具有更高的羽流稳定性和加热效率的微波等离子体喷嘴制造技术

披露了用于产生微波等离子体的系统和方法。本发明专利技术提供了微波等离子体喷嘴（２６），它包括气流管（４０）和棒状导体（３４），该棒状导体设置在气流管（４０）中并具有位于气流管（４０）的出口附近的尖端（３３）。棒状导体（３４）的一部分（３５）延伸至微波空腔（３４）中以接收在空腔（２４）中穿过的微波。所接收到的这些微波聚集在尖端（３３）处，将气体加热成等离子体。微波等离子体喷嘴（２６）还包括位于棒状导体（３４）与气流管（４０）之间的涡流引导件（３６），用于使流经气流管（４０）的气体具有螺旋形流动方向。微波等离子体喷嘴（２６）还包括屏蔽机构（１０８），用于降低穿过气流管（４０）时的微波能量损失。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种从微波和气体产生等离子体的微波等离子体喷嘴，包括：用于让气流从其中穿过的气流管，所述气流管具有出口部，所述出口部包括微波基本上可透过的材料；以及设置在所述气流管中的棒状导体，所述棒状导体具有设置在所述气流管的出口部附近的尖端。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相勋，金重秀，
申请(专利权)人：阿玛仁特技术有限公司，赛安株式会社，
类型：发明
国别省市：US[美国]