一弹性层和第二弹性层，所述第一弹性层设置于所述基座与所述第二弹性层之间，所述第一弹性层的弹性模量小于所述第二弹性层的弹性模量。
[0005]在一些实施例中，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量与所述第二弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的比值范围为11:17～1:2。
[0006]在一些实施例中，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围为35MPa～55MPa。
[0007]在一些实施例中，所述第二弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的取值范围为70MPa～85MPa。
[0008]在一些实施例中，所述第一弹性层的厚度取值范围为15mm～25mm时，所述第一弹性层的弹性模量取值范围为35MPa～55MPa。
[0009]在一些实施例中，所述第一弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量小于沿平行于抛光面的方向的弹性模量。
[0010]在一些实施例中，所述第二弹性层包括纤维结构，所述纤维结构能够沿平行于抛光面的方向伸展。
[0011]在一些实施例中，所述夹具包括一个或多个第一孔，通过所述一个或多个第一孔向所述夹具提供吸附所述工件的负压。
[0012]在一些实施例中，所述一个或多个第一孔的孔径范围为0.3mm～1mm。
[0013]在一些实施例中，所述一个或多个第一孔的孔径与所述工件的厚度的比值的取值范围为3:1～4:1。
[0014]在一些实施例中，所述一个或多个第一孔在所述夹具的吸附面上均匀分布，相邻的所述第一孔之间的间距的取值范围为2mm～3.5mm。
[0015]在一些实施例中，所述一个或多个第一孔中的至少一个包括柔性膜，所述柔性膜覆盖所述一个或多个第一孔中的至少一个的吸附端。
[0016]在一些实施例中，所述夹具还包括气体接口，所述一个或多个第一孔与所述气体接口连通。
[0017]在一些实施例中，所述夹具还包括一个或多个第二孔和存气腔，所述一个或多个第二孔与所述存气腔的一端连通，所述存气腔的另一端与所述气体接口连通；所述存气腔中设置有气量调节结构。
[0018]在一些实施例中，所述气量调节结构包括活塞以及连接所述活塞的弹性件，所述弹性件处于初始状态时，所述活塞与所述存气腔中连通所述气体接口的一端之间具有预设距离。
[0019]在一些实施例中，所述预设距离不小于所述存气腔长度的一半。
[0020]在一些实施例中，所述一个或多个第二孔在所述夹具的吸附面上均匀分布。
[0021]在一些实施例中，所述夹具包括一个或多个阀门，所述一个或多个阀门控制所述气体接口的开闭。
[0022]在一些实施例中，所述阀门的数量包括两个。
[0023]在一些实施例中，所述抛光装置还包括抛光液过滤网。
[0024]本说明书实施例可能带来的有益效果包括但不限于：(1)抛光盘的基座和第二弹性层之间增设第一弹性层，且第一弹性层的弹性模量小于第二弹性层的弹性模量，第一弹性层比第二弹性层更易发生形变，抛光时第二弹性层整体产生形变而不会产生局部形变位移，可以避免工件与第二弹性层单独发生剐蹭。(2)夹具的吸附面设置多个第一孔，并合理设置相邻第一孔之间的间距，使得夹具在吸附工件时，可以提供均匀恒定的吸附力，从而避免工件破损。(3)夹具的吸附面还设置多个第二孔，通过气量调节结构排出存气腔内气体，可以提供释放工件的正压，可以实现工件自动释放。
附图说明
[0025]本说明书将以示例性实施例的方式进一步说明，这些示例性实施例将通过附图进行详细描述。这些实施例并非限制性的，在这些实施例中，相同的编号表示相同的结构，其中：
[0026]图1是根据本说明书一些实施例所示的示例性抛光装置的结构示意图；
[0027]图2是根据图1所示的示例性抛装置的部分结构示意图；
[0028]图3是根据本说明书一些实施例所示的示例性夹具、抛光盘、驱动结构的结构示意图；
[0029]图4是根据本说明书一些实施例所示的示例性夹具的结构示意图；
[0030]图5是根据图4所示的示例性夹具的A
‑
A面的剖视结构图；
[0031]图6是根据本说明书一些实施例所示的示例性夹具的局部结构示意图；
[0032]图7是根据本说明书另一些实施例所示的示例性夹具的结构示意图。
[0033]附图标记：
[0034]1000为抛光装置，100为夹具，110为吸附板，111为第一孔，112为第二孔，120为基板，121为凸块，130为气体接口，131为气道，140为阀门，141为安装板，150为工件，160为存气腔，170为气量调节结构，171为活塞，172为弹性件；
[0035]200为抛光盘，210为基座，220为第一弹性层，230为第二弹性层；
[0036]300为驱动机构，310为抛光臂，320为电机，330为气缸；
[0037]400为机架，410为工作台，420为操作面板。
具体实施方式
[0038]为了更清楚地说明本说明书实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本说明书应用于其它类似情景。
[0039]如本说明书和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。
[0040]本说明书中所述实施例仅用以说明本说明书实施例的原则。其他的变形也可能属于本说明书的范围。因此，作为示例而非限制，本说明书实施例的替代配置可视为与本说明书的教导一致。相应地，本说明书的实施例不仅限于本说明书明确介绍和描述的实施例。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抛光装置，其特征在于，包括：夹具，用于吸附工件；驱动机构，用于驱动所述夹具移动；抛光盘，用于抛光所述工件；其中，所述夹具包括一个或多个第一孔，所述夹具通过所述一个或多个第一孔向所述夹具提供吸附所述工件的负压；所述夹具还包括气体接口，所述一个或多个第一孔与所述气体接口连通；所述夹具还包括一个或多个第二孔和存气腔，所述一个或多个第二孔与所述存气腔的一端连通，所述存气腔的另一端与所述气体接口连通；所述存气腔中设置有气量调节结构。2.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述气量调节结构包括活塞以及连接所述活塞的弹性件，所述弹性件处于初始状态时，所述活塞与所述存气腔中连通所述气体接口的一端之间具有预设距离。3.如权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述预设距离不小于所述存气腔长度的一半。4.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述一个或多个第二孔在所述夹具的吸...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宇，余建琳，
申请(专利权)人：眉山博雅新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：