【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
用于借助气体放电产生远紫外线辐射／软Ｘ射线辐射的方法，尤其被用于ＥＵＶ光刻术，其中，在放电室（１１）内给两个电极施加高电压，在所述的两个电极之间，根据在帕申曲线的左支路上进行的放电工作而在两个同轴电极开孔（１２，１３）的区域内提供一种具有预定气压的气体填充，在该气体填充当中通过输入能量而构造发出辐射的等离子体（１０），其特征在于：所述的等离子体（１０）在所述的电极开孔（１２，１３）的区域内借助气体填充的压力梯度而被偏移和／或成形。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：W内夫，K博格曼，O罗西尔，J潘克特，
申请(专利权)人：弗劳恩霍弗实用研究促进协会，皇家菲利浦电子有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。