真空涂层机制造技术

本实用新型专利技术属于真空涂层机领域，具体涉及真空涂层机，包括箱体，所述箱体上设置有密封盖，所述箱体内固定套接有支撑框，所述支撑框上设置有调节机构，所述调节机构上设置有靶材，所述支撑框上焊接有支撑块，所述支撑框上固定安装有电弧发生器，所述电弧发生器上设置有导线。本实用新型专利技术通过设置电机、转轴、万向节、连杆、连接套、导孔、导杆、弹簧、顶球、支撑杆、导电杆、压簧等结构，通过电机驱动万向节转动，并在装置内均匀设置多个靶材，进而使得靶材转动，且通过弹簧和压簧的弹性作用配合，使得靶材偏转，进而使得的靶材始终和到导电杆接触进行蒸发，确保靶材的蒸发效率，使得工件表面可以均匀致密附着涂层，涂层附着精度高。涂层附着精度高。涂层附着精度高。

【技术实现步骤摘要】
真空涂层机


[0001]本技术涉及真空涂层机
，具体为真空涂层机。

技术介绍

[0002]专利授权公告号为CN202246838U的技术专利公开了一种真空涂层机。本技术真空涂层机包括阴极装置，阴极装置包括多个靶材。每个靶材可单独连接一个电弧发生器。本技术靶材体积比较小应用了多个电弧发生器，由于采用的靶材体积对应方靶小且有多个电弧发生器单独控制每个圆靶让其均匀挥发所以生产出来的涂层金属颗粒较方靶更小，从而使涂层结构更致密，涂层与被涂层工件结合力好。由于圆靶体积小靶材使用的数量比较多在工艺生产中可以使用不同材质的靶材进行复合涂层和多元化涂层的生产和开发，工艺可变性灵活性大。但是靶材在蒸发时，不能自动进行万象调节，靶材和电弧发生器的触端不能始终保持接触，使得靶材不能持续稳定均匀蒸发，进而导致工件上的涂层附着均匀度和精度较低。因此，需要对现有技术进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供真空涂层机，解决了靶材在蒸发时，不能自动进行万象调节，靶材和电弧发生器的触端不能始终保持接触，使得靶材不能持续稳定均匀蒸发，进而导致工件上的涂层附着均匀度和精度较低的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：真空涂层机，包括箱体，所述箱体上设置有密封盖，所述箱体内固定套接有支撑框，所述支撑框上设置有调节机构，所述调节机构上设置有靶材，所述支撑框上焊接有支撑块，所述支撑框上固定安装有电弧发生器，所述电弧发生器上设置有导线。
[0005]优选的，调节机构包括电机、转轴、万向节、连杆、连接套、限位销、导孔、导杆、弹簧、顶球、支撑杆、导电杆、压簧，所述电机和支撑框固定安装，所述电机的转轴上固定安装有万向节，所述万向节上固定连接有连杆，所述连杆的外侧滑动连接有连接套，所述连接套和靶材固定连接，所述支撑框内开设有导孔，所述导孔内滑动连接有导杆，所述导孔内设置有弹簧，所述导杆上焊接有顶球，所述顶球和靶材接触，所述支撑块上焊接有支撑杆，所述支撑杆上铰接有导电杆，所述导电杆和靶材接触。通过设置调节机构，使得靶材可以稳定蒸发。
[0006]优选的，所述弹簧的一端和支撑框焊接，所述弹簧的另一端和导杆焊接。通过设置弹簧，使得导杆被顶紧。
[0007]优选的，所述连接套内滑动连接有限位销，所述限位销和连杆通过螺纹连接。通过设置限位销，对连接套和连杆连接。
[0008]优选的，所述导电杆上焊接有压簧，所述压簧和支撑块焊接。通过设置压簧，对导电杆辅助支撑。
[0009]优选的，所述导电杆上固定连接有导线，所述导线和支撑框滑动连接。通过设置导
线，对导电杆供电。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]本技术通过设置电机、转轴、万向节、连杆、连接套、导孔、导杆、弹簧、顶球、支撑杆、导电杆、压簧等结构，通过电机驱动万向节转动，进而使得靶材转动，并在装置内均匀设置多个靶材，且通过弹簧和压簧的弹性作用配合，使得靶材偏转，进而使得的靶材始终和到导电杆接触进行蒸发，确保靶材的蒸发效率，使得工件表面可以均匀致密附着涂层，涂层附着精度高。
附图说明
[0012]图1为本技术整体结构立体图；
[0013]图2为本技术图1的正视剖视图；
[0014]图3为本技术图2中的支撑框剖视图。
[0015]图中：1、箱体；2、密封盖；4、支撑框；5、调节机构；6、靶材；7、支撑块；8、电弧发生器；9、导线；51、电机；52、转轴；53、万向节；54、连杆；55、连接套；56、限位销；57、导孔；58、导杆；59、弹簧；510、顶球；511、支撑杆；512、导电杆；513、压簧。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1、图2、图3，真空涂层机，包括箱体1，箱体1上设置有密封盖2，箱体1内固定套接有支撑框4，支撑框4上设置有调节机构5，调节机构5上设置有靶材6，支撑框4上焊接有支撑块7，支撑框4上固定安装有电弧发生器8，电弧发生器8上设置有导线9。
[0018]请参阅图3，调节机构5包括电机51、转轴52、万向节53、连杆54、连接套55、限位销56、导孔57、导杆58、弹簧59、顶球510、支撑杆511、导电杆512、压簧513，电机51和支撑框4固定安装，电机51的转轴52上固定安装有万向节53，万向节53上固定连接有连杆54，连杆54的外侧滑动连接有连接套55，连接套55和靶材6固定连接，连接套55内滑动连接有限位销56，限位销56和连杆54通过螺纹连接，通过设置限位销56，对连接套55和连杆54连接，支撑框4内开设有导孔57，导孔57内滑动连接有导杆58，导孔57内设置有弹簧59，弹簧59的一端和支撑框4焊接，弹簧59的另一端和导杆58焊接，通过设置弹簧59，使得导杆58被顶紧，导杆58上焊接有顶球510，顶球510和靶材6接触。
[0019]请参阅图3，支撑块7上焊接有支撑杆511，支撑杆511上铰接有导电杆512，导电杆512和靶材6接触，导电杆512上焊接有压簧513，压簧513和支撑块7焊接，通过设置压簧513，对导电杆512辅助支撑，导电杆512上固定连接有导线9，导线9和支撑框4滑动连接，通过设置导线9，对导电杆512供电，通过设置调节机构5，使得靶材6可以稳定蒸发。
[0020]本技术具体实施过程如下：使用时将工件放置在箱体1内，并通过密封盖2对箱体1封闭，然后启动电机51，电机51启动驱动万向节53转动，进而使得靶材6转动，然后启动电弧发生器8，电弧发生器8通过导线9对导电杆512导电对靶材6蒸发，在此过程中弹簧59
作用在导杆58上，使得导杆58作用在顶球510上使得靶材6被顶紧，使得靶材6始终和导电杆512接触，避免靶材6蒸发变薄影响靶材6蒸发效率，通过导电杆512对靶材6持续稳定蒸发，使得工件可以持续稳定的附着涂层，使得工件上的涂层附着更加均匀致密，涂层精度更高。
[0021]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空涂层机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)上设置有密封盖(2)，所述箱体(1)内固定套接有支撑框(4)，所述支撑框(4)上设置有调节机构(5)，所述调节机构(5)上设置有靶材(6)，所述支撑框(4)上焊接有支撑块(7)，所述支撑框(4)上固定安装有电弧发生器(8)，所述电弧发生器(8)上设置有导线(9)。2.根据权利要求1所述的真空涂层机，其特征在于：调节机构(5)包括电机(51)、转轴(52)、万向节(53)、连杆(54)、连接套(55)、限位销(56)、导孔(57)、导杆(58)、弹簧(59)、顶球(510)、支撑杆(511)、导电杆(512)、压簧(513)，所述电机(51)和支撑框(4)固定安装，所述电机(51)的转轴(52)上固定安装有万向节(53)，所述万向节(53)上固定连接有连杆(54)，所述连杆(54)的外侧滑动连接有连接套(55)，所述连接套(55)和靶材(6)固定连接，所述支撑框(4)内开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：金江，蒋振南，陈德明，
申请(专利权)人：常州大晋纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：